公开(公告)号：CN103782364A

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：CN201280041170.3

申请日：2012-07-04

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  大泷智久 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/28 ,  G21K5/00 ,  G21K5/04 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/06 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/166 ,  H01J2237/18 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/2608

Abstract: 本发明提供一种带电粒子线装置，其通过使用于分离大气压空间与减压空间的薄膜周边部的结构最适化，能在大气环境或气体环境中观察试样（6）。该带电粒子线装置具备：真空排气泵（4），其对第一机箱（7）进行排气；检测器（3），其在第一机箱（7）内检测由照射得到的带电粒子线；隔壁部，其构成为至少第一机箱（7）或第二机箱（8）的任一部分、或不同体，对第一机箱（7）内与第二机箱（8）内之间的至少一部分进行分隔；开口部（10a），其设在隔壁部上，带电粒子照射部侧的开口面积比试样（6）侧的开口面积大；以及薄膜（13），其覆盖开口部（10a）的试样（6）侧，使一次带电粒子线及带电粒子线透过或通过。

公开(公告)号：CN302889245S

公开(公告)日：2014-07-23

申请号：CN201430044442.7

申请日：2014-03-07

Applicant: 株式会社日立高新技术

Designer： 大南佑介 ,  河西晋佐 ,  铃木宏征 ,  安岛雅彦

Abstract: 1．本外观设计产品的名称：电子显微镜用薄膜支架的基座。2．本外观设计产品的用途：例如在电子显微镜中，本产品安装在电子光学镜筒和放置在非真空空间的试料之间进行使用，本产品的薄膜支持部件的安装部装有用于支持薄膜的另外的薄膜支持部。3．本外观设计产品的设计要点：本外观设计产品的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图1。5．在参考图1中，B-薄膜支持部件的安装部，C-基座。在参考图2中，D-电子光学镜筒，E-电子显微镜筐体，F-检出器，G-隔板部，H-非真空空间，I-薄膜支持部，J-试料台，K-试料，L-本外观设计产品，M-减压空间。

公开(公告)号：CN303288735S

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：CN201430535022.9

申请日：2014-12-18

Applicant: 株式会社日立高新技术

Designer： 大南佑介 ,  河西晋佐

Abstract: 1．本外观设计产品的名称：电子显微镜用薄膜支架。2．本外观设计产品的用途：如使用状态参考图所示，在电子显微镜中，本产品安装在内部保持真空的电子光学镜筒和放置在非真空空间的试料之间进行使用，用于支持安装在本产品的薄膜支持部的薄膜。3．本外观设计产品的设计要点：本外观设计产品的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图1。5．在示出各部名称参考图中，B-薄膜支持部，C-基座。在使用状态参考图中，D-电子光学镜筒，E-电子显微镜筐体，F-检出器，G-隔板部，H-非真空空间，I-薄膜支持部，J-试料台，K-试料，L-本外观设计产品，M-减压空间。

公开(公告)号：CN302889244S

公开(公告)日：2014-07-23

申请号：CN201430044360.2

申请日：2014-03-07

Applicant: 株式会社日立高新技术

Designer： 大南佑介 ,  河西晋佐 ,  铃木宏征 ,  安岛雅彦

Abstract: 1．本外观设计产品的名称：电子显微镜用薄膜支架。2．本外观设计产品的用途：例如在电子显微镜中，本产品安装在电子光学镜筒和放置在非真空空间的试料之间进行使用，用于支持安装在本产品的薄膜支持部的薄膜。3．本外观设计产品的设计要点：本外观设计产品的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图1。5．在参考图1中，B-薄膜支持部，C-基座。在参考图2中，D-电子光学镜筒，E-电子显微镜筐体，F-检出器，G-隔板部，H-非真空空间，I-薄膜支持部，J-试料台，K-试料，L-本外观设计产品，M-减压空间。