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公开(公告)号：CN117948367A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202410339218.3
申请日：2024-03-25
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明涉及一种减震机构。一种减震机构，包括壳体和活动杆，所述活动杆内端位于壳体内，所述活动杆外端伸出至壳体外，所述壳体内转动固定有转动杆，所述转动杆上套设有连接件，所述连接件与所述转动件间螺纹配合，所述连接件与活动杆内端固定，所述活动杆内端设在所述转动杆一端外，所述转动杆另一端侧设有电磁阻力器，所述电磁阻力器包括与转动杆连接的第一阻力块及与壳体固定的第二阻力块，所述第一阻力块与壳体转动固定，所述第一阻力块与第二阻力块间通过通电以使第一阻力块相对第二阻力块转动时受到阻力。本发明能通过调整输入电压以改变减震机构的活动杆内缩时所受到的阻力，便于调整阻力大小，且使用时更为稳定的优点。
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公开(公告)号：CN117568105A
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN202311551971.0
申请日：2023-11-21
Applicant: 浙江大学
IPC: C11D1/72 , C11D1/75 , C11D1/825 , C11D1/90 , C11D1/94 , C11D3/04 , C11D3/60 , B08B3/08 , B08B3/12
Abstract: 本发明公开了一种用于集成电路氟塑料零件的氟塑料清洗液及清洗方法。氟塑料清洗液是主要由酸液和表面活性剂溶于超纯水中形成的混合液；方法包括按照配方配制氟塑料清洗液；利用UPW对氟塑料零件冲洗，再放入在异丙醇溶液中浸泡，浸泡完成后取出并再次利用UPW冲洗干净；洗净后，将氟塑料零件全浸没在氟塑料清洗液中，并对氟塑料零件进行超声处理，接着取出氟塑料零件，使用UPW对氟塑料零件冲洗；冲洗掉氟塑料清洗液后，将氟塑料零件放置在UPW中浸泡、干燥得到清洗干净的氟塑料零件。本发明能满足半导体、生物医药、电子级化工等领域的超洁净流体运输要求，提升清洗效率，且对于精密元件，形状不规则的物件，能达到很好的清洗效果。
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公开(公告)号：CN115060410B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN202210650397.3
申请日：2022-06-09
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种测量超薄液膜壁面压力的平膜式压力传感器及制备工艺。传感阵列嵌入在被测壁面内，传感阵列包括多个传感单元，每个传感单元中，被测壁面内部开设有阶梯状油腔，在被测壁面背面开设充油孔，充油孔和阶梯状油腔侧旁连通；PVDF膜安装孔位处固定嵌装PVDF膜片与被测壁面齐平，压力传感芯片安装孔位处固定布置MEMS压力传感芯片；在真空条件下，在粘贴了MEMS压力芯片和PVDF膜片后进行真空注液工艺。本发明结构对原流场的干扰最小化，规避引压孔结构引起的测量误差，实现5mm的空间阵列排布，提升传感器的动态响应性能，结构紧凑，能在1kPa的量程内达到千分之二的测量精度。
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公开(公告)号：CN116699947A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310652690.8
申请日：2023-06-02
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种光刻设备检测系统及其检测方法，上密封件从浸没控制单元上方完全遮蔽其中心通孔，下密封件从浸没控制单元下方完全遮蔽其中心通孔，共同合围形成中心流室；下密封件中设下采样流道，下采样流道两端分别与中心通孔和洁净度检测器相连。对组装好的浸没控制单元及其附属流路进行浸液流路的洁净度检测，在检测过程中，封闭浸没控制单元中心通孔的上下两端，避免其内部容纳的浸液与环境气体接触，从而准确地检测浸液的洁净度，以评价浸没控制单元及其附属流路的洁净度质量。
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公开(公告)号：CN115586710A
公开(公告)日：2023-01-10
申请号：CN202211399963.4
申请日：2022-11-09
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于PCM隔绝内部温度波动的温控装置和控制方法。温控装置底部与被控物体接触，由PCM相变介质进行吸热控温，在被PCM相变介质四面包裹的微流道中通入冷却介质，通过协同控制算法使PCM维持在相变温度，利用相变潜热等温吸热的特性抑制脉冲热波动和隔绝低温冷却介质对环境的干扰，并在外层微流道中通入与外界环境温度相同的高精度温控水用以维持装置上表面的温度以及协同维持PCM的相变状态。本发明实现高效控温的同时抑制了发热物体的脉冲热波动以及冷却介质对环境的热干扰，有利于光刻设备内部环境温度的均一性和稳定性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115415556A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202211046735.9
