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公开(公告)号：CN119002189A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202411236621.X
申请日：2024-09-04
Applicant: 清华大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种电子束光刻系统、方法及半导体器件，其中的系统包括：激光装置，用于发射带有目标图形信息的空间连续激光；电场调制装置，用于对空间连续激光激励的电子施加辅助电场，调控电子的发射；磁透镜单元，用于对发射的电子束进行聚焦和导引，以使电子束按照目标图形信息投射于半导体芯片上；半导体芯片，用于按照目标图形信息在半导体芯片表面进行曝光，转移目标图形信息至光刻胶上。该系统通过利用带有目标图形信息的空间连续激光精确控制特定区域内电子的发射，使得发射的电子束携带目标图形信息，并通过层间电场调制装置与磁透镜单元的协同作用，使携带了精细的目标图形信息的电子束在半导体芯片表面的电子束光刻胶上重现这些图案，不仅能够快速印刷目标图形而避免直写操作，达到极高的光刻分辨率，还降低了制造成本，满足高端半导体制造领域对精密加工的严格要求。
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公开(公告)号：CN118821880A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202310442524.5
申请日：2023-04-21
IPC: G06N3/067 , G06N3/0464 , G06N3/08
Abstract: 本申请提供一种光学系统、数据处理方法和计算系统，涉及光学技术领域，其中，光学系统包括：依次光连接的光源模块、光调制模块、光延时模块、非线性光学模块和光探测模块，光调制模块可以将待处理的多个信号数据序列调制到光源模块输出的多路光载波信号上，输出多路调制光信号；光延时模块可以对每路调制光信号进行分光和延时，输出延时光信号，实现NGRC的线性升维过程；非线性光学模块可以基于非线性光学效应将各延时光信号转换成多束目标光信号，实现NGRC的非线性映射过程；光探测模块可以解调各目标光信号对应的目标信号数据。本申请提供的技术方案可以降低储备池计算系统的功耗，提高储备池计算系统的计算速度。
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公开(公告)号：CN113722667B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202110797381.0
申请日：2021-07-14
Applicant: 清华大学
IPC: G06F17/16
Abstract: 本发明提供了一种基于伊辛机的数据处理方法、装置及伊辛机，该方法包括：对自旋组态进行循环更新，将更新后的自旋组态调制到高斯光束的相位上，获得输入矩阵；根据输入矩阵与变换矩阵获得输出矩阵；根据输出矩阵确定当前采样轮次的输出光强，根据输出光强和模型特征值矩阵确定哈密顿量，根据哈密顿量确定采样结果，并在确定末轮采样时，使末轮采样对应的自旋组态作为数据处理结果。本发明提供的一种基于伊辛机的数据处理方法、装置及伊辛机，能够将伊辛模型的数据处理过程在光束上完成，并能够实现由光信号到电信号的转换，具有以光速进行信息的并行处理的能力，可以极大提高求解伊辛问题的速率。
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公开(公告)号：CN116240328B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202111468068.9
申请日：2021-12-03
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提供一种转炉炼钢终点控制方法、系统、装置、设备、介质及产品，方法包括：获取当前时刻转炉炉口对应的至少一张光谱图像；分别提取每张所述光谱图像中的目标图像区域，将所述目标图像区域作为目标光谱图像；对所述目标光谱图像进行降维处理，得到待处理光谱图像；将所述待处理光谱图像输入预测模型，得到通过所述预测模型输出的转炉钢水温度和转炉碳含量；当确定所述转炉钢水温度和所述转炉碳含量达到预设范围时，生成停止冶炼指令。本发明用以解决现有技术中通过人工经验判定转炉内的转炉钢水温度和转炉碳含量来停止炼钢，导致准确率低的缺陷。
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公开(公告)号：CN114552332B
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202210051327.6
申请日：2022-01-17
Applicant: 清华大学
IPC: H01S1/02
