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公开(公告)号：CN109791366B
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201780058903.7
申请日：2017-09-29
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 青木保夫
Abstract: 本发明的移动体装置，具备可保持基板(P)往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、将基板保持具(32)的位置信息以设于基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设于Y粗动载台(24)的标尺(72)加以取得的第1测量系统、将Y粗动载台(24)的位置信息以设于Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)加以取得的第2测量系统、以及根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。
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公开(公告)号：CN109791365B
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201780058902.2
申请日：2017-09-29
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 青木保夫
Abstract: 本发明的移动基板(P)的移动体装置，具备：保持基板(P)可往X轴及Y轴方向移动的基板保持具(32)、可往Y轴方向移动的Y粗动载台(24)、通过设在基板保持具(32)的读头(74x、74y)与设在Y粗动载台(24)的标尺(72)取得基板保持具(32)的位置信息的第1测量系统、通过设在Y粗动载台(24)的读头(80x、80y)与标尺(78)取得Y粗动载台(24)的位置信息的第2测量系统、根据以第1及第2测量系统取得的位置信息控制基板保持具(32)的位置的控制系统，第1测量系统一边使读头(74x、74y)相对标尺(72)往X轴方向移动一边照射测量光束，第2测量系统一边使读头(80x、80y)相对标尺(78)往Y轴方向移动一边照射测量光束。
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公开(公告)号：CN108139679B
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN201680057215.4
申请日：2016-09-28
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 青木保夫
IPC: G03F7/20
Abstract: 将基板(P)的多个区划区域(S1～S4)分别扫描曝光的曝光装置，其具有：非接触保持具(32)，能以非接触方式支承在彼此交叉的第1及第2方向的至少一方向排列配置的前述多个区划区域(S1～S4)；基板载具(40)，保持被非接触保持具(32)以非接触方式支承的基板(P)；对准传感器(96)，进行检测设在前述多个区划区域(S1～S4)的多个对准标记(Mk)的检测动作；以及Y线性致动器(62)，以被前述基板载具(40)保持且进行了前述检测动作的基板(P)的一部分从非接触保持具(32)脱离的方式，使基板载具(40)相对非接触保持具(32)移动。
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公开(公告)号：CN107466381B
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN201680020622.8
申请日：2016-03-30
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20 , B65G49/06 , H01L21/677
Abstract: 基板(P)向基板固持器(28)的搬运方法包括：利用保持垫(84b)，对位于基板固持器(28)的上方的基板(P)的一部分进行保持；解除对位于基板固持器(28)的上方的基板(P)的另一部分进行保持的基板搬入手(62)对基板(P)的另一部分的保持；以及对保持着基板(P)的保持垫(84b)向下方进行驱动控制，以使基板(P)支撑在基板固持器(28)的支撑面。由此，可迅速地将基板搬运至基板固持器。
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公开(公告)号：CN107430357B
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN201680020621.3
申请日：2016-03-31
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 透过投影光学系(40)对基板(P)射出来自照明系(20)的光(IL)，并相对基板(P)将照明系(20)及投影光学系(40)驱动于扫描方向进行扫描曝光，以将既定图案形成于基板(P)上的液晶曝光装置(10)，具备取得与用以将照明系(20)及投影光学系(40)驱动于扫描方向的位置相关的资讯的取得部、以及在扫描曝光中根据资讯控制投影光学系(40)以使照明系(20)及投影光学系(40)的位置关系的变化在既定范围内的控制系。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN107466381A
公开(公告)日：2017-12-12
申请号：CN201680020622.8
申请日：2016-03-30
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20 , B65G49/06 , H01L21/677
Abstract: 基板(P)向基板固持器(28)的搬运方法包括：利用保持垫(84b)，对位于基板固持器(28)的上方的基板(P)的一部分进行保持；解除对位于基板固持器(28)的上方的基板(P)的另一部分进行保持的基板搬入手(62)对基板(P)的另一部分的保持；以及对保持着基板(P)的保持垫(84b)向下方进行驱动控制，以使基板(P)支撑在基板固持器(28)的支撑面。由此，可迅速地将基板搬运至基板固持器。
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公开(公告)号：CN107430354A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680020548.X
申请日：2016-03-31
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 透过投影光学系(40)对基板(P)照射照明光(IL)，并借由相对基板(P)驱动投影光学系(40)进行扫描曝光的液晶曝光装置(10)，具备检测设于基板(P)的标记(Mk)的对准系(60)、驱动对准系(60)的第1驱动系、驱动投影光学系(40)的第2驱动系、以及以投影光学系(40)与对准系(60)彼此不接触的方式控制第1及第2驱动系的控制装置。如此，能避免投影光学系(40)与对准系(60)的接触。
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公开(公告)号：CN107407893A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680020108.4
申请日：2016-03-30
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 青木保夫
IPC: G03F7/20 , H01L21/683
CPC classification number: G03F7/2037 , G03F7/201 , G03F7/707 , G03F7/70716 , G03F7/70775 , H01L21/6838
Abstract: 一种曝光装置，借助投影光学系统向基板(P)照射照明光，相对于照明光相对地驱动基板(P)，分别对玻璃基板(P)的多个区域进行扫描曝光，该曝光装置包括：基板保持件(68)，其对基板(P)的第1区域进行悬浮支承；基板载具(70)，其保持由基板保持件(68)悬浮支承的玻璃基板(P)；X粗调台(40)，其对基板保持件(68)进行驱动；X音圈马达(84x)和Y音圈马达(84y)，二者对基板载具(70)进行驱动；以及控制装置，其在扫描曝光中对X粗调台(40)、X音圈马达(84x)等进行控制，以分别驱动基板保持件(68)和基板载具(70)。由此，能够提供一种物体位置控制性得到了提高的曝光装置。
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公开(公告)号：CN105954976A
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201610282687.1
申请日：2010-08-17
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 于基板(P)下方配置有对基板(P)下面喷出空气的多个空气悬浮单元(50)，并且基板(P)被以非接触方式支承成大致水平。进一步地，基板(P)被定点载台(40)从下方以非接触方式保持被曝光部位，该被曝光部位的面位置被精确调整。是以，能以高精度对基板(P)进行曝光，且能使基板载台装置(PST)的构成简单化。
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