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公开(公告)号:CN105021130B
公开(公告)日:2018-08-24
申请号:CN201510470879.0
申请日:2015-08-04
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明提供了一种石英晶片尺寸的测量方法,属于石英晶片测量技术领域。它解决了现有技术中石英晶片测量精度差的问题。石英晶片尺寸的测量涉及以下测量装置:光源、起偏器、检偏器、相机和处理器,本测量方法包括以下步骤:步骤一、调整测量装置的位置并摆放样品;步骤二,调整起偏器、检偏器以及石英晶片与起偏器、检偏器之间的角度;步骤三、拍摄图像并发送给处理器;步骤四,计算石英晶片的尺寸。该石英晶片尺寸的测量方法测量过程简单,操作方便且能够显著提高石英晶片尺寸测量的精度。
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公开(公告)号:CN105021130A
公开(公告)日:2015-11-04
申请号:CN201510470879.0
申请日:2015-08-04
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明提供了一种石英晶片尺寸的测量方法,属于石英晶片测量技术领域。它解决了现有技术中石英晶片测量精度差的问题。石英晶片尺寸的测量涉及以下测量装置:光源、起偏器、检偏器、相机和处理器,本测量方法包括以下步骤:步骤一、调整测量装置的位置并摆放样品;步骤二,调整起偏器、检偏器以及石英晶片与起偏器、检偏器之间的角度;步骤三、拍摄图像并发送给处理器;步骤四,计算石英晶片的尺寸。该石英晶片尺寸的测量方法测量过程简单,操作方便且能够显著提高石英晶片尺寸测量的精度。
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公开(公告)号:CN104959320A
公开(公告)日:2015-10-07
申请号:CN201510337917.5
申请日:2015-06-18
Applicant: 浙江大学台州研究院
Abstract: 本发明公开了一种产品全自动目检机的校准方法,属于机器校准方法技术领域。本校准方法解决了目前目检机拾取产品效果不好的问题。本校准方法包括直线电机路径校准和转盘的圆心校准;A1、直线电机按预设位移量b1运动到电机点一;B1、将一个产品放置在吸头正下方;C1、确定在相机视场中产品中心点的坐标p1;D1、直线电机按预设位移量b2运动到电机点二;E1、将一个产品放置在吸头正下方;F1、确定在相机视场中产品中心点的坐标p2;G1、分别计算出:直线电机原点的坐标、相机的放大倍数和直线电机的路径,并将数据输入计算机。通过本方法的校准,从而使得直线电机更为有效的拾取产品。
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公开(公告)号:CN210604779U
公开(公告)日:2020-05-22
申请号:CN201921058634.7
申请日:2019-07-08
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: G01R23/06
Abstract: 本实用新型公开了一种石英晶片抛光研磨在线测频系统,包括DDS信号模块、射频功率放大模块、π网络接口电路模块、阻抗匹配模块、信号处理模块、MCU控制系统模块和用于为以上模块提供工作电压的电源模块,所述DDS信号模块根据MCU控制系统模块发出指定的扫频指令产生指定频率范围和扫频速度,输出功率的正弦扫频信号,经过射频功率放大模块把DDS信号模块产生的谐振信号进行功率放大,功率放大后的信号连接到π网络接口电路模块,正弦扫频信号通过π网络作用在晶片上使其产生机械振动,同时晶片的机械振动又产生交变电场,当外加的正选扫频信号频率为某一特定值的时候,振幅明显增大,当产生振幅明显增大的信号时,再去捕获有效信号。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN202270657U
公开(公告)日:2012-06-13
申请号:CN201120386688.3
申请日:2011-10-12
Applicant: 浙江大学台州研究院
