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发明公开
力觉传感器的制造方法和力觉传感器审中-实审

公开(公告)号：CN115682908A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202210863860.2

申请日：2022-07-21

Applicant: 新东工业株式会社

Inventor： 田名网克周 , 林美由希 , 中尾明正

IPC: G01B7/16 , G01L1/16

Abstract: 本发明提供力觉传感器的制造方法和力觉传感器，力觉传感器的制造方法是具备板状构件(基材BM)和导体膜制的应变仪(12a1、12a2、12b1、12b2、12c1、12c2)的力觉传感器(1)的制造方法，该力觉传感器的制造方法包括在板状构件(基材BM)的一个主面隔着电介质层(DL)形成导体层的第1工序(参照(c))、以及使用半导体转印制造方法将所述导体层加工成应变仪的第2工序(参照(d))。

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