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公开(公告)号：CN104593256A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201510005890.X
申请日：2015-01-06
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种生物微机电系统技术领域的电极可重复使用的PCR芯片，由上而下包括电极芯片和反应腔室芯片两部分，并通过导热硅脂薄层贴合而成，其中：腔室芯片包括设置有腔室结构的聚合物盖片和上基板，电极芯片包括绝缘钝化层、金属加热与传感电极组合和下基板。该PCR芯片至少包含一个反应腔室，可用于不同温控条件下多种基因的并行扩增。本发明PCR芯片的电极芯片使用后可与腔室芯片分离并能重复使用，且采用玻璃基板、聚合物腔室并利用MEMS微加工技术批量制造，PCR芯片的成本大为降低。
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公开(公告)号：CN102508034B
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201110327151.4
申请日：2011-10-25
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开一种微固体模态陀螺等效电路的参数测量方法及装置，微固体模态陀螺等效电路为两条并联支路，一条为静态电容，另一条为动态电阻、动态电容和动态电感的串联。测量装置包括一个变频振荡器，两个终端网络，和一个检测器。变频振荡器为测量电路提供恒定电流，检测器为电压表，当频率变化时检测终端网络两端的电压。利用以上所述的测量装置基于最大输出频率和电容桥的测量方法可求得等效电路的各个参数。本发明为了提高了微固体模态陀螺在驱动或检测等电路中的可分析性，提出一种针对微固体模态陀螺等效电路的参数测量方法和装置是非常有必要的。
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公开(公告)号：CN103451088A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310374364.1
申请日：2013-08-23
Applicant: 上海交通大学
IPC: C12M1/00
Abstract: 本发明提供一种微液滴式PCR芯片及其制作方法，所述芯片上层为由DNA目标片段与引物注入口、单相液滴成型微结构、PCR反应酶和mRNA底物注入口、油相试剂注入口、液滴直线通道、十字混合通道、微液滴缓冲通道、微液滴PCR反应腔室及微液滴PCR废液腔室相连而成的PDMS图形化盖片，下层为玻璃基底，上、下层键合封装成一完整微液滴PCR芯片；所述芯片制作方法步骤包括：一、加工掩膜版；二、塑模；三、浇灌模具；四、取图形。本发明上层PDMS图形使用多层滤器结构，形成的微液滴尺寸均一、粒径稳定、可操控性强；利用本发明制作出的微液滴PCR芯片在混合效果、反应效率、高通量方面相对传统PCR芯片有较大优势。
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公开(公告)号：CN102519657B
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201110374652.8
申请日：2011-11-22
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开一种二维矢量柔性热敏微剪切应力传感器及其阵列和制备方法，采用多层微细加工工艺制作热线、引线和引脚的三层结构，聚酰亚胺薄膜作为多层结构之间的平坦化绝缘材料并作为支撑结构。热线布置形式采用两组正交双热线结构，热线经引线引至传感器单元及整个阵列的引脚处，引脚的连线面与热线敏感面分别在传感器阵列薄膜厚度方向的正面和反面。传感器工作时将热线加热到高于流体的环境温度，当流体经过传感器表面时，流体将带走一定热量，该热量的变化与流体作用于物体表面的剪切应力有关。通过测量X或Y方向单热线对应的电压变化可得剪切应力的大小，再同时测量X或Y轴方向的双热线并将输出信号进行差分处理，可得剪切应力的方向。
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公开(公告)号：CN102539029B
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201210050586.3
申请日：2012-02-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开一种基于柔性MEMS技术的三维流体应力传感器及其阵列，包括电容式压应力传感器和热剪切应力传感器，电容式压应力传感器包括位于上电极层的上极板、压应力敏感膜和下电极层的下极板，支撑结构层形成压应力传感器的空腔结构；热剪切应力传感器由呈正方形排列的四组双热线电阻组成，热线电阻信号通过引线柱从柔性衬底引入检测电路。本发明基于柔性衬底技术和背线引接技术，采用MEMS加工技术和键合技术；通过电容信号的变化测量出流体压应力的大小，通过双热线电阻的变化测量出平面内二维剪切应力的大小和方向，电容信号和剪切应力信号分别引入检测电路中互不干扰；具有较高的分辨率、体积小、低成本批量加工的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102507362B
