公开(公告)号：CN205138419U

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201520967106.9

申请日：2015-11-27

Applicant: 成都信息工程大学

Inventor： 吴启满 ,  张白

IPC: G01B9/02

Abstract: 本实用新型涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种激光波长修正式角反射镜激光干涉仪，所述激光波长修正式角反射镜激光干涉仪，包括激光源、固定角反射镜、光电探测器、测量角反射镜装置和分光镜，所述测量角反射镜装置包括测量角反射镜和精密位移装置，所述精密位移装置为所述测量角反射镜提供与被测物体位移同向或反向的位移。本申请中，将被测物体实际位移中超出半个激光波长的小数部分△L也测量出来补充到位移检测结果中，进而使得本申请的激光干涉仪所测量得到的位移结果更加精确，同时在激光波长修正过程中，精密位移装置进行若干整数波长精确位移，通过精确的距离反求环境等效激光波长，进一步提高本实用新型激光干涉仪的测量精度。

公开(公告)号：CN205120038U

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201520963567.9

申请日：2015-11-27

Applicant: 成都信息工程大学

Inventor： 许诚昕 ,  李运洪 ,  刘俊 ,  邓娜 ,  张白

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/02

Abstract: 本实用新型涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪，所述激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪，包括激光源、固定平面反射镜、光电探测器、测量平面反射镜装置和分光镜，所述测量平面反射镜装置包括测量平面反射镜和精密位移装置，所述精密位移装置为所述测量平面反射镜提供与被测物体位移同向或反向的位移。本申请中，将被测物体实际位移中超出半个激光波长的小数部分△L也测量出来补充到位移检测结果中，进而使得本申请的激光干涉仪所测量得到的位移结果更加精确，同时在测量过程中对激光波长进行修正，减小环境变化对激光干涉测距的影响，进一步提高本实用新型激光干涉仪的测量精度。