公开(公告)号：CN104506160A

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：CN201410645694.4

申请日：2011-04-07

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法

IPC: H03H9/215

CPC classification number: H03H9/15 ,  H03H9/17 ,  H03H9/21 ,  H03H9/215

Abstract: 振动片、振子以及传感器，能够降低热弹性损失，具有高的Q值。振动片(10)具有：进行弯曲振动的振动臂(30)；结合振动臂(30)的端部的基部(20)；锥形部(25)，其关于振动臂(30)的振动中心对称，随着从锥形部(25)与振动臂(30)的结合部靠近锥形部(25)与基部(20)的结合部，锥形部(25)的宽度变宽，当用L表示振动臂(30)的长度、用W表示振动臂(30)的宽度、用Lt表示锥形部(25)的长度、用Wt表示锥形部(25)的宽度时，利用锥形长度占有率η＝Lt/L和锥形宽度占有率ξ＝2Wt/W来规定锥形部(25)的形状。通过这样地规定锥形部(25)的形状，能够降低随振动产生的热弹性损失而提高Q值，实现稳定的振动特性。

公开(公告)号：CN102035498B

公开(公告)日：2015-01-14

申请号：CN201010501423.3

申请日：2010-10-08

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法

IPC: H03H9/21 ,  H03H9/00

CPC classification number: H03H9/0547 ,  H03H9/1021 ,  H03H9/21

Abstract: 提供一种降低了CI值且抑制了不必要振动的小型的振动片、振子、振荡器以及电子仪器。压电振动片(81)具备：一对振动臂(83)，其从基部(22)一端侧起分成两叉而互相平行地延伸；锤部(85)，被设置在各个振动臂(83)的前端一侧；具有底部的第1槽部(87)，其沿着各个振动臂(83)的长度方向设置。在从第1槽部(87)的基部(22)一侧到前端一侧的侧面上，形成有第1激励电极(89)；在从振动臂(83)的基部(22)一侧到前端一侧的侧面上，形成有第2激励电极(90)。在比从各个振动臂(83)与基部(22)相连接部分的基端到前端(锤部(85)的前端)的长度L的一半L/2更靠前端一侧的第1槽部(87)上，形成有用于集中质量的槽内突出部(95)。

公开(公告)号：CN104242860A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201410286254.4

申请日：2014-06-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法 ,  吉田周平

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/19

CPC classification number: H03H9/21 ,  H03H9/0542 ,  H03H2003/028 ,  H03H2003/0407

Abstract: 本发明提供振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体，即使小型化，Q值也不会劣化。所述振动片包括：基部，其具有面向第1方向的第1端面和面向与所述第1方向相反的方向的第2端面；第1振动臂，其一体地设于所述基部，并与所述第1端面连续；以及第2振动臂，其沿着所述第1振动臂而一体地设于所述基部，并与所述第1端面连续，设所述第1端面与所述第2端面的最短距离为Wb，所述Wb和基部的有效宽度We满足0.81≤Wb/We≤1.70的关系。

公开(公告)号：CN104079262A

公开(公告)日：2014-10-01

申请号：CN201410112799.3

申请日：2014-03-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法

IPC: H03H9/19 ,  H03H9/02

CPC classification number: H03H9/215 ,  H03B5/32 ,  H03H9/1021

Abstract: 本发明提供振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，能够使X同相模式的谐振频率与主模式的谐振频率充分隔开，且防止一对导电性粘接剂彼此的短路，小型且发挥优异的振动特性，而且具有高可靠性。本发明的振子（100）包含：振动元件（200），其包含基部（220）、从基部（220）起延伸的振动臂（230、240）和设置于振动臂（230、240）之间的支承臂（250）；支承有振动元件（200）的封装（400）；以及将支承臂（250）固定到封装（400）的导电性粘接剂（451、452），支承臂（250）具有末端部（251）、和宽度比末端部（251）的宽度小的宽度减小部（252），导电性粘接剂（452）在俯视时与宽度减小部（252）的至少一部分接触。

公开(公告)号：CN103973251A

公开(公告)日：2014-08-06

申请号：CN201410171614.6

申请日：2011-12-01

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法

IPC: H03H3/02 ,  H03H9/21 ,  H03H9/02

CPC classification number: H03H9/21 ,  H03H9/215 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明涉及压电振动元件及其制造方法、压电振子及压电振荡器。所述压电振动元件小型且由于过度蚀刻而导致的、自预定的频率的频率偏差较少。压电基板(10)具备：多个棒状的振动臂(15a、15b)；基部(12)，其对各个振动臂(15a、15b)的一侧端部之间进行连接；锤部(20a、20b)，其分别被形成在各个振动臂(15a、15b)的另一侧端部上且宽度宽于各个振动臂(15a、15b)；槽部(17a、17b)，其分别被形成在沿着各个振动臂(15a、15b)的振动中心线(B)的表面及背面上。而且，具备分别被形成在包括各槽部内部在内的各个振动臂的表面及背面上的激励电极(30～36)，在各个锤部(20)上形成有多条分别贯穿表面及背面且沿着各个所述振动臂的长度方向而以直线状延伸的频率调节用狭缝(25)。

