一种微通道板的制备方法及由该制备方法制备得到的微通道板

    公开(公告)号:CN114496712A

    公开(公告)日:2022-05-13

    申请号:CN202111515816.4

    申请日:2021-12-13

    摘要: 本发明公开微通道板及其制备方法,其制备包括:提供基底;在基底的一个表面上的预选位置形成柱形阵列;在所述基底和柱形阵列的表面上沉积电子倍增材料,形成电子倍增层;在电子倍增层上施加绝缘材料至完全覆盖柱形阵列,形成绝缘层;对得到的结构中绝缘层所在的表面进行磨平、抛光,直至露出柱形阵列的顶端;去除基底并对该结构中与基底相结合的表面进行研磨、抛光,至露出柱形阵列的底端;去除柱形阵列,得到具有通孔且通孔上包覆有电子倍增层的绝缘层结构;分别在该绝缘层结构的上下表面上除通孔外的地方沉积导电材料。解决了微通道板的制备过程中存在的大深宽比孔微孔刻蚀、基材高温长时间处理变形以及微通道内壁薄膜材料均匀制作难的问题。

    超薄透明纳米/微米结构自组装薄膜及其绿色制备方法

    公开(公告)号:CN110240117B

    公开(公告)日:2022-04-19

    申请号:CN201810190368.7

    申请日:2018-03-08

    摘要: 本发明公开了一种超薄透明纳米/微米结构自组装薄膜及其绿色制备方法。所述制备方法包括:将纳米/微米结构和/或其改性物分散于第一液相体系中形成纳米/微米结构分散液;以喷雾方式将纳米/微米结构分散液喷洒至第二液相体系表面,再移除该第二液相体系,获得纳米/微米结构薄膜;对所述纳米/微米结构薄膜进行挤压处理,使所述纳米/微米结构薄膜在气液界面上进行自组装而形成致密稳定的厚度可控的纳米/微米结构自组装薄膜。本发明的纳米/微米粒子及其改性物薄膜综合性能良好可广泛使用在光学、电学器件、纳米涂层上;同时本发明制备工艺流程简单、操作方便、对环境因素要求低,且不造成任何影响,满足工业大面积、大批量生产需求。

    一种基于薄膜自卷曲技术的圆波导

    公开(公告)号:CN113497323B

    公开(公告)日:2022-03-18

    申请号:CN202110852400.5

    申请日:2021-07-27

    摘要: 本发明涉及一种基于薄膜自卷曲技术的圆波导,属于纳米器件技术领域。以硅片作为衬底,在衬底上沉积钛金属层、铜金属层和金金属层,通过刻蚀锗牺牲层,利用不同金属层间的内在应力作用,触发钛、铜、金金属层自卷曲,从而实现二维到三维的过渡,形成自卷曲的微纳米管。微纳米管的内径为微米级,圆波导工作频率为太赫兹波段。本发明所制成的片上圆波导结构小型化,纳米薄膜的微纳米管结构提供了优越的结构性能,具有较高的导电性能和电荷的传输效率;本发明的制作方法易于操作,成本更低,可批量生产。

    一种直径可控的管状单晶钙钛矿氧化物薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN114014253A

    公开(公告)日:2022-02-08

    申请号:CN202111293188.X

    申请日:2021-11-03

    摘要: 本发明属于微纳米尺度的柔性电子器件技术领域,具体涉及一种直径可控的管状单晶钙钛矿氧化物薄膜及其制备方法。所述管状单晶钙钛矿氧化物薄膜具有三维管状结构;所述三维管状结构通过衬底、柔性有机物支撑层和粘附在柔性有机物支撑层表面的管状钙钛矿氧化物薄膜组成。本发明选用水蒸气让钙钛矿结构的水溶性牺牲层缓慢溶解,实现薄膜出现微纳米裂纹。在显微镜中观察氧化物薄膜裂纹形成至整个薄膜,这利于后面管状结构的形成和控制。本发明通过改变单晶钙钛矿氧化物薄膜的厚度、单晶钙钛矿氧化物异质结构的组成结构、单晶钙钛矿氧化物异质结构的层数(从单层到多层)及单晶衬底种类,能够实现控制自支撑单晶钙钛矿氧化物薄膜的管状结构及直径。

    具有薄层金属内衬的柔性微型色谱柱及其制备方法

    公开(公告)号:CN111999408B

    公开(公告)日:2022-02-08

    申请号:CN202010881433.8

    申请日:2020-08-27

    摘要: 本发明公开了一种具有薄层金属内衬的柔性微型色谱柱及其制备方法,该色谱柱包括柔性基底和柔性顶盖,封装在柔性基底和柔性顶盖之间的色谱微沟道,微型色谱柱的下表面设有薄膜加热器,在色谱微沟道内壁沉积有金属内衬,金属内衬上涂覆固定相薄膜。本发明利用金属的高导热性,为固定相薄膜提供一个温度高度均匀的内衬层,使得附着在该薄层金属材料上的固定相薄膜的温度即使在热源快速升温时也具有良好的瞬态温度均匀性,保证了该柔性色谱柱可工作在快速升温模式。同时,金属内衬层很薄,涂覆在聚合物结构的内腔,不会改变结构的整体柔软性,不影响其在可穿戴场景中进行应用。

    一种基于薄膜自卷曲技术的圆波导

    公开(公告)号:CN113497323A

    公开(公告)日:2021-10-12

    申请号:CN202110852400.5

    申请日:2021-07-27

    摘要: 本发明涉及一种基于薄膜自卷曲技术的圆波导,属于纳米器件技术领域。以硅片作为衬底,在衬底上沉积钛金属层、铜金属层和金金属层,通过刻蚀锗牺牲层,利用不同金属层间的内在应力作用,触发钛、铜、金金属层自卷曲,从而实现二维到三维的过渡,形成自卷曲的微纳米管。微纳米管的内径为微米级,圆波导工作频率为太赫兹波段。本发明所制成的片上圆波导结构小型化,纳米薄膜的微纳米管结构提供了优越的结构性能,具有较高的导电性能和电荷的传输效率;本发明的制作方法易于操作,成本更低,可批量生产。

    流体处理装置
    60.
    发明公开
    流体处理装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN113351263A

    公开(公告)日:2021-09-07

    申请号:CN202110234598.0

    申请日:2021-03-03

    摘要: 本发明涉及流体处理装置。该流体处理装置具备:样本流路,用于样本的流动;分散剂流路,用于分散剂的流动;分散液生成部,与所述样本流路及所述分散剂流路连接,并用于用所述分散剂分离所述样本,生成所述样本的液滴分散于所述分散剂中的分散液;分散液流路,与所述分散液生成部连接,并用于所述分散液的流动;以及分散剂回收流路,与所述分散液流路连接,并用于从流经所述分散液流路的所述分散液中回收所述分散剂。