公开(公告)号：CN114302983B

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202080060617.6

申请日：2020-08-28

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 古贺健治 ,  高木敏晃 ,  工藤史晃 ,  草道龙彦

IPC: H01J1/146 ,  C30B29/52 ,  C22C28/00 ,  B22F3/14 ,  B22F9/04 ,  C30B27/00

Abstract: 本发明的电子束发生用阴极构件，包含铱和铈的化合物的单相或二相占95面积％以上，金属铱、和铱与铈之中的1个以上元素的氧化物之中的1个以上的副成分的含量合计为5面积％以下。

公开(公告)号：CN114302983A

公开(公告)日：2022-04-08

申请号：CN202080060617.6

申请日：2020-08-28

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 古贺健治 ,  高木敏晃 ,  工藤史晃 ,  草道龙彦

IPC: C30B29/52 ,  C22C28/00 ,  B22F3/14 ,  B22F9/04 ,  C30B27/00 ,  H01J1/146

Abstract: 本发明的电子束发生用阴极构件，包含铱和铈的化合物的单相或二相占95面积％以上，金属铱、和铱与铈之中的1个以上元素的氧化物之中的1个以上的副成分的含量合计为5面积％以下。

公开(公告)号：CN110296662B

公开(公告)日：2021-08-10

申请号：CN201910113440.0

申请日：2019-02-13

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 田原和彦

IPC: G01B11/06 ,  G01B11/24 ,  G01B9/02

Abstract: 本发明提供一种形状测量装置，基于对第1A面测量光和第2A面测量光进行光外差干涉而得到的A面参照干涉光和A面测量干涉光、以及对第1B面测量光和第2B面测量光进行光外差干涉而得到的B面参照干涉光和B面测量干涉光来测量被测量物(WA)的厚度变化量，在进行上述各光外差干涉时，将上述第1A面测量光和上述第2B面测量光设为同一频率，并且将上述第1B面测量光和上述第2A面测量光设为同一频率。

公开(公告)号：CN109071356B

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN201780022824.0

申请日：2017-02-09

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 田尾幸树 ,  中根靖夫 ,  畠英雄

IPC: C04B35/01 ,  C04B35/453 ,  C04B37/02 ,  C23C14/34

Abstract: 一种氧化物烧结体，其中，含有50～500ppm的锆，相对于除去氧以外的全部金属元素，设锌、铟、镓和锡的含量的比例(原子％)分别为[Zn]、[In]、[Ga]和[Sn]时，满足下式(1)～(3)。35原子％≤[Zn]≤55原子％…(1)20原子％≤([In]+[Ga])≤55原子％…(2)5原子％≤[Sn]≤25原子％…(3)。

公开(公告)号：CN110205591B

公开(公告)日：2021-04-30

申请号：CN201910619403.7

申请日：2016-04-20

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 高木胜寿

IPC: C23C14/34 ,  C22C21/00

Abstract: 本发明是一种铝合金溅射靶材，其包含含有0.1原子％～3原子％的Nd的铝合金，X射线衍射峰值强度满足下述式(1)的关系，维氏硬度为29～36；IAl(200)＞IAl(311)＞IAl(220)＞IAl(111)…(1)式中，IAl(200)表示Al(200)面的X射线衍射峰值强度，IAl(311)表示Al(311)面的X射线衍射峰值强度，IAl(220)表示Al(220)面的X射线衍射峰值强度，IAl(111)表示Al(111)面的X射线衍射峰值强度。

公开(公告)号：CN109071361B

公开(公告)日：2021-02-09

申请号：CN201780023775.2

申请日：2017-02-09

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 田尾幸树 ,  中根靖夫 ,  畠英雄

IPC: C04B35/453 ,  C23C14/34 ,  H01L21/363

Abstract: 一种氧化物烧结体，其中，设锌、铟、镓和锡的含量相对于除氧以外的全部金属元素的比例(原子％)分别为[Zn]、[In]、[Ga]和[Sn]时，满足40原子％≤[Zn]≤55原子％、20原子％≤[In]≤40原子％、5原子％≤[Ga]≤15原子％、和5原子％≤[Sn]≤20原子％，相对密度为95％以上，含有5～20体积％的InGaZn2O5作为晶相。

