半导体基片及其制备方法
    52.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1206221A

    公开(公告)日:1999-01-27

    申请号:CN98109689.1

    申请日:1998-03-26

    CPC classification number: H01L21/2007

    Abstract: 提供一种制备高质量的SOI晶片且具有极好的可控性和生产率、经济的方法、以及用该方法制备的晶片。在利用键合晶片制备基片的方法中,相互键合第一基片部件和第二基片部件,然后在形成于第一基片部件主表面的第一层和第二层的界面分离第二基片部件与第一基片部件,由此第二层转移到第二基片部件。在分离过程中,通过改变多孔Si层的孔隙率的方法、使多孔Si的孔聚集形成容易分离面的方法、在界面进行离子注入的方法、或利用异质外延界面的方法来确保分离位置在第一第二层的界面。

    半导体基片的制作方法
    53.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1099905A

    公开(公告)日:1995-03-08

    申请号:CN93118894.6

    申请日:1992-02-15

    Abstract: 多孔硅腐蚀液,使用该腐蚀液的腐蚀方法及使用该腐蚀液制作半导体基片的方法,其优点,提供不给半导体工艺带来不良影响、不腐蚀非多孔硅,并能高效率、均匀地对多孔硅进行化学腐蚀的腐蚀液,该腐蚀液可以是氢氟酸。制作半导体基片的制造方法包括如下工序:形成具有非多孔硅单晶层和多孔硅层的衬底,将有绝缘性材料表面的衬底接合在该单晶层的表面上,用浸入氢氟酸的方法腐蚀除去多孔硅层。

    光电转换装置和系统
    55.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107919371B

    公开(公告)日:2022-05-27

    申请号:CN201710912815.0

    申请日:2017-09-30

    Abstract: 一种光电转换装置和系统。该光电转换装置具有:光电转换基板,具有多个光电转换部分和布置在所述多个光电转换部分上方的微透镜阵列;透光板;布置在光电转换基板和透光板之间的第一构件;布置在第一构件和微透镜阵列之间的第二构件;以及布置在第一构件和第二构件之间的第三构件。满足第一构件的孔隙率

    光电转换装置和照相机
    56.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107785384B

    公开(公告)日:2021-11-12

    申请号:CN201710720826.9

    申请日:2017-08-22

    Abstract: 公开了光电转换装置和照相机。光电转换装置包括具有光电转换单元和布置在转换单元上方的微透镜阵列的光电转换基板,光透射板,布置在光电转换基板和光透射板之间的第一构件,并且第一构件将光电转换基板和光透射板接合,以及布置在第一构件和微透镜阵列之间的第二构件。第二构件具有低于微透镜阵列的折射率或高于微透镜阵列的孔隙率中的至少一个。第一构件的在光电转换基板的一侧的面具有从多个光电转换单元上的一部分到光电转换装置的侧面的多个台阶。

    光电转换设备和装置
    57.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110137190A

    公开(公告)日:2019-08-16

    申请号:CN201910110245.2

    申请日:2019-02-11

    Abstract: 提供光电转换设备和装置。光电转换设备包括:半导体层,其具有正面和背面并且在所述正面与所述背面之间设置有多个光电转换部;配线结构,其配置于所述半导体层的所述正面侧;分离部,其配置在多个所述光电转换部之间并且由与所述背面连续的沟槽形成;第一遮光部,其以与所述分离部重叠的方式在所述背面侧配置在所述半导体层的上方;以及第二遮光部,其以隔着配置在多个所述光电转换部中的至少一个光电转换部上方的区域面向所述第一遮光部的方式在所述背面侧配置在所述半导体层的上方。

    光电转换装置和照相机
    58.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107785384A

    公开(公告)日:2018-03-09

    申请号:CN201710720826.9

    申请日:2017-08-22

    Abstract: 公开了光电转换装置和照相机。光电转换装置包括具有光电转换单元和布置在转换单元上方的微透镜阵列的光电转换基板,光透射板,布置在光电转换基板和光透射板之间的第一构件,并且第一构件将光电转换基板和光透射板接合,以及布置在第一构件和微透镜阵列之间的第二构件。第二构件具有低于微透镜阵列的折射率或高于微透镜阵列的孔隙率中的至少一个。第一构件的在光电转换基板的一侧的面具有从多个光电转换单元上的一部分到光电转换装置的侧面的多个台阶。

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