树脂组合物、固化物、层叠体、固化物的制造方法及半导体器件

    公开(公告)号:CN117083346A

    公开(公告)日:2023-11-17

    申请号:CN202280025200.5

    申请日:2022-03-24

    Inventor: 野崎敦靖

    Abstract: 本发明提供一种树脂组合物、固化上述树脂组合物而成的固化物、包含上述固化物的层叠体、上述固化物的制造方法及包含上述固化物或上述层叠体的半导体器件,所述树脂组合物包含树脂:其为环化树脂或其前驱体;及由式(1‑1)表示的化合物B,其中,X1表示包含芳香环结构的n价连结基团,X1中的与式中的氮原子的键合部位中至少1个为芳香环结构,R1分别独立地表示氢原子或1价有机基团,R1可以与X1键合而形成环结构,Y1分别独立地表示m+1价连结基团,W1分别独立地表示包含聚合性基团的基团,n表示1以上的整数,m表示1以上的整数。#imgabs0#

    固化物的制造方法、层叠体的制造方法及半导体器件的制造方法以及处理液

    公开(公告)号:CN116635453A

    公开(公告)日:2023-08-22

    申请号:CN202280008338.4

    申请日:2022-07-29

    Abstract: 本发明提供一种可以获得断裂伸长率优异的固化物的固化物的制造方法、包括上述固化物的制造方法的层叠体的制造方法及包括上述固化物的制造方法或上述层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法,并且提供一种在上述固化物的制造方法中所使用的处理液。固化物的制造方法包括:膜形成工序,将包含环化树脂的前体的树脂组合物适用于基材上而形成膜;处理工序,使处理液与上述膜接触;及加热工序,在上述处理工序之后对上述膜进行加热,上述处理液包含选自具有酰胺基的碱性化合物及具有酰胺基的碱产生剂中的至少1种化合物。

    固化物的制造方法、层叠体的制造方法及半导体器件的制造方法

    公开(公告)号:CN116234845A

    公开(公告)日:2023-06-06

    申请号:CN202180064487.8

    申请日:2021-08-31

    Abstract: 本发明提供一种即使在低温下进行固化的情况下也可以获得断裂伸长率及耐化学性优异的固化物的固化物的制造方法、包括上述固化物的制造方法的层叠体的制造方法及包括上述固化物的制造方法或上述层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法。固化物的制造方法包括:膜形成工序,将特定的感光性树脂组合物适用于基材上而形成膜;曝光工序,选择性地曝光膜;显影工序,通过显影液对曝光后的膜进行显影而形成图案;处理工序,使处理液与上述图案接触;以及加热工序,对上述处理工序后的图案进行加热,上述显影液及上述处理液中的至少一者包含选自碱及碱产生剂中的至少1种化合物。

    固化性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法、半导体器件及树脂

    公开(公告)号:CN114761466A

    公开(公告)日:2022-07-15

    申请号:CN202080084112.3

    申请日:2020-12-03

    Inventor: 野崎敦靖

    Abstract: 本发明提供一种固化性树脂组合物、将上述固化性树脂组合物固化而成的固化膜、包含上述固化膜的层叠体、上述固化膜的制造方法及包含上述固化膜或上述层叠体的半导体器件以及提供一种包含特定结构的新型树脂,其中,该固化性树脂组合物包括包含下述式(1‑1)所表示的重复单元且包含选自下述式(2‑1)所表示的重复单元、下述式(2‑2)所表示的重复单元、下述式(2‑3)所表示的重复单元及下述式(2‑4)所表示的重复单元中的至少一种重复单元的树脂及溶剂。

    平版印刷版原版及制版方法

    公开(公告)号:CN107921808A

    公开(公告)日:2018-04-17

    申请号:CN201680045106.0

    申请日:2016-07-15

    Abstract: 本发明提供一种机上显影性、显影残渣的附着防止性、着墨性及印刷耐久性优异的平版印刷版原版及制版方法。所述平版印刷版原版在支撑体上具有图像记录层,所述图像记录层含有聚合物,该聚合物在主链上具有磺酰胺基、酰胺基、酰亚胺基及碳酸酯基,且具有由下述通式(1)表示的基团,式(1)中,X表示单键或氧原子。Ra在X为单键的情况下表示碳原子数为6~40的亚烷基,在X为氧原子的情况下表示碳原子数为2~20的亚烷基。n表示1~45的数。[化学式1]

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