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公开(公告)号：CN107430354B
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN201680020548.X
申请日：2016-03-31
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 透过投影光学系(40)对基板(P)照射照明光(IL)，并借由相对基板(P)驱动投影光学系(40)进行扫描曝光的液晶曝光装置(10)，具备检测设于基板(P)的标记(Mk)的对准系(60)、驱动对准系(60)的第1驱动系、驱动投影光学系(40)的第2驱动系、以及以投影光学系(40)与对准系(60)彼此不接触的方式控制第1及第2驱动系的控制装置。如此，能避免投影光学系(40)与对准系(60)的接触。
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公开(公告)号：CN112162465A
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN202010960580.4
申请日：2016-03-31
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 本发明是曝光装置、平面显示器的制造方法、元件制造方法、及曝光方法。透过投影光学系(40)对基板(P)照射照明光(IL)，并借由相对基板(P)驱动投影光学系(40)进行扫描曝光的液晶曝光装置(10)，具备检测设于基板(P)的标记(Mk)的对准系(60)、驱动对准系(60)的第1驱动系、驱动投影光学系(40)的第2驱动系、以及以投影光学系(40)与对准系(60)彼此不接触的方式控制第1及第2驱动系的控制装置。如此，能避免投影光学系(40)与对准系(60)的接触。
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公开(公告)号：CN112162465B
公开(公告)日：2023-06-20
申请号：CN202010960580.4
申请日：2016-03-31
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 本发明是曝光装置、平面显示器的制造方法、元件制造方法、及曝光方法。透过投影光学系(40)对基板(P)照射照明光(IL)，并借由相对基板(P)驱动投影光学系(40)进行扫描曝光的液晶曝光装置(10)，具备检测设于基板(P)的标记(Mk)的对准系(60)、驱动对准系(60)的第1驱动系、驱动投影光学系(40)的第2驱动系、以及以投影光学系(40)与对准系(60)彼此不接触的方式控制第1及第2驱动系的控制装置。如此，能避免投影光学系(40)与对准系(60)的接触。
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公开(公告)号：CN107533303B
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN201680020549.4
申请日：2016-03-31
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 透过投影光学系(30)对基板(P)照射照明光(IL)，并对基板(P)相对驱动投影光学系(PL)以进行扫描曝光的液晶曝光装置(10)，具备进行设于基板(P)的标记(Mk)的标记检测的对准显微镜(62、64)、驱动对准显微镜(62、64)的第1驱动系、驱动投影光学系(40)的第2驱动系、以及以在投影光学系(40)的驱动前先进行对准显微镜(62、64)的驱动的方式控制第1及第2驱动系的控制装置。如此，即能抑制曝光处理所需的生产时间。
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公开(公告)号：CN107533303A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680020549.4
申请日：2016-03-31
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 透过投影光学系(30)对基板(P)照射照明光(IL)，并对基板(P)相对驱动投影光学系(PL)以进行扫描曝光的液晶曝光装置(10)，具备进行设于基板(P)的标记(Mk)的标记检测的对准显微镜(62、64)、驱动对准显微镜(62、64)的第1驱动系、驱动投影光学系(40)的第2驱动系、以及以在投影光学系(40)的驱动前先进行对准显微镜(62、64)的驱动的方式控制第1及第2驱动系的控制装置。如此，即能抑制曝光处理所需的生产时间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107430357A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680020621.3
申请日：2016-03-31
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 透过投影光学系(40)对基板(P)射出来自照明系(20)的光(IL)，并相对基板(P)将照明系(20)及投影光学系(40)驱动于扫描方向进行扫描曝光，以将既定图案形成于基板(P)上的液晶曝光装置(10)，具备取得与用以将照明系(20)及投影光学系(40)驱动于扫描方向的位置相关的资讯的取得部、以及在扫描曝光中根据资讯控制投影光学系(40)以使照明系(20)及投影光学系(40)的位置关系的变化在既定范围内的控制系。
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公开(公告)号：CN107466381B
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN201680020622.8
申请日：2016-03-30
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20 , B65G49/06 , H01L21/677
Abstract: 基板(P)向基板固持器(28)的搬运方法包括：利用保持垫(84b)，对位于基板固持器(28)的上方的基板(P)的一部分进行保持；解除对位于基板固持器(28)的上方的基板(P)的另一部分进行保持的基板搬入手(62)对基板(P)的另一部分的保持；以及对保持着基板(P)的保持垫(84b)向下方进行驱动控制，以使基板(P)支撑在基板固持器(28)的支撑面。由此，可迅速地将基板搬运至基板固持器。
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公开(公告)号：CN107430357B
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN201680020621.3
申请日：2016-03-31
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 透过投影光学系(40)对基板(P)射出来自照明系(20)的光(IL)，并相对基板(P)将照明系(20)及投影光学系(40)驱动于扫描方向进行扫描曝光，以将既定图案形成于基板(P)上的液晶曝光装置(10)，具备取得与用以将照明系(20)及投影光学系(40)驱动于扫描方向的位置相关的资讯的取得部、以及在扫描曝光中根据资讯控制投影光学系(40)以使照明系(20)及投影光学系(40)的位置关系的变化在既定范围内的控制系。
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公开(公告)号：CN107466381A
公开(公告)日：2017-12-12
申请号：CN201680020622.8
申请日：2016-03-30
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20 , B65G49/06 , H01L21/677
Abstract: 基板(P)向基板固持器(28)的搬运方法包括：利用保持垫(84b)，对位于基板固持器(28)的上方的基板(P)的一部分进行保持；解除对位于基板固持器(28)的上方的基板(P)的另一部分进行保持的基板搬入手(62)对基板(P)的另一部分的保持；以及对保持着基板(P)的保持垫(84b)向下方进行驱动控制，以使基板(P)支撑在基板固持器(28)的支撑面。由此，可迅速地将基板搬运至基板固持器。
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公开(公告)号：CN107430354A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680020548.X
申请日：2016-03-31
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 透过投影光学系(40)对基板(P)照射照明光(IL)，并借由相对基板(P)驱动投影光学系(40)进行扫描曝光的液晶曝光装置(10)，具备检测设于基板(P)的标记(Mk)的对准系(60)、驱动对准系(60)的第1驱动系、驱动投影光学系(40)的第2驱动系、以及以投影光学系(40)与对准系(60)彼此不接触的方式控制第1及第2驱动系的控制装置。如此，能避免投影光学系(40)与对准系(60)的接触。
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