Abstract: 本发明提供一种基于天然双曲材料的切伦科夫红外辐射源及自由电子光源，包括天然双曲材料层和片上自由电子发射源，片上自由电子发射源包括片上电子源阴极和片上电子源阳极。如此通过片上自由电子发射源产生稳定电子束，激励天然双曲材料中的红外切伦科夫辐射。由于天然双曲材料成本低廉，易于获得，制备工艺简单，相较于人工双曲超材料具有显著优势。同时天然双曲材料易于生长且稳定性好缺陷少，可以规避由于材料加工工艺精度给器件性能带来的影响。而且基于天然介质材料，本征损耗更低，使得相应器件辐射功率更大、效率更高且发热更小。此外基于天然晶体材料，容易实现版图化和阵列化，为大功率阵列集成化自由电子光源提供了可能方案。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118298419A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202310015099.1
申请日：2023-01-05
Applicant: 清华大学 , 北京与光科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种水果品质检测方法、装置、电子设备及存储介质，应用于水果图像采集模组，其中，水果图像采集模组包括微纳结构调制层和图像传感器层，微纳结构调制层包括多个微纳结构单元，所述方法包括：获取基于水果图像采集模组采集的待检测水果的待处理图像，其中，待处理图像为基于微纳结构调制层对待检测水果反射出的光信息进行调制得到调制后光信息，并基于图像传感器层对调制后光信息进行处理而形成的灰度值图像；基于坐标位置和待处理图像中各个像素点的灰度值，确定与微纳结构单元对应的特征值；将特征值输入至水果品质检测模型得到水果品质检测结果。实现了低成本、无损且高精度得对水果品质进行检测。
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公开(公告)号：CN114779373B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202210247969.3
申请日：2022-03-14
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及分束器技术领域，提供一种光功率分束器及其制备方法。其中，光功率分束器包括衬底和设置于衬底表面的多个呈柱状的超原子结构；其中，各个超原子结构的横截面积均基于超原子结构在衬底的位置r、子光束个数n、子光束幅度比An、子光束相对于入射光的横向波矢偏转量kn及子光束在衬底的投影位置Rn确定，且多个超原子结构的横截面积的范围能够使入射光的相位延迟覆盖0‑2π的变化范围。如此形成的光功率分束器能够按照预设功率分束比和预设子光束空间排布结构对入射光进行分束。同时，衬底和超原子结构形成的超表面具有平面化小型化的优点，可方便地集成于光路系统中。
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公开(公告)号：CN117726520A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202211085956.7
申请日：2022-09-06
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提供一种炉口火焰的光谱图像恢复方法、装置及电子设备，其中，所述炉口火焰的光谱图像恢复方法可以包括：实时获取所述炉口火焰的火焰光谱经光谱相机调制后的数据集合；基于所述数据集合，通过压缩感知处理确定与所述数据集合对应的光谱图像。通过本发明提供的炉口火焰的光谱图像恢复方法，可以实现更加准确和低成本的对炉口火焰的光谱图像进行实时恢复，进而能够更加准确的对转炉炼钢终点进行控制。
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公开(公告)号：CN117705278A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202211105378.9
申请日：2022-09-09
Applicant: 清华大学 , 北京与光科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种光谱芯片中随机形状单元的生成方法、装置及光谱芯片，其中的方法包括：生成初始矩阵，并对初始矩阵进行傅里叶逆变换，获取与初始矩阵相应的水平集函数；基于水平集函数，生成光谱芯片中的随机形状单元。由于各组微纳结构阵列都是由生成的随机形状单元组成，因此，对于包括多组微纳结构阵列的光调制层而言，包含了该方法生成的各种不同的随机形状单元，使得光调制层对入射光具备丰富的光谱调制特性，从而有利于克服光谱恢复精度的限制，实现对入射光频谱的高精度测量，有效提高了光谱恢复的精度，并且还能够减小光谱器件的体积和成本。
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公开(公告)号：CN117664332A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202211066450.1
申请日：2022-08-31
Applicant: 清华大学 , 北京与光科技有限公司
Abstract: 本发明提供了一种光谱成像芯片、设备及光谱成像方法，涉及光谱设备技术领域。光谱成像芯片包括依次层叠设置的光调制层、图像传感器层和信号处理电路层，光调制层上分布有多个微纳结构阵列，多个微纳结构阵列沿第一方向排布形成微纳结构阵列组；在第一方向上，任意一个微纳结构阵列与其他微纳结构阵列不相同。本发明提供的光谱成像芯片、设备及光谱成像方法，可以实现光谱成像设备的小型化，降低成本。
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