提高微通道板软X射线-极紫外线成像性能的方法及产品

    公开(公告)号:CN105349962A

    公开(公告)日:2016-02-24

    申请号:CN201510809554.0

    申请日:2015-11-20

    Applicant: 浙江大学

    CPC classification number: C23C16/18 C23C16/403 C23C16/45525 H01J9/00 H01J43/04

    Abstract: 本发明公开了一种提高微通道板软X射线-极紫外线成像性能的方法及产品,包括:以气态三甲基铝为铝源,以气态去离子水作为氧源,以高纯氮气作为载气和清洁气体,利用原子层沉积系统,在铅铋玻璃制作的方孔微通道板上沉积氧化铝薄膜;以固态乙酰丙酮铱为铱源,以高纯氧气为氧源还原金属铱,以高纯氮气作为载气和清洁气体,利用原子层沉积系统,沉积铱薄膜。本发明制备的方孔微通道板孔径内壁增反膜,相比较未处理的微通道板,它利用的是铱作为金属增反膜,反射效率显著提高,从而有效提高微通道板用在软X射线—极紫外波段成像时的光强效率。本发明方法对方孔微通道板性能的改善,将会更加促进微通道板在X射线望远镜等掠入射成像系统的应用。

    一种入射角度不敏感的颜色滤光片的制备方法

    公开(公告)号:CN103744138B

    公开(公告)日:2015-10-21

    申请号:CN201310689440.8

    申请日:2013-12-13

    Applicant: 浙江大学

    CPC classification number: G02B5/207 G02B1/02 G02B5/1819 G02B5/201

    Abstract: 本发明公开了一种入射角不敏感的颜色滤光片,包括基底,所述的基底上布置有若干圆柱形的光栅,所述光栅以正六边形排列,光栅材料为硅,基底材料为熔融石英。本发明还公开了上述滤光片的制备方法。本发明的入射角不敏感颜色滤光片,与传统的化学滤光片和传统的干涉滤光片不同,它采用二维光栅的结构,利用光栅层中产生的巨大的折射率差别,通过高低折射率差区域之间的耦合产生谐振,从而达到入射角不敏感的滤光效果。本发明入射角不敏感的颜色滤光片的制备方法,制备简单,成本低,便于大规模、批量化生产。因此该发明有望在液晶显示、彩色印刷、传感探测和防伪等领域广泛应用。

    一种基于光学干涉原理的彩色印刷方法

    公开(公告)号:CN102152674A

    公开(公告)日:2011-08-17

    申请号:CN201010559856.4

    申请日:2010-11-25

    Abstract: 本发明公开了一种基于光学干涉原理的彩色印刷方法,以光学塑料薄膜为承载体,各个尺度小至亚微米量级且反射颜色各异的光学微结构器件构成基本像素,在承载体上二维排列基本像素构成彩色图形。构成基本像素的光学微结构器件为反射颜色为红、绿、蓝的三个光学薄膜干涉滤光片单元组成,通过调节三个滤光片单元的面积比例组合成各种颜色。本发明的彩色印刷方法基于光学薄膜干涉原理,摒弃了传统印刷中所用的颜料油墨,是一种绿色环保技术,而且分辨率高、色饱和度好、可大幅面制作,因而在印刷、防伪、装饰、信息显示等领域中有着广泛的应用。

    一种薄膜残余应力成分的分析装置

    公开(公告)号:CN101285772B

    公开(公告)日:2010-11-10

    申请号:CN200810061635.7

    申请日:2008-05-20

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种薄膜残余应力成分的分析装置。它包括继电器式温度控制仪、加热片驱动电路、基板夹具、干涉仪、计算机,继电器式温度控制仪依次与加热片驱动电路、基板夹具、干涉仪、计算机相连接,基板夹具包括第一铜片、第二铜片、铝片、铁夹片、样品固定圆孔、热电阻、MCH加热片,第一铜片背面固定有热电阻和两片MCH加热片,第一铜片两侧设有固定凹槽,第二铜片插入第一铜片两侧设有的固定凹槽内,第二铜片上端两侧固定有两片铁夹片,在两片铁夹片上夹有铝片,铝片上开有样品固定圆孔。本发明是一非破坏性检测方法,具有操作方便、量测迅速、精密度高、可同时测定多种参数和进行应力成分分析等优点。

    一种薄膜残余应力成分的分析装置

    公开(公告)号:CN101285772A

    公开(公告)日:2008-10-15

    申请号:CN200810061635.7

    申请日:2008-05-20

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种薄膜残余应力成分的分析装置。它包括继电器式温度控制仪、加热片驱动电路、基板夹具、干涉仪、计算机,继电器式温度控制仪依次与加热片驱动电路、基板夹具、干涉仪、计算机相连接,基板夹具包括第一铜片、第二铜片、铝片、铁夹片、样品固定圆孔、热电阻、MCH加热片,第一铜片背面固定有热电阻和两片MCH加热片,第一铜片两侧设有固定凹槽,第二铜片插入第一铜片两侧设有的固定凹槽内,第二铜片上端两侧固定有两片铁夹片,在两片铁夹片上夹有铝片,铝片上开有样品固定圆孔。本发明是一非破坏性检测方法,具有操作方便、量测迅速、精密度高、可同时测定多种参数和进行应力成分分析等优点。

