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公开(公告)号：CN103059666B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201210548232.1
申请日：2012-09-29
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C09D129/04 , C09D129/14 , C09D131/04 , C09D7/12 , H01L31/18
CPC classification number: C23C10/00 , C23C10/18 , C23C10/20 , C23C10/60 , C23C28/042 , C23C28/048 , H01L21/2225 , H01L31/068 , H01L31/1804 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 一种涂布液，其包括硼化合物、有机粘结剂、硅化合物、氧化铝前体，以及水和/或有机溶剂，该涂布液用于将硼扩散到硅衬底中以形成p型扩散层。将该涂布液旋涂到衬底上以形成具有足够量杂质的均匀涂层，由此在其上形成具有平面均匀性的p型扩散层。
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公开(公告)号：CN102017087B
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN200980114553.7
申请日：2009-03-18
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01L21/22 , H01L21/225 , H01L31/0224 , H01L31/18
CPC classification number: H01L31/18 , H01L21/2225 , H01L21/2254 , H01L31/068 , H01L31/1804 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 公开了扩散用磷糊料，其用于通过丝网印刷在基板上的扩散用磷糊料的连续印刷。该扩散用磷糊料不经历环境湿度对粘度的显著影响，甚至在长时间连续印刷后没有增粘的可能性。将扩散用磷糊料通过丝网印刷涂布在基板上，以在基板上形成扩散层。扩散用磷糊料包括作为用于扩散层的掺杂剂的含磷掺杂剂、含有机粘合剂和固体物质的触变剂、和有机溶剂。掺杂剂是有机磷化合物。
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公开(公告)号：CN103059666A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210548232.1
申请日：2012-09-29
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C09D129/04 , C09D129/14 , C09D131/04 , C09D7/12 , H01L31/18
CPC classification number: C23C10/00 , C23C10/18 , C23C10/20 , C23C10/60 , C23C28/042 , C23C28/048 , H01L21/2225 , H01L31/068 , H01L31/1804 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 一种涂布液，其包括硼化合物、有机粘结剂、硅化合物、氧化铝前体，以及水和/或有机溶剂，该涂布液用于将硼扩散到硅衬底中以形成p型扩散层。将该涂布液旋涂到衬底上以形成具有足够量杂质的均匀涂层，由此在其上形成具有平面均匀性的p型扩散层。
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公开(公告)号：CN102017087A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN200980114553.7
申请日：2009-03-18
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01L21/225 , H01L31/04
CPC classification number: H01L31/18 , H01L21/2225 , H01L21/2254 , H01L31/068 , H01L31/1804 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 公开了扩散用磷糊料，其用于通过丝网印刷在基板上的扩散用磷糊料的连续印刷。该扩散用磷糊料不经历环境湿度对粘度的显著影响，甚至在长时间连续印刷后没有增粘的可能性。将扩散用磷糊料通过丝网印刷涂布在基板上，以在基板上形成扩散层。扩散用磷糊料包括作为用于扩散层的掺杂剂的含磷掺杂剂、含有机粘合剂和固体物质的触变剂、和有机溶剂。掺杂剂是有机磷化合物。
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