公开(公告)号：CN103731118A

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：CN201410012335.5

申请日：2010-11-10

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法

IPC: H03H9/21 ,  H03H9/15

CPC classification number: H03H9/21 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187 ,  H03B5/32 ,  H03H9/02 ,  H03H9/19 ,  H03H9/215

Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器、传感器以及电子设备。振动片具有：基部，在其一端与另一端之间设置有切入部；一对振动臂，在俯视时从基部的一端起沿着第1方向延伸；支撑部，在俯视时与基部的另一端侧连接，振动臂的机械谐振频率f比振动臂的热缓和频率f0大，当设在俯视时切入部的外缘与一对振动臂之间的分叉部的外缘之间的最短距离为基部弯曲宽度Wb，设假想振动臂的臂宽为有效臂宽We时，满足Wb＞We的关系，其中，假想振动臂沿着包含与第1方向交叉的第2方向和振动臂的厚度方向的面的截面形状为矩形，假想振动臂的机械谐振频率与振动臂的机械谐振频率f相等，热弹性损失与振动臂的热弹性损失等价，厚度与振动臂的厚度相同。

公开(公告)号：CN103684338A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310409523.7

申请日：2013-09-10

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法 ,  三上贤

IPC: H03H9/21 ,  H03H9/15 ,  H03H9/02 ,  H03H9/10

CPC classification number: H03B5/30 ,  H03H9/2489

Abstract: 本发明提供一种振动片、振子、振荡器、电子设备以及移动体，即使小型化，也能够防止由导电性粘接剂的泄漏扩展引起的导电盘侧的短路。该振动片具有：基部；至少2个振动臂，其从所述基部朝相同侧突出，排列设置在预定方向上；支承臂，其从所述基部朝与所述2个振动臂相同侧突出，位于所述2个振动臂之间，而且在一个主面具有凹部；以及第1导电盘和第2导电盘，在俯视所述一个主面时，该第1导电盘和第2导电盘隔着所述凹部而排列设置。

公开(公告)号：CN101847978B

公开(公告)日：2013-09-04

申请号：CN201010148319.0

申请日：2010-03-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 古畑诚 ,  山田明法 ,  浜山裕史

IPC: H03H9/21

CPC classification number: H03H9/215

Abstract: 本发明提供抑制了Q值降低的小型弯曲振动片及利用该弯曲振动片的振荡器。在由基部(52)和从基部(52)一端侧延伸出的一对振动臂(53、54)构成的音叉型石英振动片(50)中，在包括各振动臂(53、54)的与基部(52)相连的根部附近区域形成激励电极(36A、37A)。振动臂(53、54)沿图中箭头(G)的方向弯曲振动时压缩或拉伸应力作用的第1区域(110、112)和第2区域(111、113)热连接。振动臂(53、54)各自的热传导路径的条数设为m、热传导路径的热阻率设为ρth、振动臂(53、54)热阻率设为ρV、与振动臂(53、54)的振动方向正交的方向的厚度设为tv、热传导路径的振动臂(53、54)的振动方向正交的方向的厚度设为tth时，满足tth≥(1/m)×tv×(ρth/ρv)的关系。

公开(公告)号：CN102487267A

公开(公告)日：2012-06-06

申请号：CN201110393650.3

申请日：2011-12-01

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法

IPC: H03H3/02 ,  H03H9/21 ,  H03H9/02

CPC classification number: H03H9/21 ,  H03H9/215 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明涉及压电振动元件及其制造方法、压电振子及压电振荡器。所述压电振动元件小型且由于过度蚀刻而导致的、自预定的频率的频率偏差较少。压电基板(10)具备：多个棒状的振动臂(15a、15b)；基部(12)，其对各个振动臂(15a、15b)的一侧端部之间进行连接；锤部(20a、20b)，其分别被形成在各个振动臂(15a、15b)的另一侧端部上且宽度宽于各个振动臂(15a、15b)；槽部(17a、17b)，其分别被形成在沿着各个振动臂(15a、15b)的振动中心线(B)的表面及背面上。而且，具备分别被形成在包括各槽部内部在内的各个振动臂的表面及背面上的激励电极(30～36)，在各个锤部(20)上形成有多条分别贯穿表面及背面且沿着各个所述振动臂的长度方向而以直线状延伸的频率调节用狭缝(25)。

公开(公告)号：CN102170275A

公开(公告)日：2011-08-31

申请号：CN201110045508.X

申请日：2011-02-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田明法 ,  吉田周平

IPC: H03H9/19 ,  H03H9/05

CPC classification number: H01L41/02 ,  A63F13/08 ,  A63F2300/204 ,  G04F5/06 ,  G06F1/1616 ,  H03B28/00 ,  H03H3/02 ,  H03H9/19 ,  H03H9/215 ,  H03H2003/026 ,  H03H2003/0492

Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备，它们能够提高抗冲击特性。石英振动片(1)是对相对于石英晶轴以规定角度切出的Z板进行蚀刻成形而成的振动片，其具备：基部(10)；从基部起在Y轴方向上延伸的一对振动臂(11)；以及在X轴方向上切入基部而成的X轴正向缺口部(12)和X轴负向缺口部(13)，X轴正向缺口部形成为从X轴负侧向正侧切入基部、并且该X轴正向缺口部的宽度随着接近外周(10b)而变宽。