    金属介质周期薄膜构成的全角度透射滤光片

    公开(公告)号:CN101261333A

    公开(公告)日:2008-09-10

    申请号:CN200810060305.6

    申请日:2008-04-03

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种金属介质周期薄膜构成的全角度透射滤光片。它包括玻璃基板、介质薄膜、金属薄膜,在玻璃基板上间隔设有多层介质薄膜和多层金属薄膜,其中第一层和最后一层均为介质薄膜,介质薄膜厚度为55~80nm、金属薄膜厚度为25~45nm,第一层和最后一层介质薄膜的厚度为介质薄膜厚度的二分之一。本发明采用传统的多层薄膜构建新型全角度透射滤光片,利用能带理论中的平色散等频线的概念拓宽了滤光片的入射角范围,使一维金属介质周期结构薄膜滤光片具备全角度的特性。由本发明制得的透射滤光片具有全角度滤光,透射率较高,截止带长,材料选择范围广,能实现频带按需设计,制作成本低等优点。

    一种高硬度彩色薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN119126286A

    公开(公告)日:2024-12-13

    申请号:CN202411269397.4

    申请日:2024-09-11

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明提供一种高硬度彩色薄膜及其制备方法,其中彩色薄膜包括依次设于基底上的光阻挡层和调制层,且入射光由调制层一侧入射;其中,调制层由多个高折射率吸收膜层和低折射率介质膜层交替堆叠而成;高折射率吸收膜层材料为无定形富硅氮化硅,低折射率介质膜层材料为氮化硅。该彩色薄膜利用具有较高硬度的高低折射率膜层交替堆叠产生的干涉效应实现在特定中心波长处的反射加强;光阻挡层实现特定波段的有效滤波以及不受透射显色影响的彩色显示。本发明的彩色薄膜结构简单,制备方便,成本低,适于批量化生产,大大降低了生产成本;并能通过调整调制层厚度可以实现在不同波段的吸收,从而实现不同颜色的反射效果,得到各种颜色的薄膜。

    一种可见光波段的硬质减反射膜、光学薄膜制品

    公开(公告)号:CN118859372A

    公开(公告)日:2024-10-29

    申请号:CN202411113018.2

    申请日:2024-08-14

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种可见光波段的硬质减反射膜、光学薄膜制品,所述的硬质减反射膜包括交替排列的高折射率膜层和低折射率膜层,高折射率膜层的总厚度为硬质减反射膜厚度的60‑95%,其中高折射率膜层为折射率≥1.7的膜层,低折射率膜层为折射率≤1.6的膜层。本发明基于折射率“栅栏”式的光学设计方法,通过调控高、低折射率膜层的光学厚度比例和膜层周期数调控薄膜的总厚度,并优化高折射率膜层总厚度与薄膜总厚度的占比,得到了同时具有优异的光学性能、机械强度和耐磨性的硬质减反射膜,该硬质减反射膜在可见光400‑700nm波段和930‑950nm的平均反射率低于1.5%,最大硬度在15GPa以上。

    一种基于微结构阵列的截止滤光片及其制备方法

    公开(公告)号:CN116520468A

    公开(公告)日:2023-08-01

    申请号:CN202310337199.6

    申请日:2023-03-31

    Abstract: 本发明公开了一种基于微结构阵列的截止滤光片,包括基底,其上依次设有介质薄膜和二维光栅阵列结构;所述的基底材料为高折射率材料;所述的介质薄膜材料为低折射率材料;所述的二维光栅材料为高折射率材料。本发明还提供了一种基于微结构阵列的截止滤光片的制备方法。本发明基于微结构阵列的截止滤光片的制备方法,制备简单,成本低,便于大规模、批量化生产。因此该发明有望在测绘遥感、环境监测、传感探测和临床影像分析等领域广泛应用。

    一种紫外-可见-红外全波段吸收器及其制备方法

    公开(公告)号:CN112799159B

    公开(公告)日:2022-08-05

    申请号:CN202110119397.6

    申请日:2021-01-28

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种紫外‑可见‑红外全波段吸收器,包括:具有中远红外波段吸收功能的基底;设置在所述基底一侧的紫外‑可见‑红外全波段减反射膜系;设置在基底另一侧的紫外‑可见‑近红外波段吸收膜系。本发明同时公开了一种紫外‑可见‑红外全波段吸收器的制备方法。本发明的紫外‑可见‑红外全波段吸收器,能够实现紫外、可见、红外波段全波段高效吸收,且结构简单,成本低,适于大面积批量化地生产。

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