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公开(公告)号：CN112774743B
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN201911083164.4
申请日：2019-11-07
Applicant: 北京机械设备研究所
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明提供一种富集细胞的微流控芯片，该芯片包括下层芯片1、中层芯片2和上层芯片3；下层芯片1包括经通道依次连接的洗脱模块105、缓冲模块106、特异性结合模块107和富集模块108；洗脱模块105和缓冲模块106间设有阻水透气膜104；洗脱模块105设有竖向缓冲液入口101；特异性结合模块107和富集模块108间的通道上设有特异性磁性粒子溶液入口103；中层芯片包括过滤模块201和与阻水透气膜104对应设置的空腔区域202。本发明利用多通路技术，实现高通量的同时又兼容了后续芯片模块的流量限制，减少各模块连接的样本损失。
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公开(公告)号：CN113471077A
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202110588811.8
申请日：2021-05-28
Applicant: 北京机械设备研究所
IPC: H01L21/336 , H01L21/34 , H01L29/786 , H01L29/423
Abstract: 本申请揭示了一种高电压薄膜晶体管的制备方法，包括在衬底上光刻形成栅电极材料，在光刻后的衬底上生长栅介质层；在栅介质层对应于厚栅介质层的区域进行光刻，得到厚栅介质层；生长薄栅介质层；在薄栅介质层的上方生长半导体薄膜材料层，生长完成后对半导体薄膜材料层进行光刻，并刻蚀半导体薄膜材料层的两端，以露出薄栅介质层；在半导体薄膜材料层上方的源极区域、漏极区域、间隙区域掺杂预定材料；按照预定方式生成源电极、漏电极与钝化层。本申请通过将栅介质层分为两种厚度，与源电极相连的栅介质层厚度较薄，与漏端连接的栅介质层厚度较厚，半导体薄膜材料覆盖栅介质层，并且与源电极和漏电极连接，形成导电通道；能够耐受更高的电压。
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公开(公告)号：CN112779221A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN201911084099.7
申请日：2019-11-07
Applicant: 北京机械设备研究所
Abstract: 本发明提供了一种基于循环肿瘤细胞正向分离系统的分离方法，该分离系统包括：微流控芯片1、给液模块2、磁场产生模块3、收集模块4、通道和与所述模块分别连接的控制器；所述通道包括：主通道、介质供给支通道和废液收集支通道；所述方法包括：步骤1，对血液样本的过滤；步骤2，对所述步骤1过滤的CTCs与免疫磁性粒子的孵育和结合，用于特异性磁性标记CTCs；步骤3，对免疫磁性粒子标记的CTCs的提纯。本发明提供的技术方案将过滤、结合、富集功能集成于微流控芯片上，通过控制器实现了对血液样本过滤和CTCs与免疫磁性粒子结合的CTCs双重捕获，从而提高了CTCs的捕获率和捕获纯度。
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公开(公告)号：CN112429700A
公开(公告)日：2021-03-02
申请号：CN202011158270.7
申请日：2020-10-26
Applicant: 北京机械设备研究所
Abstract: 本发明公开了一种压敏结构柔性压力传感器的制备方法，包括：S1、准备硅片衬底，并在其表面沉积绝缘介质层或金属层以形成掩蔽层；S2、通过光刻的方式对掩蔽层图形化，形成压力敏感结构图形，对硅片衬底腐蚀和刻蚀，通过湿法腐蚀去掉表面的掩蔽层；S3、对硅片衬底表面疏水化处理，之后用压敏材料填充沟槽结构，固化；S4、将压敏材料与硅片衬底分离，并在压敏材料表面形成金属层，得到压敏稀疏层；S5、将一个压敏稀疏层/或将多个压敏稀疏层组合/或将至少一个压敏稀疏层与至少一个压敏致密层组合后与传感器电极连接，得到柔性压力传感器,具有良好的柔性和较大形变，灵敏度提高了2倍以上，可在复杂的环境中使用而不影响其检测性能。
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公开(公告)号：CN108970657A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810818385.0
申请日：2018-07-24
Applicant: 北京机械设备研究所
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明涉及一种微流体阵列控制器的制备方法，属于微流体控制技术领域，解决了现有技术不易实现大规模微流体阵列控制的问题。本发明公开的制备方法，包括如下步骤：制备微流体控制单元，该微流体控制单元包括微流体通道器件、薄膜晶体管器件、电容；按预设需求选取电源1、电源2；将M×N个所述微流体控制单元排列成M×N阵列，并进行线路连接。本发明制备的M×N阵列只需要M+N+2条引线，且微流体控制电压只需要20V左右。本发明所述制备方法能够实现大规模的微流体阵列控制，并能够大幅度降低大规模微流体阵列控制难度，减少引线数量，为微流体控制芯片的实用化提供了新的技术途径。
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公开(公告)号：CN108889350A
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201810818393.5
申请日：2018-07-24
Applicant: 北京机械设备研究所
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明涉及一种微流体阵列控制器，属于微流体控制技术领域，解决了现有技术中不易实现大规模流体阵列控制的问题。本发明公开的微流体阵列控制器，包括由M×N个控制单元排列组合形成的M×N阵列、电源1和电源2，每个所述控制单元包括微流体通道器件、薄膜晶体管器件、电容。每个微流体通道器件内设置有液体，在对应的行控制信号和列控制信号的共同作用下，薄膜晶体管器件选通对应单元内的微流体通道器件，所述液体在该微流体通道器件的微通道内移动、分割、融合。本发明能够实现大规模的流体阵列控制，大幅度降低大规模微流体阵列控制难度，减少引线数量，为微流体控制芯片的实用化提供了一种新的技术途径。
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