公开(公告)号：CN115420952B

公开(公告)日：2023-03-24

申请号：CN202211373362.6

申请日：2022-11-04

Applicant: 之江实验室

Inventor： 刘冠东 ,  马蔚

IPC: G01R27/02

Abstract: 本发明公开了一种高温压阻特性测量平台及方法，该平台包括耐高温压阻测量样品、施力装置单元、局部加热单元、电学测量单元、电路转接板单元和计算机控制单元，所述施力装置单元用于对所述耐高温压阻测量样品施加应力，所述局部加热单元用于对所述耐高温压阻测量样品的压力敏感区域进行局部加热，所述电学测量单元用于分别测量受热和受力前后所述耐高温压阻测量样品电阻值的变化，所述电路转接板单元用于将所述耐高温压阻测量样品的电学信号引出并与所述电学测量单元连接，所述计算机控制单元用于控制所述施力装置单元的施加应力、控制所述局部加热单元的加热温度及实时精确测量并记录所述电学测量单元的测量结果。

公开(公告)号：CN115799194A

公开(公告)日：2023-03-14

申请号：CN202310052789.4

申请日：2023-02-03

Applicant: 之江实验室

Inventor： 刘冠东 ,  李洁 ,  王传智 ,  王伟豪 ,  张汝云

IPC: H01L23/473 ,  H01L21/48

Abstract: 本发明公开了晶圆散热微流道、制备方法及三维集成方法，其中基于绝缘体上硅的晶圆散热微流道制备方法直接在绝缘体上硅晶圆背部就可以制作微流体通路，无需用额外的硅片制备微流道，具有工艺简单可靠性高的优点；而且使用电镀或化学气相沉积或沉积有机聚合物的方式进行密封，无需额外的键合工艺；此外，本发明是晶圆级工艺，且与硅基微电子工艺完全兼容。本发明既可以用于制备硅晶圆转接板，也可以用于多集成电路芯片或晶圆的三维堆叠集成。

公开(公告)号：CN115165102B

公开(公告)日：2023-01-10

申请号：CN202211069036.6

申请日：2022-09-02

Applicant: 之江实验室

Inventor： 刘楠 ,  马蔚 ,  骆瑞琦 ,  刘冠东

IPC: G01J3/28 ,  G01J3/02

Abstract: 本发明公开了一种大带宽高分辨率紧凑型的片上光谱仪及检测方法，包括输入端口光栅、微环谐振器、刻蚀衍射光栅以及探测器阵列，各部分之间通过单模波导连接，其中微环谐振器上集成有加热电极，所述加热电极用于调节所述微环谐振器的输出波长，使输出波长覆盖整个自由光谱范围。本发明微环谐振器的输出光谱具有周期性，波长相隔一个自由光谱范围的光从微环谐振器的输出端口输出，记录微环谐振器输出波长调节一个完整的自由光谱范围所需电压，并选取调节电压间隔点数Ncounts；微环谐振器的自由光谱范围FSR等于刻蚀衍射光栅的通道间隔，按照步进点数扫描加热电极电压，即可通过探测器阵列测量完整的光谱，检测方便。

公开(公告)号：CN114843250B

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN202210785368.8

申请日：2022-07-06

Applicant: 之江实验室

Inventor： 王伟豪 ,  李顺斌 ,  刘冠东 ,  张汝云

IPC: H01L23/544 ,  B07C5/344 ,  G01R31/26

Abstract: 本发明公开了一种晶圆级集成系统的测试结构及测试方法，该测试结构是由晶圆衬底和键合在晶圆上的芯粒，以及在晶圆上从芯粒周围引出的芯粒测试电路和通过晶圆互连引出到晶圆外围的系统测试电路组成；其测试方法是利用一次扎针实现对集成芯粒的测试和集成系统的测试。首先，对同质的芯粒进行相应的晶圆级芯片测试，测试结束标记失效的芯粒后，进入下一种类型的同质芯粒测试，完成所有芯粒测试后，根据通过测试的芯粒构建系统链路，对晶圆级集成系统进行系统级测试。利用本发明可以一次扎针就完成对键合芯粒的测试以及晶上集成系统的测试，利用芯粒测试可以筛除失效的芯粒，系统级测试可以确保系统链路的正确性以及整个晶上系统的可靠运行。

公开(公告)号：CN115165102A

公开(公告)日：2022-10-11

申请号：CN202211069036.6

申请日：2022-09-02

Applicant: 之江实验室

Inventor： 刘楠 ,  马蔚 ,  骆瑞琦 ,  刘冠东

IPC: G01J3/28 ,  G01J3/02

Abstract: 本发明公开了一种大带宽高分辨率紧凑型的片上光谱仪及检测方法，包括输入端口光栅、微环谐振器、刻蚀衍射光栅以及探测器阵列，各部分之间通过单模波导连接，其中微环谐振器上集成有加热电极，所述加热电极用于调节所述微环谐振器的输出波长，使输出波长覆盖整个自由光谱范围。本发明微环谐振器的输出光谱具有周期性，波长相隔一个自由光谱范围的光从微环谐振器的输出端口输出，记录微环谐振器输出波长调节一个完整的自由光谱范围所需电压，并选取调节电压间隔点数Ncounts；微环谐振器的自由光谱范围FSR等于刻蚀衍射光栅的通道间隔，按照步进点数扫描加热电极电压，即可通过探测器阵列测量完整的光谱，检测方便。

公开(公告)号：CN113985524A

公开(公告)日：2022-01-28

申请号：CN202111606890.7

申请日：2021-12-27

Applicant: 之江实验室

Inventor： 刘楠 ,  马蔚 ,  骆瑞琦 ,  刘冠东 ,  储涛

IPC: G02B6/12

Abstract: 本发明公开了一种基于超材料波导的阵列波导光栅，所述阵列波导光栅包括阵列波导部分、输入平板波导、输出平板波导、输入信道波导、输出信道波导，所述阵列波导部分两端分别与所述输入平板波导和输出平板波导连接，所述输入平板波导末端与所述输入信道波导连接，所述输出平板波导末端与所述输出信道波导连接，所述阵列波导部分包括若干根阵列波导，所述阵列波导为超材料波导，在传统波导的周围周期性地排布亚波长波导得到多层结构，这一结构具有很强的各向异性，这一结构可用作传统波导的包层，使用强各向异性包层包围传统波导，整体形成超材料波导，有效抑制了传统波导的倏逝波及趋肤深度。