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公开(公告)号：CN103026181B
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201180036158.9
申请日：2011-07-28
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/692
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/6842 , G01F1/699
Abstract: 本发明的课题在于提供高灵敏度且可靠性提高了的热式流量传感器。本发明的传感器元件（1）具备：半导体基板（2）、形成于半导体基板（2）的空腔部（4）、在空腔部（4）上隔着电绝缘膜形成的发热电阻器（5）、检测发热电阻器（5）的加热温度的加热温度传感器（7）、根据由加热温度传感器（7）检测的温度控制发热电阻器（5）的加热温度的驱动电路（22）。并且，加热温度传感器（7）是电阻值根据温度而变化的热敏电阻器，相对于发热电阻器（5）配置于被计测流体的流动的上游侧以及下游侧，且配置于被计测流体的流动的垂直方向的上部侧和下部侧。
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公开(公告)号：CN104755885A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201380056445.5
申请日：2013-10-09
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01F1/696 , G01F1/698 , G01F25/0007 , G01R31/025
Abstract: 在从构成电桥电路的电阻的两端获取电压的2根配线间与上述电阻并联地连接有电路元件的结构中，难以检测上述2根配线的断线。在包括发热体(2)和由多个电阻(4～8)构成电桥电路且控制发热体(2)的温度的温度控制用电桥电路(3)的热式流量计中，包括：通过从构成温度控制用电桥电路(3)的至少一个电阻(7)的两端部引出的2根配线(L2、L3)与电阻(7)并联连接的电路元件(15)；检测在2根配线(L2、L3)之间产生的电压的大小是否比第一规定值小的电压检测电路(17)；和在由电压检测电路(17)检测出所述电压的大小比第一规定值小的情况下输出表示故障的信号的故障信号输出电路(20)。
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公开(公告)号：CN103649694A
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN201180072233.7
申请日：2011-07-13
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/692
CPC classification number: G01F1/34 , G01F1/6845 , G01F1/692 , H01L2224/48247
Abstract: 本发明提供一种提高了耐腐蚀性的流量计。该流量计包括：具有形成有发热体的隔膜的硅基板；由形成在上述硅基板上的铝垫片和铝配线构成的铝膜；层叠在上述硅基板上的有机保护膜；和覆盖上述硅基板的模压树脂，其中，上述隔膜具有从上述有机保护膜露出的露出部，上述硅基板层叠有与上述模压树脂密合性高的密合膜，在上述露出部与上述铝膜之间具有上述模压树脂与上述密合膜的接合面。
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公开(公告)号：CN103380353A
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201180067266.2
申请日：2011-03-02
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/692
CPC classification number: H01L29/66992 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01F5/00
Abstract: 本发明提供一种不对其他的元件产生影响而能够对传感元件部进行局部的热处理，从而提高传感元件的灵敏度，并且提高传感元件的可靠性的小型的热式流量计。该热式流量计，具有：形成于半导体基板的空洞部；以覆盖上述空洞部的方式设置的由绝缘膜形成的薄膜部；和形成在上述绝缘膜之间的发热电阻体和测温电阻体，其中，在形成上述薄膜部后，进行对上述薄膜部加热而使上述发热电阻体和上述测温电阻体的晶体粒径生长的热处理。
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公开(公告)号：CN102620853A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN201210018140.2
申请日：2012-01-19
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01K13/02 , G01F1/00 , G01F1/68 , G01F1/6888 , G01F5/00 , G01F15/185 , G01K1/20 , G01K7/42 , G01K2013/024 , G01K2205/02
Abstract: 本发明提供一种能够以高精度高速地检测出吸气温度的吸气温度传感器及具有该吸气温度传感器的热敏式空气流量计。本发明涉及的吸气温度传感器包括：取入吸气流的副通路(7)；配置在副通路(7)的内部的流量检测元件(13)；设置在副通路的外部的吸气温度检测元件(4)；对吸气温度检测元件(4)的安装部的温度进行检测的温度传感器(9)；配置在框体内部的电路基板(11)；根据温度传感器(9)及流量检测元件(13)的输出信号对吸气温度检测元件(4)的输出进行补正处理的集成电路(10)。
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公开(公告)号：CN102169097A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201010623103.5
申请日：2010-12-27
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01N25/18
Abstract: 本发明提供一种热式气体传感器，能够进行基于热传导率变化的气体分析，具有高响应性和高精度。该热式气体传感器具有：基板(2)，具有空洞部(5)；薄膜支撑体(6)，层叠于空洞部上，由多个绝缘层(8a、8b)构成；和第一发热体(3)及第二发热体(4)，夹持于薄膜支撑体的绝缘层中；其中，第二发热体配置在第一发热体的周边，第一发热体被控制为高于第二发热体的温度，基于对第一发热体施加的电力测量周围气体的浓度。
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公开(公告)号：CN101852630A
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN201010117436.0
申请日：2010-02-20
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明提供一种高灵敏度且可靠性提高了的热式流量传感器。热式流量计具备取入被测量流体的通路(21)和配置于通路内并对被测量流体的流量进行测量的传感器元件(1)，传感器元件具有半导体基板(2)、形成于半导体基板的空洞部(29)和隔着电绝缘膜(3a)形成于空洞部上的发热电阻体(5)，通过从发热电阻体向被测量流体散热而测量被测量流体的流量，在该热式流量计中，当将与被测量流体的流动方向(6)垂直的垂直方向上的发热电阻体的长度设为Lh，将从被测量流体的流动方向上的发热电阻体的上游侧端部至空洞部(29)的周缘(29a)(隔膜的外周缘(4a))的最接近距离设为Wd时，Lh与Wd的关系为Wd≥0.4Lh。
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公开(公告)号：CN107949783B
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201680049240.8
申请日：2016-07-27
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明提供一种提高了测量精度的气体传感器装置。包括：传感器元件，其根据发热体的散热来检测气体的浓度；以及盖，其覆盖所述传感器元件，所述盖具有多个通气部，在与所述气体的流动方向垂直的方向上分离地配置所述通气部，将所述传感器元件配置在所述多个通气部之间。
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公开(公告)号：CN112236939A
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN201980037043.8
申请日：2019-05-09
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明提供一种半导体装置和传感器系统，其能够实现抗噪性的提高。因此，半导体装置内的输出电路(106a)具备：输入端子(207n、207p)和输出端子(208)；输出放大器(201)，其将输入端子(207n、207p)与输出端子(208)连接；反馈元件(203)，其将输出端子(208)反馈到输入端子(207n)；开关用晶体管(204)；电阻元件(206)。开关用晶体管(204)的漏极与输入端子(207n)连接。电阻元件(206)设置在开关用晶体管(204)的背栅极和电源(Vdd)之间，电阻元件(206)具备用于抑制在输入端子(207n)产生的预定频率的噪声的预定值以上的阻抗。
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公开(公告)号：CN111954793A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201980025032.8
申请日：2019-02-15
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明提供能够单独地校正在上游侧温度传感器和下游侧温度传感器中产生的不同的脉动误差的热式流量计。一种热式流量计(1)，其基于分别配置于发热体(11)的上游侧和下游侧的上游侧温度传感器(12)与下游侧温度传感器(13)的温度差，测定气体的流量。热式流量计(1)具备：检测元件(10)，其单独地输出上游侧温度传感器(12)的输出信号和下游侧温度传感器(13)的输出信号；以及补偿部(20)，其对上游侧温度传感器(12)的输出信号和下游侧温度传感器(13)的输出信号单独地进行响应补偿。
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