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公开(公告)号:CN111093347B
公开(公告)日:2021-11-09
申请号:CN201911379925.0
申请日:2019-12-27
Applicant: 季华实验室
IPC: H05K7/20
Abstract: 本发明公开了一种自循环高效散热器,采用封闭式管道,无需外连冷却水进行外循环,有利于降低冷却成本,操作方便;通过采用TiO2‑水纳米流体作为冷却剂,在TiO2‑水纳米流体中,TiO2的浓度在0.2%‑0.5%范围内最佳,相较于常规散热器采用的自来水冷却剂可将换热系数提高25%左右;同时,散热基板内设有可自旋转的螺旋形旋转轴,螺旋形旋转轴的持续自旋转加强了管路内TiO2‑水纳米流体的扰动,将TiO2‑水纳米流体由层流变成紊流,将很大程度上提高散热能力,换热系数将提高50%。
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公开(公告)号:CN111088526B
公开(公告)日:2021-05-11
申请号:CN201911379938.8
申请日:2019-12-27
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明提供了一种多片装载的碳化硅外延生长设备,包括基座,设置在基座上的反应室,设置在反应室左侧的进气机构,设置在反应室右侧的出气机构,设置在反应室底部的加热线圈,可转动地设置在反应室中部的托盘架,以及用于驱动托盘架转动的驱动机构;所述托盘架包括一根竖直的旋转杆,以及多个水平地串接在旋转杆上的石墨托盘;每个石墨托盘上表面均匀设置有多个用于放置衬底的定位凹槽。该碳化硅外延生长设备可一次生产多个外延片且结构紧凑、节能环保。
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公开(公告)号:CN111172504A
公开(公告)日:2020-05-19
申请号:CN201911382863.9
申请日:2019-12-27
Applicant: 季华实验室
IPC: C23C14/35
Abstract: 本发明公开了一种新型磁控溅射阴极,包括靶材、第一磁体结构和第二磁体结构;第一磁体结构产生第一磁力线回路,形成第一磁场;第二磁体结构产生第二磁力线回路,形成第二磁场;当启动溅射时,第一磁场作用使靶材位于第一磁力线回路内的区域形成第一等离子区,第二磁场作用使靶材位于第二磁力线回路内的区域形成第二等离子区,实现溅射;第二等离子区和第一等离子区叠加区域不完全重合;通过在第一磁体结构的基础上叠加第二磁体结构,可以增大靶材的溅射使用面积,溅射靶材的溅射后表面形态可以由V形变成U形,靶材的利用率可以从传统的20~25%增加到30~35%,提高靶材的利用率。
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公开(公告)号:CN111134526A
公开(公告)日:2020-05-12
申请号:CN201911382860.5
申请日:2019-12-27
Applicant: 季华实验室
IPC: A47J27/092 , A47J27/08
Abstract: 本发明公开了一种快速降压的压力容器,包括内胆以及热电制冷电偶,热电制冷电偶包括冷端面和热端面,所述热电制冷电偶的冷端面与内胆的外侧壁面贴合,热电制冷电偶通电后冷端面将从内胆上快速吸收热量并通过热端面向四周环境放热;本技术方案通过在内胆的外壁上设置热电制冷电偶,能实现快速的冷却降压,有助于加热完成后快速开盖;本技术方案的冷却降压过程无需排气,不会造成容器内液体或流质随排气过程喷出而污染器具或环境;热电制冷电偶布置在内胆的外壁上,不破坏整体密封性,不会带来漏气漏液风险;本快速降压的压力容器的冷却降压速度快,通电后即可开始恒定功率的制冷,操作简单方便。
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公开(公告)号:CN111093347A
公开(公告)日:2020-05-01
申请号:CN201911379925.0
申请日:2019-12-27
Applicant: 季华实验室
IPC: H05K7/20
Abstract: 本发明公开了一种自循环高效散热器,采用封闭式管道,无需外连冷却水进行外循环,有利于降低冷却成本,操作方便;通过采用TiO2-水纳米流体作为冷却剂,在TiO2-水纳米流体中,TiO2的浓度在0.2%-0.5%范围内最佳,相较于常规散热器采用的自来水冷却剂可将换热系数提高25%左右;同时,散热基板内设有可自旋转的螺旋形旋转轴,螺旋形旋转轴的持续自旋转加强了管路内TiO2-水纳米流体的扰动,将TiO2-水纳米流体由层流变成紊流,将很大程度上提高散热能力,换热系数将提高50%。
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公开(公告)号:CN119560363A
公开(公告)日:2025-03-04
申请号:CN202411848997.6
申请日:2024-12-16
Applicant: 季华实验室
IPC: H01J37/32
Abstract: 本申请属于等离子加工设备领域,公开了一种远程等离子体加工设备,包括远程等离子体源、反应腔和载物台,所述反应腔下部填充有电解质溶液,所述载物台的下部浸泡在所述电解质溶液中,反应腔内设置有阳极金属件,所述阳极金属件的活泼性比所述反应腔的内壁材质以及所述载物台的材质的活泼性高,且阳极金属件6部分地伸入电解质溶液4中;通过在反应腔下部填充电解质溶液并设置活泼性较高的阳极金属件,可以有效吸收和消耗氧离子,从而抑制反应腔和载物台的氧化反应,延长反应腔和载物台的使用寿命。
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公开(公告)号:CN119293887A
公开(公告)日:2025-01-10
申请号:CN202411800778.0
申请日:2024-12-09
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请属于等离子源技术领域,公开了一种远程等离子源变截面石英管结构优化设计方法及相关设备,通过对微波远程等离子源进行二维建模、网格划分、设置材料参数和物理场、仿真模拟以及优化求解,实现了对石英管内表面形状的精确优化设计,解决了传统圆柱形石英管无法精细调控等离子体流动和分布的问题,具有提高电子密度分布均匀性、提高等离子体出口通量和提高功率利用率的优点;而且通过仿真分析进行优化设计,与采用实物试验的方式相比设计周期更短、设计成本更低。
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