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公开(公告)号：CN107493088B
公开(公告)日：2020-09-08
申请号：CN201710379794.0
申请日：2017-05-25
Applicant: 太阳诱电株式会社
Abstract: 声波器件。一种声波器件，该声波器件包括：压电薄膜谐振器，该压电薄膜谐振器连接在第一节点与第二节点之间；以及谐振电路，该谐振电路与所述压电薄膜谐振器在所述第一节点与所述第二节点之间并联连接，并且具有满足条件2×fa×0.92≤f0的谐振频率f0，其中，fa表示该压电薄膜谐振器的反谐振频率。
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公开(公告)号：CN104811157B
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201510034277.0
申请日：2015-01-23
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/173 , H03H9/175 , H03H9/568 , H03H9/706 , H03H2003/0407
Abstract: 压电薄膜谐振器、滤波器和双工器。压电薄膜谐振器(100、200、400、500)包括：基板(10)；压电膜(14)，其设置在所述基板上；下电极(12)和上电极(16)，其彼此相对，以在所述下电极(12)和所述上电极(16)之间设置所述压电膜的至少部分；以及插入膜(28)，其被插入到谐振区(50)中的所述压电膜内，在所述谐振区(50)中，所述压电膜的至少所述部分被设置在所述下电极和所述上电极之间，所述插入膜的与所述谐振区中的外围区(52)对应的至少部分(28b)比所述插入膜的与所述谐振区中的中心区(54)对应的部分(28a)厚。
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公开(公告)号：CN103825574B
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：CN201310566328.5
申请日：2013-11-14
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H01L41/29 , H03H9/02102 , H03H9/02133 , H03H9/173 , H03H2003/021 , H03H2003/0428 , H03H2003/0442 , Y10T29/42
Abstract: 本发明涉及声波器件及其制造方法。所述声波器件包括：基板；位于基板上的压电膜；隔着所述压电膜彼此面对的下电极和上电极，所述下电极和所述上电极中的至少一个包括第一导电膜和形成在所述第一导电膜上的第二导电膜；绝缘膜，其夹在所述第一导电膜和所述第二导电膜之间，并且所述绝缘膜的弹性常数的温度系数的符号与所述压电膜的弹性常数的温度系数的符号相反；以及第三导电膜，其形成在所述绝缘膜和所述第二导电膜二者的端面上，并且使得所述第一导电膜和所述第二导电膜之间电短路。
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公开(公告)号：CN102638244B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201210027528.9
申请日：2012-02-08
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/02086 , H03H3/04 , H03H9/02157 , H03H9/173 , H03H9/582 , H03H2003/021 , H03H2003/0442 , H03H2003/045 , H03H2003/0471
Abstract: 本发明涉及声波器件和滤波器。所述声波器件包括：基板；压电膜，所述压电膜形成在所述基板上；下电极，所述下电极设置在所述压电膜的第一表面上；上电极，所述上电极设置在所述压电膜的与所述第一表面相对的第二表面上；以及质量负荷膜，所述质量负荷膜在谐振部分中具有第一图案和第二图案，在所述谐振部分中所述下电极和所述上电极隔着所述压电膜彼此面对，所述第一图案具有多个部分，并且所述第二图案具有将所述第一图案的所述多个部分相互连接的多个部分。
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公开(公告)号：CN101645699B
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN200910165386.0
申请日：2009-08-07
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/174 , H03H9/02118 , H03H9/13 , H03H9/132 , H03H9/568 , H03H2003/0435
Abstract: 本发明提供一种压电薄膜谐振器、使用压电薄膜谐振器的滤波器和复用器。压电薄膜谐振器包括：衬底、形成于衬底上的下电极、形成于下电极上的压电薄膜和形成于压电薄膜上的上电极，下电极和上电极隔着压电薄膜彼此相对从而形成相对区域，相对区域包括位于所述相对区域的边界处的空间。所述空间从所述相对区域的内侧延伸到外侧，并形成于压电薄膜中或形成于压电薄膜上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102754342B
