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公开(公告)号：CN119533328A
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411653979.2
申请日：2024-11-19
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/24 , G01B9/02055 , G06N3/0455 , G06N3/0464 , G06N3/084
Abstract: 基于图到图神经网络非球面测量回程误差去除方法及装置，包括：搭建虚拟干涉系统、制作图到图回程误差剔除数据集、搭建图到图神经网络模型、训练图到图神经网络模型、求解实际非球面面形误差。本发明利用计算机模拟非零位补偿法的光学系统并生成数据集，完成图到图神经网络的训练，方便快捷，对于一组实际光学系统的干涉波前数据，无需任何先验知识及预处理即可消除回程误差，具有良好的普适性；使用图生图神经网络进行回程误差的剔除，保留干涉波前图和被测非球面面形分布中的高频信息，检测精度更高；在求解中，本身不存在固有的系统误差且求解精度不依赖系统的建模精度，避免复杂的装调和校准过程，实现快速且高精度的非球面面形误差测量。
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公开(公告)号：CN119397789A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202411505867.2
申请日：2024-10-28
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开基于最小二乘法衍射光学元件面形数据处理方法及装置，只需载入轮廓仪测得的面形数据文件以及衍射光学元件的设计参数文件便可对轮廓仪测得的面形数据的位姿误差进行校正，并在同时对该面形的各评价指标进行计算，简化了操作流程并提高了对于衍射光学元件面形评价的准确性。方法包括：(1)读取测量数据以及设计参数；(2)最小二乘法拟合；(3)补偿位姿误差；(4)提取台阶部分；(5)检测梯度突变点以确定环带位置；(6)计算台阶高度；(7)剔除补偿位姿误差后的面形数据的各台阶附近部分数据；(8)计算面形误差评价指标。
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公开(公告)号：CN119152303A
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202310719184.6
申请日：2023-06-16
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 一种快速适应实际应用环境的可变形镜控制方法及装置，能够在低训练成本的情况下增强既有控制模型的领域自适应和领域泛化能力，灵活适配实际应用环境，实现可变形镜的高精度控制和波前补偿。方法包括：(1)补采少量可变形镜电压和面形数据构建迁移数据集；(2)评估源域初始建模环境与目标域实际应用环境的数据集相似程度；(3)确定可变形镜控制模型迁移方案；(4)训练网络实现可变形镜控制模型迁移；(5)可变形镜控制模型迁移效果的评估和验证。
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公开(公告)号：CN119125139A
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202411009109.1
申请日：2024-07-26
Abstract: 本发明公开剪切散斑干涉近表面缺陷的检测误差剔除方法及装置，依次通过设置剪切量大小、旋转调整剪切方向、旋转调整狭缝光阑、动态加载和采集光强图、计算和筛选剪切相位图、定位异常条纹、汇总各方向检测结果、计算缺陷分布的步骤，使用不同剪切方向下的剪切相位图作为缺陷检测对象，使剪切量引入的缺陷检测误差沿着不同方向分布，通过对各剪切方向测量结果取交集的方式剔除剪切量引入的缺陷检测误差，实现材料近表面缺陷的高精度检测，能无需剪切量标定和补偿，直接准确的剔除剪切量引入的缺陷检测误差，获取被测件缺陷分布。整个过程方便快捷，并且检测门槛低。
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公开(公告)号：CN118857139A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202410838000.2
申请日：2024-06-26
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/24 , G06N3/0455
Abstract: 一种单幅干涉图条纹分析与相位恢复方法及装置，具有结构简单、精度高、可动态测量的优点，能够实现端到端的干涉图解相，显著提升了干涉图解相的效率，并降低了干涉图解相所需的硬件要求和成本，使得本方法可以在便携设备上运行。方法包括：(1)搭建解相网络主体结构，其采取U型架构，包括：输入层、编码器、解码器、连接桥和输出层；(2)在解相网络主体结构中插入自注意力模块；(3)训练解相网络，使用人工生成的虚拟干涉图对神经网络进行迭代训练，使其达到可用状态；(4)干涉图预处理，对输入的干涉图进行灰度范围归一化，得到灰度范围归一化的干涉图；(5)解相网络处理干涉图，将干涉图输入神经网络，神经网络输出绝对相位。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118778431A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202310347148.1
