公开(公告)号：CN116953283A

公开(公告)日：2023-10-27

申请号：CN202310443987.3

申请日：2023-04-23

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫 ,  木暮翔太

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125

Abstract: 本发明公开了惯性传感器及惯性计测装置，能够不使噪声特性恶化而容易地实施可动体的检查。惯性传感器包括：基体；设置于所述基体的传感器元件；以及覆盖所述传感器元件的盖体，所述传感器元件包括：固定部，固定于所述基体；可动体，能够以与所述基体水平的第一轴为摆动轴摆动；第一旋转弹簧及第二旋转弹簧，连接所述固定部和所述可动体；可动梳齿电极组，设置于所述可动体；固定梳齿电极组，与所述可动梳齿电极组相对，并设置于所述基体；第一检查用电极，设置于所述可动体；以及第二检查用电极，设置于所述基体或所述盖体，并且在俯视时与所述第一检查用电极重叠，在所述俯视时，在所述第一检查用电极设置有多个阻尼调整孔。

公开(公告)号：CN116429077A

公开(公告)日：2023-07-14

申请号：CN202310028373.9

申请日：2023-01-09

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫

IPC: G01C19/5733 ,  B81B7/00 ,  B81C1/00 ,  B81B7/02

Abstract: 本申请提供惯性传感器、惯性传感器的制造方法以及惯性测量装置，其腔体内的传感器不易受到污染。惯性传感器(1)包括基体(2)、与基体(2)相对的盖体(3)、配置于基体(2)与盖体(3)之间的腔体(S)并包括半导体层(23)的功能元件(4)、配置于包围腔体(S)的周边区域(P)并将基体(2)与盖体(3)粘接的粘接层(6)、将连通腔体(S)与外部并配置于周边区域(P)的孔(7)密封的密封部(8)，密封部(8)设置为与盖体(3)和基体(2)相接，并包含盖体(3)的材料和粘接层(6)的材料。

公开(公告)号：CN111929468A

公开(公告)日：2020-11-13

申请号：CN202010334850.0

申请日：2020-04-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

Abstract: 本申请公开了惯性传感器、电子设备、移动体以及惯性传感器的制造方法。惯性传感器具有：支撑基板；传感器主体，被所述支撑基板支撑；以及接合部件，位于所述支撑基板与所述传感器主体之间，将所述支撑基板与所述传感器主体接合，所述传感器主体具有：基板，通过所述接合部件与所述支撑基板接合；以及静电电容型传感器元件，设置于所述基板的与所述支撑基板相反的一侧，所述基板具有：侧面；所述支撑基板侧的第一主面；以及位于所述侧面与所述第一主面之间且将所述侧面与所述第一主面连接的凹状的台阶部，所述接合部件沿所述第一主面和所述台阶部延伸。

公开(公告)号：CN105388324B

公开(公告)日：2019-11-05

申请号：CN201510527324.5

申请日：2015-08-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫

IPC: G01P15/125 ,  G01C19/5747

Abstract: 本发明提供一种机械强度较高的物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具备底基板(2)以及盖体(3)，且具有封装件(10)和功能元件(4)，所述封装件(10)在内部具有内部空间(S)，所述功能元件(4)被收纳在内部空间(S)中，盖体(3)被形成于在俯视观察时设置在内部空间(S)的周围的隔壁部(32)上，且具有将底基板(2)侧的下表面(3a)与底基板(2)的相反侧的上表面(3b)连通的连通孔(33)，连通孔33经由被形成在底基板(2)上的槽(24)而与内部空间(S)连通。

公开(公告)号：CN109990772A

公开(公告)日：2019-07-09

申请号：CN201811547213.0

申请日：2018-12-18

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫

IPC: G01C19/5712 ,  B81B3/00

Abstract: 本发明提供一种物理量传感器、复合传感器、电子设备和移动物体，物理量传感器能够减小弹性部的尺寸波动导致的检测精度下降。其中，陀螺仪传感器(1)包括：弹性部(43)，具有通过折叠部(430)连接的多个梁部(第一部分(4301a、4301b、4301c、4301d))；结构体(固定驱动部(45))，与多个梁中的位于外侧的外侧梁(第一部分(4301a))相对，当将外侧梁和结构体的间隔设为T1，将多个梁彼此的间隔设为T2时，在T2＜T1的情况下，在外侧梁的结构体侧设置有与外侧梁相对的第一梁(4303)。

