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公开(公告)号：CN114527166A
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN202210045522.8
申请日：2022-01-15
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N27/12 , G01N33/00 , C01G9/02 , C01B32/184 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种柔性二氧化氮气体传感器及其制备方法，通过将柔性基体超声处理，去除表面灰尘等杂质，然后将超声处理后的柔性基体在还原氧化石墨烯溶液中充分浸泡，自然干燥后形成附着还原氧化石墨层的传感器，利用柔性基体结构在还原氧化石墨溶液中充分浸泡，确保还原氧化石墨充分附着在柔性基体表面，避免脱落，然后在氧化锌量子点溶液中充分浸泡得到柔性二氧化氮气体传感器，还原氧化石墨层和氧化锌量子点层依次附着在柔性本体表面，在柔性本体弯曲折叠时，能够有效避免附着的RGO薄膜的脱落，有效提高NO2气体的传感性能。
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公开(公告)号：CN113465791B
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN202110673446.0
申请日：2021-06-17
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种谐振式压力传感器及其制备方法，压力传感器包括碳化硅谐振器，碳化硅谐振器与压力敏感膜通过锚点相连，碳化硅谐振器包括支撑梁，支撑梁通过柔性梁与外部框架连接，支撑梁与固定电极连接并固定在锚点处，质量块结构通过谐振梁与支撑梁连接，耦合梁通过三角梁与质量块结构连接，耦合梁与可动电极连接，质量块结构与另一可动电极连接，固定电极与可动电极均为梳齿电极，并构成两对梳齿电极对，耦合梁上设置有拾振电阻，并连接有金属电极引线，通过三角梁的设计增大了耦合梁应力集中区域，配合拾振电阻的布置，提升了压力传感器的检测精度，基于第三代半导体材料碳化硅的优良特性，同时获得了高温环境下工作的长期稳定性。
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公开(公告)号：CN114414846A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202210096472.6
申请日：2022-01-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/093 , B81B7/02
Abstract: 本发明涉及微机电系统技术领域，尤其涉及一种提高法布里珀罗MEMS加速度敏感芯片模态分离比的结构，包括固定镜面、可动镜面和支承座，所述可动镜面包括MEMS弹簧质量结构和第二光学薄膜；所述MEMS弹簧质量结构包括双层支撑梁结构、MEMS质量块和固定框架，所述双层支撑梁结构呈全对称设置；所述第二光学薄膜设置于MEMS质量块上。本发明能明显的提高芯片面外扭转模态频率和面外振动模态频率的比值，可显著抑制非敏感轴方向加速度信号作用下MEMS质量块面外扭转造成的交叉灵敏度以及对传感器灵敏度和量程的影响，保证了法布里珀罗腔固定镜面和可动镜面的平行度，也解决了测量过程中模态相互干扰的问题。
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公开(公告)号：CN114414844A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202210094929.X
申请日：2022-01-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/093 , B81B7/02
Abstract: 本发明提供法珀光学MEMS加速度敏感芯片、增敏方法及传感器，所述法珀MEMS加速度敏感芯片由可动镜面、腔体、固定镜面组成；所述可动镜面包含固定框架、光子晶体平板质量块、支撑弹簧，其中，可动镜面的表面刻蚀有呈周期性排列的第一通孔形成第一二维光子晶体结构，固定镜面的表面刻蚀有与所述可动镜面相同周期性排列的第二通孔形成第二二维光子晶体结构，所述第一二维光子晶体结构、腔体和第二二维光子晶体结构共同构成法布里珀罗腔。本发明提供的增敏方法可以通过对二维光子晶体通孔的占空比的设计来调节法布里珀罗腔的反射率，进而达到增加加速度传感器灵敏度的作用，此外，该方法具有增敏适用波长范围宽、实现方法简单的优势。
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公开(公告)号：CN114199306A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111482103.2
申请日：2021-12-06
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种测量热流密度以及压力的复合式薄膜传感器及制备方法，包括电容式薄膜压力传感部分和热流密度传感部分；电容式薄膜压力传感部分包括掺杂硅基底，掺杂硅基底下方自上至下依次设置有介质绝缘层、多晶硅层和压感基底，压感基底与掺杂硅基底之间具有真空密封腔，压感基底上设置有电容下极板，电容下极板位于真空密封腔中，真空密封腔正上方的掺杂硅基底为电容上极板；热流密度传感部分包括热电堆层基底、热电堆层和热阻层；热电阻层包括热电阻冷端和热电阻层热端，热电堆层包括依次连接且间隔设置的第一热电偶和第二热电偶。采用铜和康铜作为热电偶电极材料，材料易得，生产成本低，适合于大规模工业生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112222676B