Abstract: 本实用新型提供了一种晶片全自动目检机,属于机械技术领域。它解决了现有的技术中存在的工作效率比较低等技术问题。本晶片全自动目检机,包括一个机架,机架上设有取片转盘、检测转盘和收料盒,机架和取片转盘之间设有能将晶片输送至取片转盘上的进料机构,检测转盘和取片转盘之间设有能够将取片转盘上的晶片转移至检测转盘上预设位置的移料机构,检测转盘的上放和下方分别设有成像机构一和成像机构二,本目检机还包括一个与成像机构一和成像机构二相连的分析计算机,收料盒和检测转盘之间设有能够根据检测结果将检测转盘上的晶片放置在收料盒内不同位置的放料机构。本装置实现全自动化检测,相比目前通过人工目检方式,本装置能够提高工作效率。
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公开(公告)号:CN202275058U
公开(公告)日:2012-06-13
申请号:CN201120386623.9
申请日:2011-10-12
Applicant: 浙江大学台州研究院
Abstract: 本实用新型提供了一种晶片全自动目检机中的放料装置,属于机械技术领域。它解决了现有的技术中存在的人工取料过程速度慢等技术问题。本晶片全自动目检机中的放料装置,该目检机包括一个机架,机架上设有检测转盘和收料盒,收料盒位于检测转盘的一侧,本放料装置包括一个横臂和固设在该横臂一端的吸头,吸头位于检测转盘的上方,横臂的另一端和机架之间设有一个导向机构,通过该导向机构能使横臂带动吸头位于收料盒的上方。本装置采用横臂和吸头的结构实现自动取料的过程,可根据晶片的分析结果将合格或不合格的晶片分类放置在收料盒内的不同位置上,提高了取料的速度。
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公开(公告)号:CN213067453U
公开(公告)日:2021-04-27
申请号:CN202022298157.0
申请日:2020-10-15
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: G01B11/02
Abstract: 一种基于机器视觉的尺寸测量仪,包括固定架、操作台、检测台、光源以及相机;所述检测台、光源以及相机设置于固定架;检测台的中间部位设置有通孔,在通孔处设置有载物板,载物板为透明材质;光源设置于检测台下方,与载物板对应设置;相机设置于载物板的正上方的相机固定板;光源设置于载物板下方的光源固定板;操作台与光源以及相机电性连接;通过在载物板的四个角上设置微调节旋钮,实现远心同轴镜头和载物板之间的平行设置;通过在相机固定板和检测台之间设置激光测距装置,并且在检测台和固定架之间设置垂直高精度调节滑轨,保证相机固定板和检测台之间平行设置。
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公开(公告)号:CN213067442U
公开(公告)日:2021-04-27
申请号:CN202022298160.2
申请日:2020-10-15
Applicant: 浙江大学台州研究院
IPC: G01B11/00
Abstract: 一种基于机器视觉的可调尺寸测量仪,包括固定架、操作台、检测台、光源以及相机;所述检测台、光源以及相机设置于固定架;检测台的中间部位设置有通孔,在通孔处设置有载物板,载物板为透明材质;光源设置于检测台下方,与载物板对应设置;相机设置于载物板的正上方的相机固定板;操作台与光源以及相机电性连接;相机和检测台之间设置有标准平晶;所述相机的镜头处设置有远心同轴镜头,远心同轴镜头的侧面设置有He‑Ne激光器;通过在相机和载物板之间设置标准平晶,并且在载物板的四个角上设置微调节旋钮,在相机上设置He‑Ne激光器,实现相机的镜头和载物板之间的平行设置。
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公开(公告)号:CN210720181U
公开(公告)日:2020-06-09
申请号:CN201921275306.2
申请日:2019-08-07
Applicant: 浙江大学台州研究院
Abstract: 一种湿法涂胶的合成革卷边在线检测装置,包括支撑杆、支撑杆底盘、横杆一、横杆二、背光源、短杆、支杆、正面光源、采图模块、报警灯、工控机以及电气控制柜;所述支撑杆设置于支撑底盘,支撑底盘设置于地面,支撑杆竖立于检测点左右两侧;所述横杆一设置于支撑杆之间;所述背光源设置于横杆一上;所述短杆设置于支撑杆,短杆与支撑杆之间设置支杆;所述横杆二设置于短杆之间;所述采图模块、正面光源以及报警灯设置于横杆二;所述工控机与电气控制柜设置于支撑杆,工控机与采图模块以及正面光源电性连接;本实用新型通过机器代替人工,避免了人工检查可能存在漏检或是发现问题不及时的情况发生,保证了生产布匹的质量。
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