力觉传感器的制造方法和力觉传感器

    公开(公告)号:CN115682908A

    公开(公告)日:2023-02-03

    申请号:CN202210863860.2

    申请日:2022-07-21

    Abstract: 本发明提供力觉传感器的制造方法和力觉传感器,力觉传感器的制造方法是具备板状构件(基材BM)和导体膜制的应变仪(12a1、12a2、12b1、12b2、12c1、12c2)的力觉传感器(1)的制造方法,该力觉传感器的制造方法包括在板状构件(基材BM)的一个主面隔着电介质层(DL)形成导体层的第1工序(参照(c))、以及使用半导体转印制造方法将所述导体层加工成应变仪的第2工序(参照(d))。

    自动研磨系统和自动研磨装置
    42.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114434298A

    公开(公告)日:2022-05-06

    申请号:CN202111184828.3

    申请日:2021-10-12

    Abstract: 本发明提供一种自动研磨系统和自动研磨装置,能够与移动体的体身的表面状态相应地调整研磨的程度。自动研磨系统(10)具备:多关节型机器人(13);研磨机(11),其包括绕轴旋转的主轴(1111)和固定于主轴(1111)的前端的研磨具(112);传感器(12),其设置于多关节型机器人(13)与研磨机(11)之间,检测从被研磨面(P)作用于研磨机(11)的法向力(z轴分量Fz)以及主轴(1111)的绕轴作用的力矩(z轴分量Mz);以及控制部(15),其根据法向力(z轴分量Fz)和力矩(z轴分量Mz)来控制多关节型机器人(13)。

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