低损耗亚纳分辨率的光纤测振系统

    公开(公告)号:CN203298862U

    公开(公告)日:2013-11-20

    申请号:CN201320132242.7

    申请日:2013-03-22

    Abstract: 本实用新型为一种低损耗亚纳分辨率的光纤测振系统,其特征在于:所述测振系统的装置及连接关系为:光源由普通驱动电源驱动;沿光源发射光前进方向依次放置要检测的振动台,微悬臂系统;所述的光源传出的光在第一光纤中传播;压电阶段中涉及需移位对准的仪器包括粘附有第一光纤的待测的振动台、微悬臂系统以及显微镜,显微镜设于振动台和微悬臂系统的上方;所述的微悬臂系统包括可调的三维平台和粘附在其上的末端为纳米针尖探针的第二光纤,第二光纤的另一端与光电转换装置的输入端连接;所述的光电转换装置的输出端与数据采集和处理装置连接;所述的数据采集和处理装置与信号监视器连接。本实用新型适用于低频信号的检测。

    一种用于微纳米尺度二维尺寸测量的微触觉测头

    公开(公告)号:CN202974172U

    公开(公告)日:2013-06-05

    申请号:CN201220709671.1

    申请日:2012-12-20

    Abstract: 本实用新型为一种用于微纳米尺度二维尺寸测量的微触觉测头,其特征在于:所述的微触觉测头由圆形基底、电容式传感器阵列、悬梁、测针、悬挂弹簧及限位结构组成;圆形基底用于固定传感器阵列及悬梁;电容式传感器阵列作为敏感单元,用以感知位移变化;悬梁用于连接测针及传感器阵列;测针直接与被测物接触,以探测并传递位移量;悬挂弹簧起悬挂、调平悬梁的作用,并可调节测量力;限位结构用来限制悬梁及测针运动的自由度,使其只能以悬梁顶端的小球球心为原点旋转,从而消除了测针和悬梁的整体偏移,保证了横向位移测量的精度。

    一种多自由度自定心光学镜片夹持支架

    公开(公告)号:CN220348215U

    公开(公告)日:2024-01-16

    申请号:CN202322015023.7

    申请日:2023-07-28

    Abstract: 本实用新型为一种多自由度自定心光学镜片夹持支架,包括设于底座上的伸缩杆、与伸缩杆顶部固定连接的外圈、设于外圈内侧的中圈和设于中圈内侧的内圈,通过伸缩杆实现镜片高度调节和左右转动角度调节,通过中圈相对外圈的翻转活动实现镜片俯仰角度调节,通过带自定心夹持功能的内圈相对中圈的环面旋转实现镜片的自定心及径向旋转角度调节,从而在光学检测中实现了对不同尺寸的光学镜片的自定心夹持工作并可对其进行多自由度调节的功能,且结构简单,定位精准度高,同时能够实现不同尺寸的镜片夹持。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种用于检定两光栅平行性的装置

    公开(公告)号:CN220153527U

    公开(公告)日:2023-12-08

    申请号:CN202321274140.9

    申请日:2023-05-24

    Abstract: 本实用新型为一种用于检定两光栅平行性的装置,包括同光轴布置的第一光栅、第二光栅、激光器、小孔光阑、半透半反棱镜、五角棱镜和观察屏,所述装置包括调节栅面平行和调节栅线平行两部分,利用第一光栅和第二光栅的镜面反射,通过调节第一光栅和第二光栅的偏摆角度,使照射在观察屏上的两束光斑在处于同一水平直线,实现两光栅栅面平行调整,利用第一光栅和第二光栅的衍射效应,通过调节第一光栅和第二光栅的绕水平方向旋转的旋转角度,使照射在观察屏上的两束光斑在处于同一竖直方向直线,实现两光栅栅线平行调整。本实用新型结构简单,原理易懂,便于操作实现。

    一种应用于仪器的防护外罩

    公开(公告)号:CN205120148U

    公开(公告)日:2016-03-30

    申请号:CN201520890431.X

    申请日:2015-11-10

    Abstract: 本实用新型公开了一种应用于仪器的防护外罩,包括:一罩体,设于支撑所述仪器的隔振平台外围且与该隔振平台刚性连接;和一半圆弧形顶罩,可开合地罩盖在所述罩体的顶部;其中,所述半圆弧形顶罩具有一弧形后盖和一弧形翻转前盖,并且,该弧形后盖的左侧壁和该弧形翻转前盖的左侧壁于所述圆弧形顶罩的弧心位置铰接,该弧形后盖的右侧壁和该弧形翻转前盖的右侧壁于所述弧心位置铰接。当弧形翻转前盖向后翻转开启时,可扩大仪器的计量测试视野和作业空间,便于仪器的拆装和维修保养。当弧形翻转前盖向前翻转关闭时,罩体、半圆弧形顶罩、以及隔振平台合围形成容纳仪器的封闭空间,能够为仪器提供优良的实验环境。

    一种基于电容传感器阵列的三维微接触式测头

    公开(公告)号:CN202974174U

    公开(公告)日:2013-06-05

    申请号:CN201220709762.5

    申请日:2012-12-20

    Abstract: 本实用新型为一种基于电容传感器阵列的三维微接触式测头,所述的测头由方形底板、电容传感器阵列、十字梁和测针组成,其特征在于:所述的测头有多个电容传感单元,呈阵列式分布于方形底板上,测针连接在十字梁的中心连接体上,十字梁的悬臂与电容传感器上极板相连,上极板通过微弹簧悬挂单元悬挂,所述上极板的悬挂采用若干个微弹簧实现,微弹簧不仅用于固定电容传感器的上极板,还用于支撑十字梁和测针重量,由测针及十字梁组成的杠杆结构将被测物的横向位移放大并转化为电容上极板的轴向位移,解决单个电容传感器测量时横向分辨力低的问题。本实用新型弥补了单个电容传感器横向分辨力低的缺陷,提高了分辨力和精度,有效拓展了横向测量范围。

    一种用于微纳米几何量测量的阵列式测头

    公开(公告)号:CN202974173U

    公开(公告)日:2013-06-05

    申请号:CN201220709746.6

    申请日:2012-12-20

    Abstract: 本实用新型为一种用于微纳米几何量测量的阵列式测头,由网格状多方孔基座和多个测头组件构成。测头组件包括测头、测杆、悬挂结构、传感单元和电路板,测头组件垂直凸出安装在基座方孔上,方孔在基座上呈网格状阵列式排列,阵列式测头通过基座与三维高精度位移平台的测头连接结构相联接。根据被测工件尺寸,在网格状多方孔基座上选择合适的方孔安装各测头组件,各测头组件可装可拆。各测头组件的测头通过校准整合到统一坐标系中,先用一个测头接触被测尺寸的一个端点,将此测头移开,再用另外的一个测头接触被测尺寸的另一个端点,可快速完成被测工件尺寸的精确测量。与单测头相比,提高了工作效率,并增加了冗余设计。

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