公开(公告)号：CN103502902A

公开(公告)日：2014-01-08

申请号：CN201280022337.1

申请日：2012-04-05

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 平田薰 ,  土肥亮介 ,  西野功二 ,  池田信一 ,  杉田胜幸

IPC: G05D7/06

CPC classification number: G05D7/0623 ,  F16K37/0083 ,  G01F1/36 ,  G01F1/363 ,  G01F1/50 ,  G01F1/6842 ,  G01F1/6965 ,  G01F5/00 ,  G01F15/005 ,  G01F25/0007 ,  G05D7/0617 ,  G05D7/0635 ,  Y10T137/0368 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761

Abstract: 一种带有流量监测器的压力式流量控制装置，由下列部件构成：流体的入口侧通路(8)；控制阀(3)，与入口侧通路(8)的下游侧连接并构成压力式流量控制部(1a)；热式流量传感器(2)，与控制阀(3)的下游侧连接；节流口(6)，介入设置在与热式流量传感器(2)的下游侧连通的流体通路(10)；温度传感器(4)，设在控制阀(3)与节流口(6)之间的流体通路(10)的附近；压力传感器(5)，设在控制阀(3)与节流口(6)之间的流体通路(10)；出口侧通路(9)，与节流口(6)连通；以及控制部(7)，由压力式流量运算控制部(7a)及流量传感控制部(7b)构成，该压力式流量运算控制部(7a)被输入来自压力传感器(5)的压力信号及来自温度传感器(4)的温度信号，对流通于节流口(6)的流体的流量值Q进行运算，并且，向阀驱动部(3a)输出使控制阀(3)沿所运算的流量值与设定流量值的差减少的方向进行开闭动作的控制信号Pd，该流量传感控制部(7b)被输入来自热式流量传感器(2)的流量信号(2c)并根据该流量信号(2c)而将流通于节流口(6)的流体流量运算显示。

公开(公告)号：CN102016740B

公开(公告)日：2013-07-03

申请号：CN200980114746.2

申请日：2009-02-18

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 杉田胜幸 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  土肥亮介 ,  平田薰 ,  中谷贵纪

IPC: G05D7/06

CPC classification number: G05D7/0635 ,  Y10T137/7762

Abstract: 本发明提供一种具备流量自身诊断功能的压力式流量控制装置的压力控制阀用压电元件驱动电路。在具备流量自身诊断功能的压力式流量控制装置的压力控制阀用压电元件驱动电路(5)中，与控制部的驱动电路并联地设置用于使控制阀高速关闭的关闭电路(8)，通过使流量自身诊断时的阀的关闭时间延迟减少，在流量自身诊断时获得高精度的诊断结果。

公开(公告)号：CN100480656C

公开(公告)日：2009-04-22

申请号：CN200480017295.8

申请日：2004-06-10

Applicant: 株式会社富士金 ,  大见忠弘

Inventor： 大见忠弘 ,  杉山一彦 ,  日野昭一 ,  高桥荣治 ,  三枝慎 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  土肥亮介 ,  上野山丰己 ,  杉田胜幸

IPC: G01L19/02 ,  G01L19/04

CPC classification number: G01L19/02 ,  G01L9/065 ,  G01L19/0023 ,  G05D7/0635

Abstract: 本发明提供一种对压力传感器的时效零点漂移进行自动修正，能够不限于其工作期间对压力进行准确检测的压力传感器、使用该压力传感器的压力控制装置以及流量控制装置。具体地说，作为一种采用对流体压力进行测定的半导体压敏元件的压力传感器，将来自压力传感器的传感器输出电压通过放大器向外部输出，并将所述传感器输出电压通过D/A转换器输入给压力传感器时效零点漂移修正机构，在该时效零点漂移修正机构的传感器输出判定机构中判定所述传感器输出电压是否大于设定值，对压力传感器的动作条件进行判定，当所述传感器输出电压大于设定值时，将压力传感器的时效零点漂移消除。