工序分析装置、工序分析方法、以及工序分析程序

    公开(公告)号:CN116457798A

    公开(公告)日:2023-07-18

    申请号:CN202180071334.6

    申请日:2021-09-14

    Abstract: 本发明的工序分析装置包括:正常数据获取部,获取与构成制造线的多个机构的正常时的状态相关的多件第一状态数据;异常数据获取部,获取与所述多个机构的异常发生时的状态相关的多件第二状态数据;正常时分析部,分析所获取的所述多件第一状态数据,由此确定所述多个机构间的连接状态作为第一连接状态;异常时分析部,分析所获取的所述多件第二状态数据,由此确定所述多个机构间的连接状态作为第二连接状态;正常时关系确定部,基于所述第一连接状态,确定所述制造线中所实施的工序中的所述多个机构间的因果关系作为正常时因果关系;异常时关系确定部,基于所述第二连接状态,确定所述制造线中所实施的工序中的所述多个机构间的因果关系作为异常时因果关系;及特别因果关系确定部,将所述正常时因果关系与所述异常时因果关系加以比较,确定与异常的发生相关联的多个所述机构间的因果关系作为特别因果关系。

    监视系统、学习装置、学习方法、监视装置及监视方法

    公开(公告)号:CN109918690B

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN201811057807.3

    申请日:2018-09-11

    Abstract: 本发明提供一种监视系统、学习装置、学习方法、监视装置及监视方法,能够准确预测在湿法蚀刻装置中产生消除斑痕的时间。本发明一方面的监视系统根据学习数据,构建对应于累计运行时间及累计处理片数的值预测去除量的值的预测模型,获取运行中的湿法蚀刻装置中的累计运行时间、累计处理片数及去除量的实际值,将获取的累计运行时间及累计处理片数各自的实际值输入预测模型,计算去除量的预测值,计算去除量的预测值和实际值之间的差值,作为表示药液更换标准的指标值,根据算出的指标值,输出与药液更换有关的信息。

    显示系统
    47.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112534373A

    公开(公告)日:2021-03-19

    申请号:CN202080004364.0

    申请日:2020-02-03

    Abstract: 本发明的显示系统设于生产设备,所述生产设备生产制品,且具有驱动生产设备的至少一个驱动部件、及监测生产的至少一个监测部件,驱动部件及监测部件具有可控制的至少一个特征量,并且所述显示系统包括控制部、显示部及存储部,控制部以下述方式构成:获取从驱动部件及监测部件的至少一个经时输出的特征量并存储于存储部,基于所获取的特征量,每隔规定的期间构建因果关系模型,因果关系模型表示从驱动部件及监测部件中选择至少一个且生产设备中可能产生的至少一个异常的原因要素、及原因要素的关系;以及将多个期间中构建的多个因果关系模型显示于显示部。

    图表显示装置、图表显示方法以及图表显示程序

    公开(公告)号:CN112534368A

    公开(公告)日:2021-03-19

    申请号:CN202080004417.9

    申请日:2020-02-18

    Abstract: 本发明提供一种用于在进行了分割编程的情况下,将对应于各设备的设备变量在控制程序中的位置与各设备变量间的依存关系建立关联来掌握的技术。本发明的一实施例的图表显示装置生成第一有向图表及第二有向图表,并对应于用户的指示,将所生成的第一有向图表及第二有向图表在显示装置中切换来显示,所述第一有向图表包含分别表达各设备变量的多个第一节点、及表达具有依存关系的边,所述第二有向图表包含多个第一节点、边、及与各子程序分别对应的多个区域,各第一节点配置在多个区域之中,利用各第一节点所表达的设备变量的子程序的区域。

    显示系统
    49.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112513761A

    公开(公告)日:2021-03-16

    申请号:CN202080004351.3

    申请日:2020-02-03

    Abstract: 本发明的显示系统设于生产设备,所述生产设备生产制品,且具有驱动生产设备的至少一个驱动部件、及监测生产的至少一个监测部件,驱动部件及监测部件具有可控制的至少一个特征量,并且所述显示装置包括控制部、显示部、存储部及输入部,存储部存储:特征量,从驱动部件及监测部件的至少一个经时输出;以及因果关系模型数据,从驱动部件及监测部件中选择至少一个的、生产设备中可能产生的至少一个异常的原因要素,并且与原因要素的关系一起作为因果关系模型而表示,控制部以将各异常的原因要素、与原因要素对应的至少一个特征量、及特征量的经时变化显示于显示部的方式构成。

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