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公开(公告)号：CN100431487C
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：CN200710036837.1
申请日：2007-01-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及了一种三维植入式微电极阵列的制作方法，特征在于直接采用商品化的金属丝作为电极材料，并将金属丝嵌入利用微细加工技术制作的模具基片的微细凹槽中，一方面利用模具基片上的微细管道通过电化学腐蚀方法实现金属丝的定点断裂，并在断面处形成尖端；另一方面通过在模具基片上浇注聚二甲基硅氧烷(PDMS)，利用聚合后的PDMS形成夹持金属丝电极的底座支撑部分；然后将包含金属丝的PDMS从模具基片上剥离切割，通过氧等离子轰击后叠加键合在一起组装成三维微电极阵列。本发明提供了一种加工简单、成本低廉的三维植入式微电极阵列制作方法，可用于加工制作进行神经疾病治疗、神经康复以及神经生物学基础研究的植入式微电极阵列。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101172184A
公开(公告)日：2008-05-07
申请号：CN200710046885.9
申请日：2007-10-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种三维柔性神经微电极及其制作方法，该微电极利用柔性聚合物作为基底材料，通过金属种子层的环状图案设计，进行递进式电镀，形成具有圆滑三维凸起特征的电极位点结构，该结构既可保证电极位点与神经细胞的良好接触，同时又可避免现有三维神经微电极中凸起电极位点的锐利棱角对神经组织的损伤。另外，在电镀过程中通过复合电镀工艺，即电镀液中添加纳米级分散剂，使电极表面形成亚微米级的微孔结构，增加电极位点的表面积，从而增强电极的电流输出能力，保证神经微电极在生物安全性条件限制下的有效刺激。本发明提供的三维柔性神经微电极可广泛应用于神经疾病治疗、神经康复、神经生物学基础研究等领域。
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公开(公告)号：CN101154770A
公开(公告)日：2008-04-02
申请号：CN200710045109.7
申请日：2007-08-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 一种与植入式器件柔性互连的方法，首先在具有牺牲层的基片上制作一聚合物基底层，并根据待连接的植入式器件的需要在所述聚合物基底层相应位置制作通孔，接着在所述聚合物基底层上制作一金属层，并使金属层不覆盖通孔，接着在金属层上形成一隔离绝缘层，并在隔离绝缘层相应位置形成开口，以暴露所述通孔，接着采用腐蚀法腐蚀牺牲层以将夹心式柔性互连膜从基片上释放下来，接着将待连接的植入式器件的焊盘点金属层贴合柔性互连膜的表面并对准所述通孔，再在通孔中通过电镀生长导通金属柱，如此可实现与待连接的植入式器件的柔性连接，有效避免现有技术中互连易出现虚焊的缺点，同时由于柔性互连膜体积小、重量轻、易于集成，可大大减小植入损伤。
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公开(公告)号：CN101006920A
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200710036837.1
申请日：2007-01-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及了一种三维植入式微电极阵列的制作方法，特征在于直接采用商品化的金属丝作为电极材料，并将金属丝嵌入利用微细加工技术制作的模具基片的微细凹槽中，一方面利用模具基片上的微细管道通过电化学腐蚀方法实现金属丝的定点断裂，并在断面处形成尖端；另一方面通过在模具基片上浇注聚二甲基硅氧烷(PDMS)，利用聚合后的PDMS形成夹持金属丝电极的底座支撑部分；然后将包含金属丝的PDMS从模具基片上剥离切割，通过氧等离子轰击后叠加键合在一起组装成三维微电极阵列。本发明提供了一种加工简单、成本低廉的三维植入式微电极阵列制作方法，可用于加工制作进行神经疾病治疗、神经康复以及神经生物学基础研究的植入式微电极阵列。
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公开(公告)号：CN1314476C
公开(公告)日：2007-05-09
申请号：CN200510024257.1
申请日：2005-03-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B01D57/02 , G01N27/447 , C07K1/26
Abstract: 一种生物大分子纯化回收的方法及装置，所述的方法是利用电泳电极的选择性切换通过电泳方式将待回收纯化的生物大分子导入收集池，从而完成生物大分子的回收纯化。首先在位于主泳道两端的电极上加载电压，使得样品在主泳道上得以分离。同时通过光学检测方法监测泳动生物大分子条带的位置，当待回收纯化的生物大分子条带到达适当的位置后，通过适当地切换电极，将待回收纯化的生物大分子引入最近的分支管道，并最终导入对应的收集池。本发明提供了一种将生物大分子的分离和纯化一次完成的装置，具有结构简单，易于操作，容易实现集成化和自动化的特点。本发明可应用于分子生物学中核酸、蛋白质以及核酸-蛋白质复合物等的纯化回收。
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公开(公告)号：CN1852634A
公开(公告)日：2006-10-25
申请号：CN200610026292.1
申请日：2006-04-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于聚合物基底的凸起电极、制备方法及应用，其特征在于采用具有生物相容性和柔性聚合物作为基底材料和加工凸起电极结构，保证电极的刺激点与神经的充分接触，改善神经电刺激和神经信号记录的效果。本发明以各向异性湿法腐蚀硅片制作模具，氧化硅片模具表面形成二氧化硅作为牺牲层，通过剥离、注胶、释放牺牲层得到凸起聚合物微电极(见摘要附图)。本发明提供的基于聚合物基底的凸起电极制备方法具有与传统的微机电(Micro－E1ectro－Mechanical System，MEMS)加工工艺兼容、可标准化大批量制作的特点。本发明制作的电极可广泛应用于神经康复、神经生物学等领域。
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