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公开(公告)号：CN102169097B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201010623103.5
申请日：2010-12-27
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01N25/18
Abstract: 本发明提供一种热式气体传感器，能够进行基于热传导率变化的气体分析，具有高响应性和高精度。该热式气体传感器具有：基板(2)，具有空洞部(5)；薄膜支撑体(6)，层叠于空洞部上，由多个绝缘层(8a、8b)构成；和第一发热体(3)及第二发热体(4)，夹持于薄膜支撑体的绝缘层中；其中，第二发热体配置在第一发热体的周边，第一发热体被控制为高于第二发热体的温度，基于对第一发热体施加的电力测量周围气体的浓度。
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公开(公告)号：CN103703555A
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201180072589.0
申请日：2011-08-03
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: H01L21/822 , H01L27/04
CPC classification number: G01R1/18 , B81B3/0086 , G01D7/00
Abstract: 本发明的目的在于提供一种提高了检测精度的传感装置。该传感装置包括：与外部装置连接的外部端子（2）；接地的接地端子（3）；生成传感器输出信号的内部电路（4）；设置于上述外部端子与上述内部电路之间的由电阻元件（6）和电容元件（7）构成的保护电路（5），其中，上述电容元件由具有相互不同的电导率的电极对构成，将上述电极对中的具有比一方的电极低的电导率的低导电性电极（7a）连接到上述外部端子和上述内部电路。
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公开(公告)号：CN101852630B
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201010117436.0
申请日：2010-02-20
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明提供一种高灵敏度且可靠性提高了的热式流量传感器。热式流量计具备取入被测量流体的通路(21)和配置于通路内并对被测量流体的流量进行测量的传感器元件(1)，传感器元件具有半导体基板(2)、形成于半导体基板的空洞部(29)和隔着电绝缘膜(3a)形成于空洞部上的发热电阻体(5)，通过从发热电阻体向被测量流体散热而测量被测量流体的流量，在该热式流量计中，当将与被测量流体的流动方向(6)垂直的垂直方向上的发热电阻体的长度设为Lh，将从被测量流体的流动方向上的发热电阻体的上游侧端部至空洞部(29)的周缘(29a)(隔膜的外周缘(4a))的最接近距离设为Wd时，Lh与Wd的关系为Wd≥0.4Lh。
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公开(公告)号：CN102004125A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN201010258234.8
申请日：2010-08-18
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01N27/18
CPC classification number: G01N27/18
Abstract: 本发明提供一种高精度且机械性牢固的热式湿度传感器。本发明的热式湿度传感器的检测元件(1)，在硅或陶瓷等热传导率好的材料构成的平板基板上形成有隔膜(2)(桥梁结构部)，在该隔膜(2)上设有温度检测电阻体(4、5、6、7)和以包围该温度检测电阻体的方式配置的发热电阻体(3)。而且，基于温度检测电阻体(4、5、6、7)的输出检测湿度。由此，缩小从隔膜(2)向平板基板损失的热对湿度计测带来的误差。
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公开(公告)号：CN107949783B
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201680049240.8
申请日：2016-07-27
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明提供一种提高了测量精度的气体传感器装置。包括：传感器元件，其根据发热体的散热来检测气体的浓度；以及盖，其覆盖所述传感器元件，所述盖具有多个通气部，在与所述气体的流动方向垂直的方向上分离地配置所述通气部，将所述传感器元件配置在所述多个通气部之间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111954793A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201980025032.8
申请日：2019-02-15
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明提供能够单独地校正在上游侧温度传感器和下游侧温度传感器中产生的不同的脉动误差的热式流量计。一种热式流量计(1)，其基于分别配置于发热体(11)的上游侧和下游侧的上游侧温度传感器(12)与下游侧温度传感器(13)的温度差，测定气体的流量。热式流量计(1)具备：检测元件(10)，其单独地输出上游侧温度传感器(12)的输出信号和下游侧温度传感器(13)的输出信号；以及补偿部(20)，其对上游侧温度传感器(12)的输出信号和下游侧温度传感器(13)的输出信号单独地进行响应补偿。
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公开(公告)号：CN108369198B
公开(公告)日：2020-09-08
申请号：CN201680068725.1
申请日：2016-10-26
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01N25/18
Abstract: 本发明提供即使是环境温度发生变化，也能够实现高精度测量的气体传感器装置。该装置具备形成于薄膜部的检测加热器(3)、围绕检测加热器形成的温度补偿加热器(4)、控制检测加热器(3)的加热温度的检测加热器加热控制电路(10)、以及将温度补偿加热器的加热温度控制于比检测加热器的加热温度低的加热温度的温度补偿加热器加热控制电路(11)，相应于基板温度的上升，检测加热器加热控制电路(10)与温度补偿加热器加热控制电路(11)分别调整各加热电流，使检测加热器(3)的加热温度与温度补偿加热器(4)的加热温度之间的温度差缩小。
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公开(公告)号：CN106796437B
公开(公告)日：2018-09-11
申请号：CN201480081559.X
申请日：2014-09-16
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G05F1/56
Abstract: 本发明提供一种抑制由负电涌引起的误动作的传感器装置。该传感器装置具备：根据物理量产生电气特性的变化的传感器元件；处理传感器元件的输出信号的信号处理电路；向传感器元件和信号处理电路提供电流的晶体管元件；控制第一晶体管元件的基极电流的控制电路；电源端子；以及接地端子，该传感器装置的特征在于，在控制电路中具备限制部，该限制部限制从接地端子流向第一晶体管元件的基极端子的电流。
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公开(公告)号：CN108369198A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201680068725.1
申请日：2016-10-26
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01N25/18
Abstract: 本发明提供即使是环境温度发生变化，也能够实现高精度测量的气体传感器装置。该装置具备形成于薄膜部的检测加热器(3)、围绕检测加热器形成的温度补偿加热器(4)、控制检测加热器(3)的加热温度的检测加热器加热控制电路(10)、以及将温度补偿加热器的加热温度控制于比检测加热器的加热温度低的加热温度的温度补偿加热器加热控制电路(11)，相应于基板温度的上升，检测加热器加热控制电路(10)与温度补偿加热器加热控制电路(11)分别调整各加热电流，使检测加热器(3)的加热温度与温度补偿加热器(4)的加热温度之间的温度差缩小。
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公开(公告)号：CN105492898B
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201480047460.8
申请日：2014-02-03
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01F1/696 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , G01N27/18 , G01N33/0067
Abstract: 本发明的目的在于提供一种在内燃机的各种运转条件下获得良好的修正效果的气体传感器装置，为此，本发明的气体传感器装置(1)为包括测量气体的浓度的浓度传感器(4)和测量气体的压力的压力传感器(5)的气体传感器装置(1)，其设置有与空气流隔离的测量室(7)，在该测量室(7)内配置有浓度传感器(4)和压力传感器(5)，且所述气体传感器装置(1)设置有利用压力传感器(5)的信号来调整浓度传感器(4)的信号的处理电路部(14)。优选为在该处理电路部(14)中设置使压力传感器的检测信号的响应速度接近浓度传感器的检测信号的响应速度的响应速度调整部。
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