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公开(公告)号：CN111229340B
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202010053926.2
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本发明提供一种光栅波导微流体芯片的制造方法，包括提供衬底，在所述衬底上形成下包层；在所述下包层上形成波导层，波导层是氮化硅材料；以波导层形成光栅波导，光栅波导包括出射光栅；在波导层上形成二氧化硅保护层，保护层用于覆盖所述光栅波导并保护所述出射光栅；在所述保护层上形成上包层；形成微流道，所述微流道贯穿所述上包层以暴露出所述保护层；所述出射光栅位于所述微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入所述微流道内。具有有益效果：生产芯片级光学检测系统，把传统的台式甚至大型的光学系统缩小到芯片尺寸，保证同等甚至更出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低系统成本。
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公开(公告)号：CN111229340A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010053926.2
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本发明提供一种光栅波导微流体芯片的制造方法，包括提供衬底，在所述衬底上形成下包层；在所述下包层上形成波导层，波导层是氮化硅材料；以波导层形成光栅波导，光栅波导包括出射光栅；在波导层上形成二氧化硅保护层，保护层用于覆盖所述光栅波导并保护所述出射光栅；在所述保护层上形成上包层；形成微流道，所述微流道贯穿所述上包层以暴露出所述保护层；所述出射光栅位于所述微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入所述微流道内。具有有益效果：生产芯片级光学检测系统，把传统的台式甚至大型的光学系统缩小到芯片尺寸，保证同等甚至更出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低系统成本。
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公开(公告)号：CN111229337A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010053152.3
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本发明提供一种光波导多微流道芯片的制造方法，包括提供衬底，在衬底上形成牺牲层，在牺牲层上形成下包层；在下包层上形成波导层；以波导层形成光波导；在所述波导层上形成上包层；形成微流道；所述光波导用以将光沿水平方向导入所述微流道内；所述微流道由上而下贯穿所述上包层和所述波导层延伸进所述下包层；去除所述牺牲层，以将所述衬底剥离；所述微流道宽度为10-100μm、不贯穿所述下包层。具有有益效果：形成光波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片。
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公开(公告)号：CN111157733A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN202010055222.9
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: G01N33/574 , G01N21/64 , G01N21/25 , B01L3/00
Abstract: 本发明提供一种光栅波导微流体检测系统，包括微流体芯片、显微镜、测量装置和分析装置；微流体芯片包括：光栅波导和微流道，光栅波导包括出射光栅，出射光栅位于微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入微流道内；还包括：由下而上设置的下包层、波导层、保护层、上包层和流道盖板；保护层用以覆盖并保护出射光栅；微流道贯穿上包层以暴露出保护层。具有有益效果：在柔性基底上沉积光学性能可调的氮化硅薄膜，扩展SiN光学器件材料的应用范围和形式，将传统光学系统通过集成光学或片上光学器件来实现，把传统台式大型的光学系统缩小到芯片尺寸，保证出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低成本。
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公开(公告)号：CN111157730A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN202010052556.0
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: G01N33/574 , G01N21/64 , G01N21/25 , B01L3/00
Abstract: 本发明提供一种光波导多微流道检测系统，包括：微流体芯片；微流体芯片包括：微流体组，微流体组包括微流体；微流体包括光波导组和微流道，光波导组包括光波导，以将光沿水平方向导入微流道内；还包括：衬底、下包层、波导层、上包层和流道盖板；微流道由上而下贯穿上包层、波导层和下包层延伸进衬底；下包层是厚度为2～3μm的二氧化硅，上包层是厚度为15～30μm的高分子聚合材料，微流道延伸进所述衬底10～15μm、宽度为10-100μm。具有有益效果：形成光波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111157728A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN202010052415.9