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201110341972.3
申请日：2011-11-02
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01N5/02
Abstract: 本发明公开一种压电基体微固体模态谐振式爆炸物探测器，其中：压电基体上下表面的左右两侧分布有驱动电极和参考电极、加热电阻、绝缘层和吸附膜，这些部分在压电基体上下表面的左右两侧完全对称，在吸附膜的左右两侧布置驱动电极和参考电极，吸附膜表面有一层加热电阻，该加热电阻与具有吸附膜的压电基体表面之间有一层绝缘层。本发明利用压电驱动激励微压电固体在特殊的振动模态下运动，并在参考电极上对谐振频率进行跟踪测量。所需的激励电压低，谐振频率可达到几十兆甚至几百兆赫兹，具有很高的刚度，抗冲击、抗振动性能好，并利用它的特殊体声波谐振模态工作，在常压下具有较高的品质因数，不需真空封装，可获得较高的灵敏度。
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公开(公告)号：CN102507361B
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201110314556.4
申请日：2011-10-17
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01N5/02
Abstract: 本发明公开一种微固体模态谐振爆炸物探测器，包括基体、驱动电极、参考电极、加热电阻和爆炸物选择性吸附膜，所述基体采用微弹性固体结构，基体两侧对称布置有驱动电极、参考电极、加热电阻和选择性吸附膜，这些部分在基体的上下两侧完全对称布置；所述爆炸物选择性吸附膜的下面铺有一层加热电极，两侧均布置两个驱动电极和一个参考电极。本发明利用压电驱动激励微固体在特殊的振动模态下运动，并在参考电极上对谐振频率进行跟踪测量。这种微弹性固体的谐振频率可达到几十兆甚至几百兆赫兹，具有很高的刚度，抗冲击、抗振动性能好，并利用它的特殊体声波谐振模态工作，在常压下具有较高的品质因数，不需真空封装，可获得较高的灵敏度。
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公开(公告)号：CN102297689B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201110206929.6
申请日：2011-07-22
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开一种微机电技术领域的静电驱动压电检测闭环控制微固体模态陀螺，包括弹性微振子以及位于其周围的静电驱动电极、参考振动感应电极、压电科氏力感应电极、静电力反馈电极，利用弹性微振子的两个兼并的特殊振动模态进行工作，即参考振动和感应振动模态，采用静电力进行驱动，可变电容机理来检测参考振动，利用压电电极检测科氏力感应振动，采用静电力进行反馈控制，使微固体模态陀螺工作在闭环工作模式下。本发明中无独立的质量弹簧结构，具有高的抗冲击、抗震动能力；工作频率高，利于增大微陀螺的测量带宽和降噪；可工作在大气环境下，提高可靠性，降低生产成本。采用闭环工作模式有利于提高微固体模态陀螺量程、线性度和动态特性。
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公开(公告)号：CN102297690B
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：CN201110206957.8
申请日：2011-07-22
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明涉及一种微机电技术领域的压电驱动电容检测双轴陀螺仪，其中：圆盘状、轮辐状或蜂窝状的陀螺振子下表面和支撑圆柱相连，支撑圆柱另一端固定在下极板上，下极板固定在载体上。上极板信号检测电极位于上极板的下端面，下极板信号检测电极位于下极板上端面。上极板、下极板和陀螺振子装配形成差分电容用于检测输出信号。本发明采用圆盘状、轮辐状或蜂窝状的陀螺振子的特殊模态，利用压电效应驱动，电容检测，来敏感平行于陀螺振子上下表面内的角速度。本发明采用MEMS微细加工技术，能实现双轴检测，加工工艺易于实现，可靠性高，功耗低，抗冲击性强，在恶劣的环境下能很好的工作。
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公开(公告)号：CN102288173B
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：CN201110206941.7
申请日：2011-07-22
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开一种微机电技术领域的静电驱动电容检测的微固体模态陀螺，包括弹性微振子以及位于其周围的参考振动驱动电极、参考振动感应电极、科氏力感应电极，利用弹性微振子的两个兼并的特殊振动模态进行工作，即参考振动和感应振动模态，采用静电力进行驱动，可变电容机理来检测参考振动和科氏力感应振动。本发明中无独立的质量弹簧结构，具有高的抗冲击、抗震动能力，可用于恶劣环境中；工作频率高，利于增大微陀螺的测量带宽和降噪；可工作在大气环境下，减小了封装的难度，可靠性提高，生产成本减低；采用静电激励和电容检测，便于微固体模态陀螺和CMOS测控电路进行集成，易于批量化生产，同时也减小了寄生电阻或电容的影响。
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