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN202010858316.X
申请日：2020-08-24
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种微纳米粉体改性活性钎料及其制备方法，属于钎焊材料技术领域。其中钎料的重量份数为80–99份，微纳米粉体1–10份，微纳米粉体均匀吸附在钎料表面，用微纳米粉体改性的活性钎料制备的金刚石工具，其表面金刚石蚀坑数量、金刚石表面或周围的微裂纹数量大大减少，钎料合金层强度损失小，金刚石的力学性能提高8％以上，工具的加工性能得到提升，能够避免高温钎焊对金刚石造成的热损伤、Cu–Sn–Ti合金钎料较严重流淌导致钎料层厚度不均等问题，以提高钎焊金刚石工具的加工效率与使用寿命。本发明提供的微纳米粉体改性的活性钎料能减少高温钎焊对金刚石造成的热损伤，同时具有钎料合金层强度损失小等特点，适合于制作高性能金刚石工具。
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公开(公告)号：CN113746370A
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN202110998554.5
申请日：2021-08-27
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种超低频多方向压电振动能量收集器及能量收集方法，能量收集器包括外壳、质量球和若干压电悬臂梁，若干压电悬臂梁的固支端与外壳侧壁连接，若干压电悬臂梁沿外壳的不同方位设置，若干压电悬臂梁的自由端向外壳的中心延伸，质量球设置于外壳内并位于若干压电悬臂梁的上方，所述质量能够在所述若干压电悬臂梁形成的支撑面上自由滚动。本发明若干压电悬臂梁沿外壳的不同方位设置，因此能够在不同方位下实现能量收集；采用的质量球和压电悬臂梁的结构，使得本发明在超低频条件下实现能量的收集，适用于可穿戴设备自供电。
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公开(公告)号：CN113551812A
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202110462429.2
申请日：2021-04-27
Applicant: 陕西省计量科学研究院 , 西安交通大学
Inventor： 王鸿雁 , 李学琛 , 关卫军 , 吴永顺 , 魏于昆 , 山涛 , 王爱华 , 付磊 , 赵立波 , 韩香广 , 皇咪咪 , 徐廷中 , 杨萍 , 王李 , 陈翠兰 , 罗国希 , 王永录 , 蒋庄德
Abstract: 本发明公开了一种十字梁膜应力集中微压传感器芯片及其制备方法，感器芯片包括承压薄膜、硅基底、压敏电阻条、金属引线和防过载玻璃基底等。具体结构为在硅基底背面刻蚀形成承压薄膜以及半岛与岛屿结构，在硅基底正面刻蚀四块钻石形区域形成十字梁。芯片背腔相邻的岛屿与岛屿之间、岛屿与半岛之间的间隙所对应的芯片正面形成应力集中区域，四个压敏电阻条布置在该应力集中区域上，利用重掺杂欧姆接触区、金属引线以及金属焊盘将压敏电阻条连接形成惠斯通电桥，十字梁的存在可以进一步提高压敏电阻条处的应力集中效果。
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公开(公告)号：CN111621400B
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202010434007.X
申请日：2020-05-21
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种利用表面声波声热效应进行细胞热裂解的装置，包括微流控芯片，微流控芯片的上方设有高速相机和显微镜，微流控芯片信号输入通过功率放大器和信号发生器的输出连接，由信号发生器产生电信号，电信号通过功率放大器放大并传输到微流控芯片上，实现表面声波的产生与控制；所述的流道内悬浮有液滴，液滴内包裹有细胞，在裂解完成后，液滴内包裹有核酸；本发明使用表面声波微流控器件实现微流道内温度的控制，进一步实现细胞的快速有效裂解，具有设备尺寸小、操作简单、所需洁净空间小等优点；同时具有对各种药物或试剂兼容性高、对实验环境和人员要求低等优点。
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公开(公告)号：CN113391101A
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN202110449645.3
申请日：2021-04-25
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种壳核微探针及其制备方法，包括探针核，所述探针核包括自上至下依次同轴连接的安装部、主体和针尖，所述安装部和主体外包覆有探针壳，所述探针壳具有导电性。探针核的主要作用是保证探针强度、耐磨性等机械特性满足测试要求，探针壳主要作用是改善探针导电性能，满足高导电性的测试要求，不同部分材料不同，结合两部分材料各自的优点可以将探针尺寸做得很小。
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