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: G01N33/574 , G01N21/64 , G01N21/25 , B01L3/00
Abstract: 本发明提供一种光波导微流体检测系统，包括微流体芯片、显微镜、测量装置和分析装置；微流体芯片包括：光波导和微流道，光波导用以将光沿水平方向导入微流道内；还包括：依次由下而上设置的衬底、下包层、波导层、上包层和流道盖板，波导层是氮化硅材料，波导层用以形成光波导；微流道由上而下贯穿上包层、波导层和下包层延伸进衬底；下包层是厚度为2～3μm的二氧化硅，上包层是厚度为15～30μm的高分子聚合材料，微流道延伸进衬底10～15μm，微流道宽度为10-100μm。具有有益效果：把传统的台式甚至大型的光学系统缩小到芯片尺寸，保证同等甚至更出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低系统成本。
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公开(公告)号：CN110628597A
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201910996492.7
申请日：2019-10-19
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: C12M1/34 , C12Q1/6869
Abstract: 本发明提供一种拉曼光谱法生物分子测序方法，包括步骤：I、提供纳米孔装置，包括柔性基底纳米孔结构，所述柔性基底纳米孔结构包括纳米孔、金属层，以缩小所述纳米孔尺寸至1～100nm；II、所述生物分子向所述纳米孔移动，激光拉曼显微镜向所述纳米孔发射激光，所述生物分子通过所述纳米孔时，产生拉曼光谱信号；III、光谱测量装置测量拉曼光谱信号得出测量数据；IV、数据采集分析装置分析系所述测量数据并输出结果。本发明使用表面增强拉曼光谱的检测策略，具有技术效果可实现亚纳米空间分辨率的检测；提供分子特异性指纹信息的振动光谱，各碱基光谱信号不重叠，具有优异的区分度和化学灵敏度。
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公开(公告)号：CN110607231A
公开(公告)日：2019-12-24
申请号：CN201910996510.1
申请日：2019-10-19
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: C12M1/36 , C12M1/34 , G01N33/487
Abstract: 本发明提供一种基于运动蛋白的基因转运速度控制装置，包括运动蛋白、壳体、流体腔密封层、柔性基底纳米孔结构、流体腔基座、电源、第一电极和第二电极，所述纳米孔结构包括：纳米孔，金属层，以缩小纳米孔尺寸至1～100nm；所述运动蛋白与所述金属层形成金属-硫键，以使待检测基因链通过所述纳米孔的转运速度至少慢于0.1ms/每碱基对。本发明使用点击化学方法将运动蛋白锚定在纳米孔中，以使待检测基因链通过纳米孔的转运速度至少慢于0.1ms/每碱基对，再调整温度与pH可以有效地控制基因链的转运速度，可将待检测基因链通过纳米孔51的转运速度进一步降低至数十甚至数百毫秒量级，从而提高光谱检测的灵敏度。
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公开(公告)号：CN116960210A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202210412765.0
申请日：2022-04-19
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司 , 上海精测半导体技术有限公司
IPC: H01L31/105 , H01L31/0224 , H01L31/18 , H01L27/144
Abstract: 本发明提供一种浅结深低能量电子探测器，包括：硅衬底；第一本征非晶硅层和第二本征非晶硅层，分别形成于硅衬底的第一面和第二面，以钝化硅衬底的第一面和第二面；P型非晶硅层和N型非晶硅层，分别形成于第一本征非晶硅层和第二本征非晶硅层上；保护环结构，自P型非晶硅层朝硅衬底延伸；阻挡层，形成于P型非晶硅层上，阻挡层中形成有窗口，通过窗口定义电子探测器的探测区域；网格状电极，形成于探测区域中的P型非晶硅层上。本发明通过非晶硅层并经热退火处理来实现对硅衬底表面缺陷的修复，钝化不饱和化学键，从而提高表面载流子寿命，可有效解决电子探测器对低能量电子的探测问题，提高对低能量电子的探测效率。
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公开(公告)号：CN116960134A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202210405269.2
申请日：2022-04-18
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司 , 上海精测半导体技术有限公司
IPC: H01L27/146
Abstract: 本发明提供一种探测器像素结构及电子探测器。探测器像素结构包括半导体衬底、第一和第二导电类型重掺杂层、绝缘层、上电极、下电极、电子通道孔电极、金属保护环及掺杂环；掺杂环位于半导体衬底内，且位于第一导电类型重掺杂层的外侧，并显露于半导体衬底的第一表面；绝缘层自非探测区域表面延伸到半导体衬底的表面，上电极自非探测区域表面延伸到绝缘层的表面；电子通道孔电极位于半导体衬底的侧壁，且一端与下电极电连接，另一端延伸到绝缘层的侧面，金属保护环位于半导体衬底的表面，且位于上电极的外侧。本发明可以有效避免因电子束传播方向发生偏移而导致的图像发生畸变的情况，可降低探测器的漏电流，提高击穿电压，由此提高探测性能。
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