公开(公告)号：CN110662727B

公开(公告)日：2020-10-09

申请号：CN201880032263.7

申请日：2018-04-17

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 西山功兵 ,  田尾幸树

IPC: H01L21/363 ,  C04B35/453 ,  C04B35/01 ,  C23C14/34

Abstract: 本发明涉及一种氧化物烧结体及溅射靶，其中，金属元素包括In、Ga、Zn及Sn，且所述氧化物烧结体包含由InGaO3(ZnO)m(m为1～6的整数)表示的六方晶层状化合物，当将对于所述氧化物烧结体中所含的除氧以外的全部金属元素而言的In、Zn及Sn的含量的比例(原子％)分别设为[In]、[Zn]及[Sn]时，满足式(1)～式(3)。[Zn]≧40原子％…(1)、[In]≦15原子％…(2)、[Sn]≦4原子％…(3)。根据本发明，即便在添加有大量Zn的In‑Ga‑Zn‑Sn系氧化物烧结体中，也可抑制接合时的破裂的发生。

公开(公告)号：CN110636996A

公开(公告)日：2019-12-31

申请号：CN201880032267.5

申请日：2018-04-17

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 西山功兵 ,  田尾幸树

IPC: C04B35/01 ,  C23C14/34 ,  H01L21/363

Abstract: 本发明涉及一种氧化物烧结体，其中，金属元素包括In、Ga、Zn及Sn，且所述氧化物烧结体包含Ga2In6Sn2O16、ZnGa2O4及InGaZnO4，当将相对于氧化物烧结体中所含的除氧以外的全部金属元素而言的In、Ga、Zn及Sn的含量的比例(原子％)分别设为[In]、[Ga]、[Zn]及[Sn]时，满足式(1)～式(3)。[Ga]≧37原子％…(1)、[Sn]≦15原子％…(2)、[Ga]/([In]+[Zn])≧0.7…(3)。根据本发明，即便在添加有大量Ga的In-Ga-Zn-Sn系氧化物烧结体中，也可抑制接合时的破裂的发生。

公开(公告)号：CN110296662A

公开(公告)日：2019-10-01

申请号：CN201910113440.0

申请日：2019-02-13

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 田原和彦

IPC: G01B11/06 ,  G01B11/24 ,  G01B9/02

Abstract: 本发明提供一种形状测量装置，基于对第1A面测量光和第2A面测量光进行光外差干涉而得到的A面参照干涉光和A面测量干涉光、以及对第1B面测量光和第2B面测量光进行光外差干涉而得到的B面参照干涉光和B面测量干涉光来测量被测量物(WA)的厚度变化量，在进行上述各光外差干涉时，将上述第1A面测量光和上述第2B面测量光设为同一频率，并且将上述第1B面测量光和上述第2A面测量光设为同一频率。

公开(公告)号：CN106716058B

公开(公告)日：2019-06-28

申请号：CN201580049986.4

申请日：2015-07-31

Applicant: 株式会社神户制钢所 ,  株式会社钢臂功科研

Inventor： 甘中将人 ,  田原和彦 ,  松冈英毅 ,  森冈哲隆 ,  纲木英俊

IPC: G01B21/08 ,  G01B21/20 ,  G01B7/02 ,  G01B7/06 ,  G01B11/06

Abstract: 本发明所涉及的形状测定装置以及形状测定方法分别测定第一距离测定部及第二距离测定部在相向方向上的第一位移及第二位移，基于所述第一距离测定部及第二距离测定部分别测定出的第一距离测定结果及第二距离测定结果，求出用所述测定出的第一位移及第二位移修正过的被测定物沿所述相向方向的厚度来作为被测定物的形状，其中，所述第一距离测定部及第二距离测定部隔着测定对象的所述被测定物互相相向地被配置，分别测定至所述被测定物为止的距离。