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公开(公告)号：CN220179060U
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202321940879.9
申请日：2023-07-21
申请人： 山东有研半导体材料有限公司 , 有研半导体硅材料股份公司
IPC分类号： B24B57/02
摘要： 本实用新型公开了一种适用于研磨晶圆的研磨液供液系统，属于研磨设备技术领域。该研磨液供液系统具备磨液搅拌桶和供液桶，磨液搅拌桶通过补液管与供液桶连接；磨液搅拌桶在顶部连接有注水管，在侧壁上设有液位报警装置，在底部连接第一排液管，在中心位置设有第一搅拌装置；补液管的吸液端设置在第一搅拌装置的搅拌扇叶上下20cm之间的位置；补液管上设有计量泵和信号传送装置，该信号传送装置传送来自研磨设备的信号并控制计量泵；供液桶中设有第二搅拌装置，并自供液桶的底部至顶部之间设置循环管，该循环管上设有循环泵和连接研磨设备的供液管。本实用新型结构简单，能够保证研磨液的均匀、稳定，满足研磨设备加工高品质晶圆所需的研磨液。
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公开(公告)号：CN220479658U
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202321932299.5
申请日：2023-07-21
申请人： 山东有研半导体材料有限公司 , 有研半导体硅材料股份公司
摘要： 本实用新型公开了一种应用于12英寸硅片洗盒机清洗6英寸花篮的专用装置，属于硅片生产设备技术领域。本实用新型的专用装置，包括主体框架、花篮承托区、花篮顶部固定装置，其中，所述花篮承托区设置在所述主体框架内部中间部分，在所述花篮承托区设有用于定位花篮的花篮定位凹槽以及对应于洗盒机水管的镂空孔，在与所述花篮定位凹槽对应的位置设有用于固定花篮的卡块结构；所述花篮顶部固定装置设置在所述主体框架的顶部，具有用于对花篮实施固定的固定销。本实用新型解决了12英寸洗盒机不能兼容清洗6英寸花篮而对产能造成的制约问题，充分释放12英寸洗盒机的产能，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN218928267U
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202223072825.3
申请日：2022-11-18
申请人： 山东有研半导体材料有限公司 , 有研半导体硅材料股份公司
摘要： 本实用新型公开了一种用于硅单晶棒连续取样的装置。该装置包括设置在基座上的三个导轮，其中，第一导轮为主动切割轮，提供切割工件时导轮转动的动力；第二导轮为从动切割导轮；第三导轮为张力调节导轮，连接重力压块和压力传感器，为加工工件的金刚砂线提供所需的张力；各导轮具有多线槽环形线锯导轮结构，包括金属导轮以及导轮涂覆层，在涂覆层沿圆周开设有多个开槽，在各导轮的对应的开槽内分别布置有金刚砂线，各金刚砂线之间以非平行的方式布置。针对不规则原生硅单晶棒，能够实现在截断硅棒的同时连续截取两片以上的样片。
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公开(公告)号：CN218568809U
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202222664704.1
申请日：2022-10-10
申请人： 山东有研半导体材料有限公司 , 有研半导体硅材料股份公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/687 , H01L21/67
摘要： 一种用于硅片贴片机的翻转吸盘装置，包括翻转支座总成和真空吸盘总成；该翻转支座总成包括一个连接板，该连接板设有头座及尾座；该头座设有第一通孔和第二通孔，第一通孔内固定设有线性轴承，各线性轴承内设有滑杆；滑杆顶端固定在固定板的边缘，该固定板套设于限位螺杆上；各第二通孔内设有限位螺栓；该真空吸盘总成包括圆形的底板，该底板边缘向上延伸设有侧板，该侧板顶部内侧设有顶板，该底板设有若干气孔；该顶板设有气管，该气管末端设有螺纹快插接头；滑杆底端与该顶板顶面固定连接；该头座底面中部设有向上凹陷的第一凹孔，该顶板顶面中部设有向下凹陷的第二凹孔，该第一凹孔和该第二凹孔之间设有压缩弹簧。
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公开(公告)号：CN216919476U
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202123382045.4
申请日：2021-12-29
申请人： 山东有研半导体材料有限公司 , 有研半导体硅材料股份公司
摘要： 本实用新型公开了一种用于直拉硅单晶多次加掺掺杂剂的装置，该装置包括籽晶和掺杂剂仓，所述掺杂剂仓与所述籽晶均为硅材质，二者通过螺纹连接，掺杂剂装载在掺杂剂仓中。所述籽晶下端表面铣有外螺纹；所述掺杂剂仓中间镂空且在其上端内壁铣有与籽晶的外螺纹啮合的内螺纹。所述籽晶表面的外螺纹的长度大于掺杂剂仓的内螺纹的长度。所述籽晶表面的外螺纹的长度为掺杂剂仓的内螺纹的长度的数倍。采用本实用新型的装置来加掺掺杂剂，炉内不必改变液面温度条件，不会对热场使用寿命造成影响。另外，通过籽晶插入液面掺杂，过程简单，耗时短，不会影响石英坩埚使用寿命。该装置加掺掺杂剂不会存在炸裂等风险，除了掺杂剂仓外，籽晶可实现多次使用。
