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公开(公告)号：CN102082988A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN201010569198.7
申请日：2010-11-30
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
CPC classification number: H04R31/00 , H01L2224/48091 , H01L2924/10253 , H01L2924/1461 , H04R19/005 , H04R19/04 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及MEMS麦克风封装以及MEMS麦克风模块。具体地，提供了一种用于制作麦克风模块的方法，包括：将MEMS麦克风结构件布置于第一基底的第一表面上，第一基底还包括与第一表面相反的第二表面。另外，罩被布置于第一基底的第一表面上使得罩和第一表面围封MEMS麦克风结构件。MEMS麦克风结构件的读出装置布置于第二基底的第一表面上，第二基底还包括与第一表面相反的第二表面。第一基底的第二表面与第二基底的第二表面附接。
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公开(公告)号：CN109319727B
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN201810865573.9
申请日：2018-08-01
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: MEMS传感器包括具有可移动电极和定子电极的MEMS装置，定子电极与可移动电极相对地布置。MEMS传感器包括连接到定子电极的第一偏置电压源，第一偏置电压源被配置为将第一偏置电压施加到定子电极。MEMS传感器还包括通过电容耦合连接到定子电极的共模读出电路，共模读出电路包括第二偏置电压源，第二偏置电压源被选择为将第二偏置电压施加到电容耦合的背离定子电极的一侧。
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公开(公告)号：CN109534280B
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN201811100718.2
申请日：2018-09-20
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Inventor： A·沃瑟 , A·德厄 , G·梅茨格-布吕克尔 , J·斯特拉塞
Abstract: 本申请涉及用于MEMS器件的制造方法，包括以下步骤：在载体衬底上提供层布置，其中层布置具有第一和第二层结构，其中在第一和第二层结构之间的中间区域中布置有牺牲材料，其中在第一和第二层结构之间延伸的蚀刻停止结构将中间区域划分为裸露区域和与裸露区域横向相邻的壁区域，并且其中第一和第二层结构中的至少一个层结构具有通向裸露区域的通道开口，并且借助于蚀刻过程通过通道开口而从裸露区域中去除所述牺牲材料，以暴露裸露区域，其中蚀刻停止结构被用作对蚀刻过程的横向限界，并且其中边缘区域中存在的牺牲材料被用作第一和第二层结构之间的机械连接。
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公开(公告)号：CN108383076B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN201810105212.4
申请日：2018-02-02
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Inventor： A·德厄
Abstract: 膜构件包括具有导电膜层的膜结构。导电膜层具有悬置区域和膜区域。另外，导电膜层的悬置区域布置在绝缘层上。此外，绝缘层布置在承载基体上。此外，膜构件包括对电极结构。在对电极结构和导电膜层的膜区域之间垂直地布置有空腔。此外，所述导电膜层的边缘以在所述导电膜层和所述对电极结构之间的垂直距离一半以上为幅度横向突出超过所述绝缘层的边缘。此外，所述导电膜层吸收在所述导电膜层的膜区域偏移时而施加在所述膜结构上的90％以上的力。
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公开(公告)号：CN108008008B
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN201711012378.3
申请日：2017-10-26
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: G01N29/02
Abstract: 一种光声气体检测器可以包括：气室，被配置为将待分析气体接纳在其中；激励元件，被配置为以时变方式选择性地激励气室中接纳的气体中的待检测的特定类型的气体分子，由此生成压力差；传感器，被配置为检测由激励元件生成的压力差；以及泵，被配置为在光声气体检测器的外部与气室之间泵送气体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107796762B
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN201710761931.7
申请日：2017-08-30
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 提供了一种气体分析仪。气体分析仪可以包括：具有壳体壁的管状壳体，壳体壁沿着管状壳体的轴向方向延伸并且围绕气体腔室，气体腔室被配置为将待分析气体容纳在其中；激发元件，位于管状壳体的第一轴向端部处并且被配置为以时变的方式来选择性地激发被容纳在气体腔室中的气体中的待检测的特定类型的气体分子，从而生成声波；以及传感器，位于管状壳体的第二轴向端部处并且被配置为检测由激发元件生成的声波。
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公开(公告)号：CN107662900B
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201710633525.2
申请日：2017-07-28
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
Abstract: 本公开涉及一种微机电设备、微机电系统和制造微机电设备的方法，其中，微机电设备可以包括：衬底；隔膜，安装至衬底；第一电极，安装至隔膜；第二电极，安装至衬底；其中，第一电极与第二电极横向相邻；并且其中，隔膜布置在第一电极和第二电极之间的间隙上方。
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公开(公告)号：CN104902408B
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201510098410.9
申请日：2015-03-05
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: H04R19/00
Abstract: 本公开涉及一种保持结构和形成保持结构的方法。公开了一种用于将隔膜固定至载体的结构，包括载体；悬置结构；以及具有配置成将悬置结构固定至载体的圆形凹陷形状的保持结构，其中保持结构的锥形侧边物理地连接至悬置结构。进一步公开了一种在载体上形成保持结构以支撑悬置结构的方法。方法可以包括：在载体上形成保持结构；在保持结构上形成悬置结构；成形保持结构，以使其具有凹陷形状；以及设置保持结构以使得保持结构的锥形侧边物理地连接至悬置结构。
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公开(公告)号：CN108810775A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201810374143.7
申请日：2018-04-24
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: H04R19/04
Abstract: 本公开涉及声音换能器。一种声音换能器，包括具有声音端口的壳体和布置在壳体的内部空间中的MEMS结构。MEMS结构和声音端口彼此声学耦合。MEMS结构将壳体的前腔与后腔分离。MEMS结构的至少一个通气孔允许前腔和后腔之间的气体交换。声音端口允许液体进入前腔。此外，MEMS结构防止液体进入后腔。
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公开(公告)号：CN108008008A
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：CN201711012378.3
申请日：2017-10-26
Applicant: 英飞凌科技股份有限公司
IPC: G01N29/02
Abstract: 一种光声气体检测器可以包括：气室，被配置为将待分析气体接纳在其中；激励元件，被配置为以时变方式选择性地激励气室中接纳的气体中的待检测的特定类型的气体分子，由此生成压力差；传感器，被配置为检测由激励元件生成的压力差；以及泵，被配置为在光声气体检测器的外部与气室之间泵送气体。
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