公开(公告)号：CN116219402A

公开(公告)日：2023-06-06

申请号：CN202211534901.X

申请日：2022-12-02

申请人： 山东有研半导体材料有限公司 ,  有研半导体硅材料股份公司

发明人： 冯瑞琪 ,  何宇 ,  陈鲁锋 ,  杨先瑞

IPC分类号： C23C16/455 ,  C23C16/44 ,  C23C16/40

摘要： 一种APCVD背封炉喷头的冷却装置及方法，冷却装置包括冷却主体和底板，二者之间通过若干支撑板固定连接；该冷却主体呈筒型，且横截面呈矩形；该冷却主体包括相对设置的两个第一侧板和两个第二侧板，且该第一侧板的长度大于该第二侧板的长度；各第一侧板顶面设有定位螺孔；该冷却主体内壁为中空，内部设有冷却盘管，该第二侧板外壁穿设有进水管和出水管，该冷却盘管的两端分别与该进水管和出水管的内端连接；该底板呈矩形，各支撑板两端分别与该第一侧板与该底板固定连接。本发明APCVD背封炉喷头的冷却装置及方法，能起到加快喷头冷却的作用，有利于提高喷头清洁效率。

公开(公告)号：CN114233969A

公开(公告)日：2022-03-25

申请号：CN202111575518.4

申请日：2021-12-21

申请人： 山东有研半导体材料有限公司 ,  有研半导体硅材料股份公司

发明人： 赵晶 ,  邓建忠 ,  孙超 ,  姜振虎 ,  满序都 ,  冯瑞琪

IPC分类号： F16L41/08 ,  C23C16/40 ,  C23C16/44

摘要： 本发明公开了一种用于APCVD背封炉氮气罩的固定装置。该固定装置包括供氮气罩管路穿过的主体部分、用于将氮气罩管路与主体部分彼此紧固的固定螺母，所述主体部分具有圆柱体、设置在圆柱体上部的圆台部，以及设置在圆台部上部的紧固部；该紧固部外周设有螺纹，并在该紧固部的径向上设有凹槽，所述氮气罩管路穿过的位置与该凹槽在同一直线上；所述固定螺母具有与所述紧固部外周的螺纹匹配的内螺纹。本发明的固定装置能够保证固定的密封性和紧合度，可重复多次使用，可适用于所有APCVD背封炉，具有很强的通用性。本发明的固定装置显著地减少了设备的停机时间，保证了产品的质量，节约了喷头由于断钉造成的维修成本，杜绝了由于氮气罩固定造成的故障发生。

公开(公告)号：CN216715536U

公开(公告)日：2022-06-10

申请号：CN202123232751.0

申请日：2021-12-21

申请人： 山东有研半导体材料有限公司 ,  有研半导体硅材料股份公司

发明人： 赵晶 ,  邓建忠 ,  孙超 ,  姜振虎 ,  满序都 ,  冯瑞琪

IPC分类号： F16L41/08 ,  C23C16/40 ,  C23C16/44

摘要： 本实用新型公开了一种用于APCVD背封炉氮气罩的固定装置。该固定装置包括供氮气罩管路穿过的主体部分、用于将氮气罩管路与主体部分彼此紧固的固定螺母，所述主体部分具有圆柱体、设置在圆柱体上部的圆台部，以及设置在圆台部上部的紧固部；该紧固部外周设有螺纹，并在该紧固部的径向上设有凹槽，所述氮气罩管路穿过的位置与该凹槽在同一直线上；所述固定螺母具有与所述紧固部外周的螺纹匹配的内螺纹。本实用新型能够保证固定的密封性和紧合度，可重复多次使用，可适用于所有APCVD背封炉，具有很强的通用性。本实用新型的固定装置显著地减少了设备的停机时间，保证了产品的质量，节约了喷头由于断钉造成的维修成本，杜绝了由于氮气罩固定造成的故障发生。