申请日：2023-04-03
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 一种基于机器学习的可变形镜控制方法及装置，简单高效、通用性强，能较高精度地控制可变形反射镜生成复杂面形，且能合理评估模型在不同应用场景下的有效性，从而指导变形镜在各应用中更有效地实现复杂的波前校正及像差补偿。方法包括：(1)检测可变形镜的基本特性；(2)用多种模式控制可变形镜，采集数据集中电压数据；(3)采集、表征与处理数据集中面形数据；(4)搭建全连接神经网络控制模型的基本框架；(5)优化全连接神经网络控制模型的结构超参数；(6)训练全连接神经网络控制模型；(7)实验测试面形控制精度。
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公开(公告)号：CN112835263B
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN201911164182.5
申请日：2019-11-22
Applicant: 北京理工大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种液晶计算全息图的单步曝光方法及装置，可以克服目前制作液晶计算全息图采取的掩膜版曝光法的缺陷，无需提前制作带有同样计算全息图图案的掩膜版，仅需一次曝光，不需中途调整线偏振器或待曝光基板的摆放角度，简化制作流程，缩短制作时间，降低制作成本，简化掩膜版处的固定装置，无需真空吸附装置缩减掩膜版与待曝光基板间的距离，避免对基板表面光敏材料的大面积破坏。方法包括：构建液晶计算全息图曝光装置；放入涂覆有光敏材料的待曝光基板并进行参数调整，所述参数包括空间位置、俯仰角度，平面镜与待曝光基板正交接触放置，构成洛埃镜结构，调整空间光调制器的输入电信号，入射至基板的一半光束对应的区域不加载输入电信号；进行曝光。
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公开(公告)号：CN117190883A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311119524.8
申请日：2023-09-01
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明公开了一种双光源/双通道平板玻璃厚度不一致性检测装置，包括双光源组件、前置干涉仪组件、激光监测通道组件和主干涉仪；所述双光源组件采用激光光源和短相干LED光源；所述前置干涉仪组件，包括可调反射镜、第二λ/4波片、第二偏振分光棱镜、第三λ/4波片、第一λ/4波片、移相板、补偿板和固定反射镜；所述激光监测通道组件，包括激光光源滤色片、第一会聚透镜、第二准直透镜和第一面阵探测器；所述主干涉仪，包括第三偏振分光棱镜、第四λ/4波片、第二会聚透镜、第三准直透镜、被测平板玻璃、载物台、第二面阵探测器、第四准直透镜、第三会聚透镜、LED光源滤色片。本发明的检测装置，能够满足平板玻璃厚度不一致性检测需求。
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公开(公告)号：CN111062889B
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN201911299272.5
申请日：2019-12-17
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 一种用于傅里叶叠层显微成像技术的光强校正方法，能够实现图像亮度校正的效果，进而达到校正光强不一致误差的目的。包括：(1)采集原始图像，构成图像数据集；(2)设定一个图像强度倍数变化区间[A,B]，将采集的原始图像对应的强度校正系数初始值定为1，变换强度校正系数数值，调整图像的强度；将初始图像强度校正系数值按照区间[A,B]内的值根据t依次变化，每次测量图像都乘以不同的强度校正系数，每次变化后都计算一次评价函数；经过若干次迭代，找到最合适的亮度倍数值；(3)对每张低分辨率图像都按照最合适的亮度倍数值调整，就完成了图像的亮度校正；(4)经过校正后的图像进行高分辨率重构，得到重构图像。
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公开(公告)号：CN115790453A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211604630.0
申请日：2022-12-13
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/255 , G01B11/24
Abstract: 一种曲率半径测量方法及系统，能够利用较短的导轨即可实现曲率半径的高精度检测，极大增大了干涉法的测量范围，降低了测试成本。方法包括：(1)搭建检测光路，测量待测镜口径，将待测镜移动至共焦位置；(2)推动待测镜沿光轴方向移动，在位移测量干涉仪中获取轴向位移距离，在相位测量干涉仪中获取离焦波前；(3)对离焦波前进行Zernike拟合，获取离焦系数；(4)在光学设计软件中对测试光路精确建模，将系统波像差中的离焦系数作为系统的优化目标，将待测镜曲率半径作为优化变量，利用光学设计软件的优化功能进行优化，直至软件获取的系统波像差与实际测量获取的系统波像差一致，得到待测镜的曲率半径。
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