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公开(公告)号：CN221223607U
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202323231767.9
申请日：2023-11-28
申请人： 山东有研半导体材料有限公司 , 有研半导体硅材料股份公司
摘要： 本实用新型公开了一种用于半导体晶棒切割的辅助校准装置。该装置包括表杆、磁性表座和百分表，其中，表杆具有主体部分和与主体部分的底部连接并向两侧延伸的延伸部分；表杆的主体部分与磁性表座固定连接；在表杆的主体部分和延伸部分的连接部位以及延伸部分上分别设有活动节点，并分别通过锁紧螺丝控制各活动节点的松紧度，控制延伸部分沿其延伸方向的水平移动；在延伸部分的两末端分别设有百分表，两个百分表分别用于与待切割晶棒侧面接触。当百分表与待切割晶棒侧面充分接触后，将百分表归零，以此时百分表的位置为零点，通过水平方向的移动，对待切割晶棒的水平与铅垂方向进行校准。采用本实用新型能够提高校准精度与效率。
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公开(公告)号：CN221212338U
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202323116133.9
申请日：2023-11-17
申请人： 山东有研半导体材料有限公司 , 有研半导体硅材料股份公司
摘要： 本实用新型公开了一种用于圆环形单晶硅棒加工的固定装置，属于半导体硅材料加工技术领域。该固定装置具备：夹紧框架和限位螺栓；其中，所述夹紧框架具有用于限位单晶硅棒外周面的弧形面，且在夹紧框架的顶部设有限位螺栓，该限位螺栓的下端与单晶硅棒沿长度方向的上端面接触，并且该限位螺栓的下端在沿单晶硅棒长度方向上的位置可调，夹紧框架的底部与设置在单晶硅棒下端面的垫块接触。本实用新型的用于圆环形单晶硅棒加工的固定装置设置限位夹持机构，连接固定单晶硅棒和单晶硅棒底部的垫块，能够提高单晶在加工过程中的稳定性和一体性，保证圆环形单晶硅棒加工的完整度，使圆环形单晶硅棒底部在加工时减少崩边的出现。
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公开(公告)号：CN218313273U
公开(公告)日：2023-01-17
申请号：CN202222664871.6
申请日：2022-10-10
申请人： 山东有研半导体材料有限公司 , 有研半导体硅材料股份公司
摘要： 一种用于拆卸多种轴承锁紧螺母的装置，包括圆形卡盘，该圆形卡盘底面设有若干沿该圆形卡盘径向延伸的滑道，相邻的滑道之间的角度均相同；各滑道截面呈T型，包括大径段和位于该大径段下方的小径段，该小径段的宽度小于该大径段的宽度，且该小径段与外部连通；该大径段内部设有长方体型的滑块，该滑块的宽度小于该大径段且大于该小径段；该滑块底面设有向下延伸的卡柱，该卡柱底端穿过该小径段且位于该圆形卡盘外部；该圆形卡盘顶面中部向上延伸设有旋转柱，该旋转柱顶部穿设有水平的操作杆。本实用新型结构简单，操作方便，通用性较高，能够提高设备轴承的更换效率，减少零件表面的机械损伤，缩短设备的维修周期。
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公开(公告)号：CN216715536U
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202123232751.0
申请日：2021-12-21
申请人： 山东有研半导体材料有限公司 , 有研半导体硅材料股份公司
摘要： 本实用新型公开了一种用于APCVD背封炉氮气罩的固定装置。该固定装置包括供氮气罩管路穿过的主体部分、用于将氮气罩管路与主体部分彼此紧固的固定螺母，所述主体部分具有圆柱体、设置在圆柱体上部的圆台部，以及设置在圆台部上部的紧固部；该紧固部外周设有螺纹，并在该紧固部的径向上设有凹槽，所述氮气罩管路穿过的位置与该凹槽在同一直线上；所述固定螺母具有与所述紧固部外周的螺纹匹配的内螺纹。本实用新型能够保证固定的密封性和紧合度，可重复多次使用，可适用于所有APCVD背封炉，具有很强的通用性。本实用新型的固定装置显著地减少了设备的停机时间，保证了产品的质量，节约了喷头由于断钉造成的维修成本，杜绝了由于氮气罩固定造成的故障发生。
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公开(公告)号：CN219174675U
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202223264078.3
申请日：2022-12-06
申请人： 有研半导体硅材料股份公司
摘要： 一种用于区熔炉内轴定位结构，包括内轴轴尖本体，该内轴轴尖本体包括杆状的第一本体；该第一本体外周设有第二本体；该第二本体一侧依次设有第一定位套、支撑筒、第二定位套及锁紧螺母；该第一定位套和第二定位套均包括环状的第三本体，该第一本体位于该第三本体内且二者之间无间隔；该第三本体外周设有若干截面呈圆弧型的定位板，各定位板对应的圆弧同心且该圆弧的圆心位于该第三本体的中轴线上；各定位板内侧与该第三本体外壁之间通过弹性连接件连接；该支撑筒包括圆筒状的第四本体，该第一本体位于该第四本体内；该第四本体两端分别设有圆形的支撑板，各支撑板分别与该第一定位套和第二定位套的侧面紧贴；该锁紧螺母与该第一本体通过螺纹连接。
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