申请日：2022-08-30
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种聚四氟乙烯管件的车削加工装置。针对现有车床在车削聚四氟乙烯材料薄壁管件时，由于材料弹性过大，切削时材料会随车刀一起运动，发生“让刀”现象，并最终导致切削不足的问题。本发明可代替普通机床的溜板箱直接安装在车床导轨上，装置包括：车床导轨机构、一级丝杠组件、二级丝杠组件，车床导轨机构中包含转动底座，二级丝杠组件中包含两把专用车刀。旋转底座用于控制车刀的切削角度，一级丝杠组件用于控制两把车刀的整体运动，二级丝杠组件控制车刀之间的相对运动。本发明可以高效加工出高精度的聚四氟乙烯管件，满足了半导体制造领域对于精密氟塑料管件的需求。
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公开(公告)号：CN114047673B
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202111459709.4
申请日：2021-12-02
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种隔离内部波动的温控装置及其解耦控制方法。装置盒体底面接触被控物体，内部开设外层流道、夹层流道和内层微流道，装置盒体顶面上设有微翅片；温控水出口、冷却液出口有温度传感器；向内层微流道通入冷却水，向外层流道通入与外界环境温度相同的温控水；由被控物体表面和装置盒体底面热交换传递到内层微流道和外层流道，内层微流道冷却水先热交换温控，外层流道温控水吸收内层微流道对被控物体调控时过热冷量，实时对夹层温控水入口的电磁开关阀解耦控制隔绝温度波动。本发明实现高效温控的同时避免了冷却液对环境的热干扰，有利于光刻设备内部环境温度的均一性和稳定性，且设计结构紧凑，有利于在复杂的光刻机内部使用。
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公开(公告)号：CN114571644A
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202210161725.3
申请日：2022-02-22
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种具有全氟表面的复合式闭式叶轮。其整体由叶轮上盖和叶轮底座两部分组合而成，二者通过超声波熔融埋植的方式进行结合；叶轮上盖选用金属材料作为内部基体，外表面裹覆有氟树脂涂层，叶轮底座整体采用氟树脂材料；在埋植过程中，叶轮上盖的埋植嵌体与底座的凹槽相互贴合，二者表面的氟树脂材料通过吸收超声波机台传递的高频振动能量，迅速升温达到熔融状态，进而相互融结，形成具有全氟表面的闭式叶轮。本方案中叶轮所有表面均为氟树脂材料，满足了全氟表面的需求，提高了耐腐蚀性能，进而提升了叶轮的使用寿命与工作稳定性；整套工艺流程简单易行，针对不同形状和大小的叶轮无需重新设计开发模具，具有良好的适应性。
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公开(公告)号：CN113137373B
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202010056650.3
申请日：2020-01-18
Applicant: 浙江大学 , 浙江启尔机电技术有限公司
Abstract: 本发明涉及一种基于液力平衡原理的磁悬浮泵结构，包括内部引流式进水口补偿结构和双向进水口补偿结构，叶轮系统同时受到多入口输入的液体压力，以补偿或平衡轴向冲击，以解决现有磁悬浮泵入水口水压波动导致转子轴向受到较大冲击，从而造成的转子旋转失稳、脉冲式出水、摩擦导致出水不纯、功率受限等问题。所述内部引流式进水口补偿结构主要特征在于内部引流式泵头结构；所述双向进水口补偿结构包括单电机形式和双电机形式，所述单电机形式和双电机形式主要特征在于双入口式泵头结构。本发明合理优化结构，利用内部引流式或多入口代替单入口来补偿或平衡叶轮运转过程中的轴向冲击，具有旋转稳定，出水平稳，功率大，结构紧凑等优点。
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公开(公告)号：CN114152295A
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202111459076.7
申请日：2021-12-02
Applicant: 浙江大学
IPC: G01F1/24
Abstract: 本发明公开了一种集成式的磁悬浮流量控制器。底座、腔筒和上盖紧密装配并合围形成主腔体，主腔体内部装有超洁净浮子；主腔体外周布置驱动磁路，驱动磁路上下方布置悬浮磁路；驱动磁路中，驱动电机在上盖，驱动电机输出轴和丝杠连接，丝杠外经T型滑套和连接支架连接，连接支架下装外永磁体和悬浮磁路；悬浮磁路包括外永磁体上下方的悬浮组件；悬浮组件包括电路板、悬浮线圈绕组组成的悬浮线圈组和霍尔传感器组。本发明浮子本身作为执行控制阀进行流量控制，以浮子在来流冲击下相对外磁体的位移差作为流量反馈信号实现流量的闭环控制，减少了体积，保障了流体的洁净度，解决了传统浮子流量计因径向附壁摩擦而产生的起始检测流量过大的问题。
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