一种用于微纳米坐标测量的多测头测量方法与装置

    公开(公告)号:CN101793499A

    公开(公告)日:2010-08-04

    申请号:CN201010136223.2

    申请日:2010-03-30

    Inventor: 李源 陈欣 王丽华

    Abstract: 本发明为一种用于微纳米坐标测量的多测头测量方法与装置。将微纳米多测头系统安装在三维高精度位移平台上,Z向平移台上安装载物台,载物台下面有俯仰和偏摆微调机构。多测头系统的测量装置放置在隔离腔中,测量装置的控制信号和多测头系统的传感信号与隔离腔外的DAQ卡,控制箱和计算机相连。将一个测头中心作为坐标系的原点,把其他几个测头所在位置坐标依次匹配到坐标系中。对多测头系统进行校准,对各测头在统一坐标系中的位置坐标进行校准。测量时,由与被测点最近的测头进行测量。将各被测点对应的三维位移平台的位移量,转换为各被测点在坐标系中的坐标,计算出被测尺寸。本发明方法具有工作效率高、测量精度高的优点。

    一种三维微触觉传感器的校准方法与装置

    公开(公告)号:CN101813499A

    公开(公告)日:2010-08-25

    申请号:CN201010136209.2

    申请日:2010-03-30

    Abstract: 本发明为一种三维微触觉传感器的校准方法与装置,其特征在于:在隔振腔中安装三维微触觉传感器固定装置、微位移输入装置、CCD摄像头和激光干涉仪;三维微触觉传感器通过不同的夹持机构安放在旋转平台上,微位移输入装置通过控制装置实现三维微触觉传感器的Z轴粗动定位和传感器与压电陶瓷的零接触,压电陶瓷通过控制系统输出振幅信号给三维微触觉传感器施加位移约束信号,再通过信号采集系统和上机软件,建立输入—输出关系图,通过激光干涉仪的校准系统对压电陶瓷的位移约束量进行跟踪测量,实现三维微触觉传感器性能参数的测试和校准。本发明解决了多种传感方式的三维微触觉传感器的线性、量程、精度等多个性能的校准工作。

    一种用于微纳米几何量测量的阵列式测头

    公开(公告)号:CN101813451A

    公开(公告)日:2010-08-25

    申请号:CN201010136213.9

    申请日:2010-03-30

    Abstract: 本发明为一种用于微纳米几何量测量的阵列式测头,由网格状多方孔基座和多个测头组件构成。测头组件包括测头、测杆、悬挂结构、传感单元和电路板,测头组件垂直凸出安装在基座方孔上,方孔在基座上呈网格状阵列式排列,阵列式测头通过基座与三维高精度位移平台的测头连接结构相联接。根据被测工件尺寸,在网格状多方孔基座上选择合适的方孔安装各测头组件,各测头组件可装可拆。各测头组件的测头通过校准整合到统一坐标系中,先用一个测头接触被测尺寸的一个端点,将此测头移开,再用另外的一个测头接触被测尺寸的另一个端点,可快速完成被测工件尺寸的精确测量。与单测头相比,提高了工作效率,并增加了冗余设计。本发明用于微纳米几何量测量领域。

    一种三维微触觉传感器的校准方法与装置

    公开(公告)号:CN101813499B

    公开(公告)日:2011-06-08

    申请号:CN201010136209.2

    申请日:2010-03-30

    Abstract: 本发明为一种三维微触觉传感器的校准方法与装置,其特征在于:在隔振腔中安装三维微触觉传感器固定装置、微位移输入装置、CCD摄像头和激光干涉仪;三维微触觉传感器通过不同的夹持机构安放在旋转平台上,微位移输入装置通过控制装置实现三维微触觉传感器的Z轴粗动定位和传感器与压电陶瓷的零接触,压电陶瓷通过控制系统输出振幅信号给三维微触觉传感器施加位移约束信号,再通过信号采集系统和上机软件,建立输入——输出关系图,通过激光干涉仪的校准系统对压电陶瓷的位移约束量进行跟踪测量,实现三维微触觉传感器性能参数的测试和校准。本发明解决了多种传感方式的三维微触觉传感器的线性、量程、精度等多个性能的校准工作。

Patent Agency Ranking