公开(公告)号：CN101285772B

公开(公告)日：2010-11-10

申请号：CN200810061635.7

申请日：2008-05-20

Applicant: 浙江大学

Inventor： 章岳光 ,  陈为兰 ,  沈伟东 ,  王颖 ,  顾培夫 ,  黄文彪

IPC: G01N21/45 ,  G01N25/00

Abstract: 本发明公开了一种薄膜残余应力成分的分析装置。它包括继电器式温度控制仪、加热片驱动电路、基板夹具、干涉仪、计算机，继电器式温度控制仪依次与加热片驱动电路、基板夹具、干涉仪、计算机相连接，基板夹具包括第一铜片、第二铜片、铝片、铁夹片、样品固定圆孔、热电阻、MCH加热片，第一铜片背面固定有热电阻和两片MCH加热片，第一铜片两侧设有固定凹槽，第二铜片插入第一铜片两侧设有的固定凹槽内，第二铜片上端两侧固定有两片铁夹片，在两片铁夹片上夹有铝片，铝片上开有样品固定圆孔。本发明是一非破坏性检测方法，具有操作方便、量测迅速、精密度高、可同时测定多种参数和进行应力成分分析等优点。

公开(公告)号：CN101285772A

公开(公告)日：2008-10-15

申请号：CN200810061635.7

申请日：2008-05-20

Applicant: 浙江大学

Inventor： 章岳光 ,  陈为兰 ,  沈伟东 ,  王颖 ,  顾培夫 ,  黄文彪

IPC: G01N21/45 ,  G01N25/00 ,  G01N19/00

Abstract: 本发明公开了一种薄膜残余应力成分的分析装置。它包括继电器式温度控制仪、加热片驱动电路、基板夹具、干涉仪、计算机，继电器式温度控制仪依次与加热片驱动电路、基板夹具、干涉仪、计算机相连接，基板夹具包括第一铜片、第二铜片、铝片、铁夹片、样品固定圆孔、热电阻、MCH加热片，第一铜片背面固定有热电阻和两片MCH加热片，第一铜片两侧设有固定凹槽，第二铜片插入第一铜片两侧设有的固定凹槽内，第二铜片上端两侧固定有两片铁夹片，在两片铁夹片上夹有铝片，铝片上开有样品固定圆孔。本发明是一非破坏性检测方法，具有操作方便、量测迅速、精密度高、可同时测定多种参数和进行应力成分分析等优点。