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公开(公告)号：CN103809166A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201410025286.9
申请日：2014-01-20
Applicant: 浙江大学
IPC: G01S7/481
CPC classification number: G01S7/4816 , G01S17/95
Abstract: 本发明公开了一种迈克尔逊干涉型光谱滤波器谐振频率锁定装置及方法。本发明包括激光器分束系统、Michelson干涉型滤波器系统和光电探测系统；激光器分束系统包括激光器、准直扩束器、第一分光镜、第一反射镜、第二反射镜、第二分光镜、第三反射镜；Michelson干涉型滤波器系统包括立方分光棱镜、第四反射镜、第五反射镜；光电探测系统包括透镜、第一光电倍增管、第二光电倍增管、第三光电倍增管、差分放大器、示波器；具体步骤：1.计算两束探针光束的入射角；2.调节两束探针光束的入射角；3.查看示波器，判断锁频状态；本发明实现简单，能够避免传统锁频方法对电路和光路的复杂要求，从而具有较强的系统稳定性和鲁棒性。
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公开(公告)号：CN103776389A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201410012476.7
申请日：2014-01-10
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种高精度非球面组合干涉检测装置与方法。本发明包括包括非球面非零位干涉检测系统、位移测量干涉系统和计算机数据处理模块；具体包括如下步骤：步骤1.选择部分零位镜，搭建高精度非球面组合干涉检测装置；步骤2.系统建模，并划分子孔径；步骤3.检测装置中非球面的定位；步骤4.子孔径干涉图采集处理；步骤5.子孔径回程误差校正；步骤6.全口径面形拼接。本发明结合非球面部分零位补偿法与环形子孔径拼接干涉检测法，可有效地减少覆盖全口径所需的子孔径数目，增加各环带子孔径和重叠区宽度，有效地解决了由于重叠区很小而影响拼接精度的难题。
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公开(公告)号：CN103308926A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310244136.2
申请日：2013-06-18
Applicant: 浙江大学
CPC classification number: Y02A90/19
Abstract: 本发明公开了一种高光谱分辨率激光雷达装置，本发明的锁频系统将基于视场展宽迈克尔逊干涉仪滤光器锁频至单频偏振脉冲激光器后，单频偏振脉冲激光器发射的光束经过扩束镜后，经反射镜a、b发射到被探测大气中；受大气分子和气溶胶粒子的散射，产生激光雷达回波信号；激光雷达回波信号由望远镜收集，通过光学滤波器滤除天空背景辐射后，经分光镜分光，一路信号被反射进入光电探测器a，另一路信号透射到偏振分光棱镜b后分为两路，S偏振信号被反射进入光电探测器b，P偏振信号透射到高光谱分辨率滤光器；P偏振信号经过基于视场展宽迈克尔逊干涉仪滤光器后被光电探测器c接收。本发明不受波长限制、视场角大、激光雷达回波信号搜集能力强。
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公开(公告)号：CN102636496B
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201210121716.8
申请日：2012-04-24
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/93
Abstract: 本发明公开了一种光学表面疵病暗场检测中疵病宽度标定标准化系统及方法。本发明解决了疵病检测中物面疵病的实际宽度与CCD成像像素宽度的关联问题。本发明的技术特点在于：为模拟存在疵病的光学表面，制作一个刻有一系列标准宽度刻线的石英定标板，并用扫描电镜标定刻线的实际宽度；使用一个光学表面疵病暗场检测系统，利用其中的精密导轨移动石英定标板并配合CCD采集每条定标线的暗场灰度图；对这些灰度图进行特征识别和特征提取，并与其实际宽度进行比对建立暗场物像关联函数。获得暗场物像关联函数后即可通过处理在同样成像条件下采集的被测件图像来对其表面划痕的宽度进行标定。实现了对光学表面宽度在微米及亚微米量级的疵病的标定的标准化。
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公开(公告)号：CN102680477A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210123930.7
申请日：2012-04-24
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明公开了一种大尺寸光学元件高精度调平方法与装置。本发明利用高倍率显微镜对元件表面不同位置的三特征点分别进行连续多幅暗场灰度图像采集，计算图像灰度信息熵值，拟合灰度信息熵值与显微镜轴向移动距离曲线，通过搜寻曲线中极小值的方法，获得正焦位置，获得各特征点离焦量。设计一种两板式弹性预紧，两点调整俯仰与侧摆的调平装置。通过建立离焦量与调整量换算模型，将三特征点处的离焦量换算为两调整点的调整量，进行调平操作。本发明解决了大尺寸光学元件在显微镜全范围扫描检测过程中出现的因光学元件与显微镜焦平面的不平行而造成的离焦问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102661956A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201210122901.9
