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公开(公告)号:CN108351605B
公开(公告)日:2020-12-15
申请号:CN201780003811.9
申请日:2017-01-31
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: G03F7/20 , H01L21/033 , G03F7/004 , G03F7/26
Abstract: 本申请涉及一种膜掩模、该膜掩模的制备方法、使用所述膜掩模的图案形成方法、以及使用所述膜掩模形成的图案,所述膜掩模包括:透明基板;设置在所述透明基板上的暗化光屏蔽图案层;以及在所述透明基板的设置有暗化光屏蔽图案层的表面上设置的浮凸图案部。
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公开(公告)号:CN111033377A
公开(公告)日:2020-04-17
申请号:CN201880051202.5
申请日:2018-08-14
Applicant: 株式会社LG化学
Abstract: 本申请提供了基板及其生产方法。本申请可以在具有包括依次形成的基础层、黑层和间隔物的结构的基板中提供具有优异的所述间隔物对所述基础层或所述黑层的粘合性且确保适当的暗化特性的基板,并且还可以提供能够在没有单独处理例如热处理的情况下有效地生产这样的基板而没有不利影响例如出现异物的生产方法。
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公开(公告)号:CN111033372A
公开(公告)日:2020-04-17
申请号:CN201880050289.4
申请日:2018-07-27
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: G02F1/1339 , G02F1/1333
Abstract: 本申请涉及其上以特定排列状态设置有间隔物的基板和使用这样的基板的光学装置。在本申请中,复数个间隔物根据预定规则不规则地设置在基板上,使得在间隔物保持光学装置构造中的均匀的单元间隙的同时,可以确保整体均匀的光学特性而不引起所谓的莫尔现象等。
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公开(公告)号:CN108351603A
公开(公告)日:2018-07-31
申请号:CN201780003799.1
申请日:2017-01-31
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: G03F7/20 , H01L21/033
CPC classification number: G03F7/20 , H01L21/033
Abstract: 本申请涉及一种膜掩模、该膜掩模的制备方法和使用该膜掩模的图案形成方法,所述膜掩模包括:透明基板;设置在所述透明基板上的暗化光屏蔽图案层;以及设置在所述暗化光屏蔽图案层上的表面能为30达因/cm以下的剥离力增强层。
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