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201180008837.5
申请日：2011-01-11
Applicant: 太阳诱电株式会社
IPC: H03H9/13
Abstract: 简单地降低不需要的寄生波。越靠近上部电极（45）与下部电极（43）的相对区域的中心部越密集配置质量负载膜（51）中的岛图案（51a），越靠近相对区域的外周部越稀疏配置质量负载膜（51）中的岛图案（51a），由此，能够廉价地实现降低了不需要的寄生波的特性优良的压电薄膜谐振器。即，将质量负载膜（51）的岛图案（51a）在相对区域的中心部密集配置，在相对区域的外周部稀疏配置，这模拟地与将中心部的膜密度设为较高，将外周部的膜密度设为较低相等。结果，引起作为主振动的厚度纵向振动以外的不需要的寄生波的、横向弹性波的锁定效应减小，从而降低不需要的寄生波。
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公开(公告)号：CN101785184B
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN200780100318.5
申请日：2007-08-23
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/725 , H03H9/0571 , H03H9/706
Abstract: 本发明提供陡峭性优异而无须增加外接部件或新的制作工序的弹性波滤波器。在同一基板上具有多个滤波器(10-1)，该滤波器(10-1)具有第1谐振器(2a-1)和第2谐振器(4a-1)，该第1谐振器(2a-1)配置在串联臂上，谐振频率为frs且反谐振频率为fas，该第2谐振器(4a-1)配置在并联臂上，谐振频率为frp且反谐振频率为fap，第1谐振器的谐振频率frs比第2谐振器的谐振频率frp高，第1谐振器的反谐振频率fas比第2谐振器的反谐振频率fap高，滤波器(10-1)多级连接。多级连接的滤波器中的至少一个滤波器(10-1)具有谐振频率为frp且反谐振频率为fap的第3谐振器(6-1)，第3谐振器(6-1)形成在基板上，在串联臂上相对于第1谐振器(2a-1)并联连接。
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公开(公告)号：CN102916673A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210272191.8
申请日：2012-08-01
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H3/04 , H03H9/171 , H03H2003/021 , H03H2003/023 , H03H2003/025 , H03H2003/0407 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供了压电薄膜谐振器及其制造方法。一种压电薄膜谐振器包括：下电极，其设置在基板上；压电膜，其设置在下电极上并包括至少两层；上电极，其设置在压电膜上，并具有面对下电极且与下电极一起夹着压电膜的区域；和绝缘膜，其设置在下电极和上电极彼此面对的区域中，并在所述至少两层的各层之间，其中绝缘膜的上表面比绝缘膜的下表面平坦。
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公开(公告)号：CN101689845B
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN200880023285.3
申请日：2008-03-05
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/174 , H03H9/02015 , H03H9/02118 , H03H9/02157 , H03H9/13 , H03H9/132 , H03H9/175 , H03H9/568 , H03H2003/0428
Abstract: 压电薄膜共振元件(1)具有共振部，该共振部具有椭圆的平面形状，由在下表面电极(3)和上表面电极(5)这两个电极之间夹入压电膜(4)的层叠构造而形成，其中，下表面电极(3)在外周上具有以25°到55°的范围内的规定角度(例如大约30°)倾斜的倾斜部(3a)，上表面电极(5)具有椭圆的平面形状。在上表面电极(5)的面对下表面电极(3)的倾斜部(3a)的位置的一部分上设置附加膜(8)，由此使得共振部的下表面电极(3)的倾斜部(3a)的层叠厚度中的一部分的层叠厚度HC大于共振部的下表面电极(3)的倾斜部(3a)靠内侧部分的层叠厚度HA。
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公开(公告)号：CN101527551B
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN200910117841.X
申请日：2009-03-06
Applicant: 太阳诱电株式会社
CPC classification number: H03H9/132 , H03H9/02133 , H03H9/173
Abstract: 本发明公开了压电薄膜谐振器、滤波器和通信设备。一种压电薄膜谐振器包括基板、形成在基板上的下电极、形成在基板和下电极上的压电膜以及形成在压电膜上并且与下电极相对的上电极。上电极具有主体部份和连接到该主体部份的扩展部份，该主体部份与下电极以及被布置在基板和下电极之间的开孔相对，该扩展部份具有与该开孔和基板相对的部份。
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