申请日：2012-04-24
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/95
Abstract: 本发明提出了一种超光滑表面缺陷检测系统及其畸变校正方法。本发明解决了超光滑表面缺陷检测系统中因为存在光学畸变而造成的子图像拼接时的缺陷断裂问题。本发明的技术特点在于，设计了一种超光滑表面缺陷检测系统和畸变校正标准板及标准板的夹持装置，利用检测系统对标准板采集得到暗场畸变图像，通过该畸变图像和计算机按照物面尺寸和像面像素关系重构的标准板理想图像的匹配建立畸变退化模型，并提出一种基于二次极坐标正反变换和二次灰度线性插值的畸变校正方法。本方法能够校正超光滑表面缺陷检测系统中因畸变造成的相邻子图像的拼接错位，同时也适用于校正其他基于图像拼接的大视场光学系统中存在的畸变。
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公开(公告)号：CN102589416A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201210067757.3
申请日：2012-03-15
Applicant: 浙江大学
CPC classification number: G01B9/02041 , G01B9/02039 , G01B11/2441 , G01M11/005
Abstract: 本发明公开了一种用于非球面测量的波长扫描干涉仪及方法，包括一套可调谐激光器作为光源，一个泰曼—格林干涉仪用于产生干涉条纹，一个平移台用于沿光轴扫描光程差，一个用于将干涉数据转为数字信号并传入计算机的图像卡，以及一个用于同步CCD相机和平移台动作的数据卡。与传统非球面测量方法不同的是，本干涉仪适用范围广，可以测量大非球面度的表面或波前，且无需补偿零位镜。另外，该方法无需复杂且通常较为昂贵的多维运动平台。
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公开(公告)号：CN101592478B
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200910099785.1
申请日：2009-06-15
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种非球面非零位检测技术中非零补偿镜精密干涉定位方法及调整装置。本发明解决了被测非球面与非零补偿镜难以实现高精度定位的难题。本发明的技术特点在于，利用一辅助的非零补偿镜与消球差补偿镜组组合后形成组合消球差镜组。设计一种可以使非零补偿镜与消球差补偿镜组通过定位结构实现共轴组合和分离的机械结构。组合消球差镜组将非零补偿镜的非共心光束补偿成共心光束，建立一个非球面非零位检测技术中非零补偿镜菲佐型精密干涉定位系统，通过观察干涉条纹形状的变化，利用一可达微米量级定位精度的精密导轨，来判断调整使组合消球差镜组的焦点位于被测非球面的顶点。为非球面非零补偿检测方法提供了一种高精度的定位方法。
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公开(公告)号：CN101241232A
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200710156621.9
申请日：2007-11-08
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种可实现非球面通用化检测的大球差补偿透镜结构及其装置。大球差补偿镜具有双分离镜片，双分离镜片具有两个依次排列的同轴球面负透镜、正透镜，负透镜为凸凹球面透镜、正透镜为凸凸球面透镜。利用大球差补偿透镜进行非球面的通用化检测装置：在同一光轴上依次设有大球差补偿透镜、出瞳、波前检测仪器，在波前检测仪器中设有数字相机。本发明与现有技术相比具有的有益效果主要体现在其可以实现非球面的通用化检测，即大球差补偿镜可以在不同环带产生较大的球差，一定程度上补偿非球面的纵向法线像差，使补偿后的非球面波前不超过波前检测仪器的分辨能力；利用一个大球差补偿镜即可对多个非球面达到补偿目的，从而实现通用化检测。
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公开(公告)号：CN100373142C
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：CN200510049076.4
申请日：2005-02-06
Applicant: 浙江大学
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明公开了一种近红外脉冲波前干涉仪的系统误差标定系统及其方法。它依次具有激光器、双凹透镜、由负透镜、正透镜组成的双分离准直镜。在标定中，利用特定的测量方法来验证本装置所具有的误差，通过实施测量例中严格的数据处理，可以论证本装置波前畸变量远小于1/15波长的均方根值，完全可以作为一个近红外波段的近似理想准直扩束器用于标定脉冲波前畸变检测干涉仪的系统误差。本发明可以对10-150mm口径的近红外高功率脉冲波前畸变检测干涉仪进行系统误差的标定，该方法适用于其它可见光、中、远红外波段的干涉仪的系统误差的标定，为各类干涉仪检测系统的检测可靠性提供了极为有效的标定装置及方法。
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