公开(公告)号：CN104931033B

公开(公告)日：2018-12-04

申请号：CN201510126085.2

申请日：2015-03-20

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫

IPC: G01C19/5747

Abstract: 本发明提供一种振动元件、电子设备、以及移动体，所述振动元件提高了物理量的检测精度。在将互相正交的两个轴设为第一轴以及第二轴、将与包括所述第一轴与所述第二轴的平面正交的轴设为第三轴时，振动元件(1)具备质量体，所述质量体包括支承部(130)；第一位移部(110)以及第二位移部(120)，其经由梁部(115、125)而以能够以所述第一轴为中心而旋转的方式被连接在支承部(130)上，并沿着所述第二轴的方向而延伸，第一位移部(110)以及第二位移部(120)被设置于所述质量体的一方与另一方上，并且互相对置的自由端(112、122)通过连结部(140)而被连接。

公开(公告)号：CN103090858B

公开(公告)日：2017-10-24

申请号：CN201210417978.9

申请日：2012-10-26

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫

IPC: G01C19/5769

CPC classification number: G01C19/5747

Abstract: 本发明涉及陀螺传感器、电子设备以及陀螺传感器的制造方法。所述陀螺传感器具有良好的灵敏度特性及频带特性。本发明涉及的陀螺传感器(100)包括：驱动部(110)，其具备与驱动用弹簧部(114)相连接的驱动用支承部(112)；检测部(120)，其具备经由检测用弹簧部(124)而与驱动用支承部(112)相连接的检测用支承部(122)，驱动用支承部(112)能够在第一轴(X轴)的方向上进行振动，检测用支承部(122)能够在与第一轴(X轴)正交的第二轴(Y轴)的方向上进行位移，当将驱动部(110)的共振频率设定为f1，将检测部(120)的共振频率设定为f2，将驱动用弹簧部(114)的宽度设定为w1，并将检测用弹簧部(124)的宽度设定为w2时，将满足下述式(1)，即，0.87(f2/f1)≤(w2/w1)≤1.13(f2/f1)…(1)，但是，w1≠w2且f1≠f2。

公开(公告)号：CN103090858A

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN201210417978.9

申请日：2012-10-26

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫

IPC: G01C19/5769

CPC classification number: G01C19/5747

Abstract: 本发明涉及陀螺传感器、电子设备以及陀螺传感器的制造方法。所述陀螺传感器具有良好的灵敏度特性及频带特性。本发明涉及的陀螺传感器(100)包括：驱动部(110)，其具备与驱动用弹簧部(114)相连接的驱动用支承部(112)；检测部(120)，其具备经由检测用弹簧部(124)而与驱动用支承部(112)相连接的检测用支承部(122)，驱动用支承部(112)能够在第一轴(X轴)的方向上进行振动，检测用支承部(122)能够在与第一轴(X轴)正交的第二轴(Y轴)的方向上进行位移，当将驱动部(110)的共振频率设定为f1，将检测部(120)的共振频率设定为f2，将驱动用弹簧部(114)的宽度设定为w1，并将检测用弹簧部(124)的宽度设定为w2时，将满足下述式(1)，即，0.87(f2/f1)≤(w2/w1)≤1.13(f2/f1)…(1)，但是，w1≠w2且f1≠f2。

公开(公告)号：CN101533864B

公开(公告)日：2011-05-11

申请号：CN200910127104.8

申请日：2009-03-11

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫 ,  田中英树

IPC: H01L31/042 ,  H01L31/02 ,  H01L31/18

CPC classification number: H01L31/062 ,  H01L31/035281 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明提供了一种可廉价地制造太阳能电池的构造及其制造方法。通过在形成为具有不同的功函数值的导电膜的两个基板间设置绝缘体隔板，能够防止基板间的导通，可以得到可靠性高的太阳能电池。而且，通过在绝缘体隔板所包围的区域内填充液态硅组合物并对其进行热处理而形成硅层，可廉价地提供可靠性高的太阳能电池。

公开(公告)号：CN101533864A

公开(公告)日：2009-09-16

申请号：CN200910127104.8

申请日：2009-03-11

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫 ,  田中英树

IPC: H01L31/042 ,  H01L31/02 ,  H01L31/18

CPC classification number: H01L31/062 ,  H01L31/035281 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明提供了一种可廉价地制造太阳能电池的构造及其制造方法。通过在形成为具有不同的功函数值的导电膜的两个基板间设置绝缘体隔板，能够防止基板间的导通，可以得到可靠性高的太阳能电池。而且，通过在绝缘体隔板所包围的区域内填充液态硅组合物并对其进行热处理而形成硅层，可廉价地提供可靠性高的太阳能电池。