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公开(公告)号：CN215006226U
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN202023064448.X
申请日：2020-12-17
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及微机电系统镜设备和微型投影仪装置。一种微机电镜设备具有限定腔的固定的结构。承载反射表面的可倾斜结构被弹性地悬置在腔上方，可倾斜结构具有在水平面中的主延伸。弹性元件被耦合到可倾斜结构，并且承载压电材料的相应的区域的至少一个第一对驱动臂是可偏置的，以导致可倾斜结构围绕与水平面的第一水平轴线平行的至少一个第一旋转轴线的旋转。驱动臂被弹性地耦合到第一旋转轴线的相对侧上的可倾斜结构，并且被插入在可倾斜结构与固定结构之间。驱动臂沿着与水平面横向的正交轴线具有一厚度，该厚度小于被耦合到可倾斜结构的至少一些弹性元件的厚度。根据本公开的实施例，提供了改进的微机电系统镜设备。
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公开(公告)号：CN214795413U
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202023093933.X
申请日：2020-12-21
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及微机电装置和微型投影仪设备。一种微机电装置由具有腔的固定结构形成。可倾斜结构被弹性地悬挂在腔上方并且在可倾斜平面中具有主延伸部，并且能够绕平行于可倾斜平面的旋转轴线旋转。压电致动结构包括第一驱动臂和第二驱动臂，第一驱动臂和第二驱动臂承载相应的压电材料区并且在旋转轴线的相对侧延伸。第一驱动臂和第二驱动臂被刚性地耦合至固定结构并且被弹性地耦合至可倾斜结构。在操作期间，止动结构限制可倾斜结构相对于致动结构沿着垂直于旋转轴线的平面方向的运动。止动结构具有被形成在第一驱动臂与可倾斜结构之间的第一平面止动元件以及被形成在第二驱动臂与可倾斜结构之间的第二平面止动元件。根据本公开的实施例的微机电装置和微型投影仪设备的优点在于，对冲击具有高鲁棒性。
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公开(公告)号：CN206757183U
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201720285939.6
申请日：2017-03-22
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0858 , G03B21/008 , H01L41/053 , H01L41/332
Abstract: 公开了利用压电致动的振荡结构、投射MEMS系统。该振荡结构(30)包括：第一扭转弹性元件(56)和第二扭转弹性元件(58)，该第一扭转弹性元件和该第二扭转弹性元件被限制到固定的支撑体(40)的对应部分并且限定旋转轴(O)；移动元件(55，57，60)，该移动元件被设置在该第一与第二扭转弹性元件(56，58)之间并连接到该第一和第二扭转弹性元件，由于该第一和第二可变形元件的扭转，该移动元件可围绕该旋转轴(O)旋转；以及第一控制区域(66)，该第一控制区域耦合到该移动元件(55，57，60)并且容纳第一压电致动器(70)，该第一压电致动器被配置成用于在使用中引起该第一控制区域(66)的局部变形，该局部变形生成该第一和第二扭转弹性元件(56，58)的扭转。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN221239140U
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202321542759.3
申请日：2023-06-16
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开涉及包括微机电镜面设备的电子设备。一种微机电器件具有在由第一水平轴线和第二水平轴线限定的水平面中延伸的第一可倾斜镜面结构，并且包括限定界定腔体的框架的固定结构、承载反射区域的可倾斜元件，该可倾斜元件弹性地悬置在腔体上方并且具有第一中间对称轴线和第二中间对称轴线，通过位于第二水平轴线的相对侧的第一耦合结构和第二耦合结构弹性地耦合到框架。第一可倾斜镜面结构具有驱动结构，该驱动结构耦合到可倾斜元件以引起围绕第一水平轴线的旋转。第一可倾斜镜面结构相对于第二水平轴线是非对称的，并且沿着第一水平轴线在第二水平轴线的第一侧具有第一延伸，并且在第二水平轴线的与第一侧相对的第二侧具有大于第一延伸的第二延伸。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN217148569U
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202122381608.1
申请日：2021-09-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开涉及微机电设备。例如，一种微机电设备，包括：固定结构，具有限定腔体的框架；可倾斜结构，弹性地悬置于腔体上方，并且在水平面中具有主延伸部；压电驱动的致动结构，可被偏置以使可倾斜结构围绕第一和第二旋转轴进行期望旋转；以及支撑结构，与固定结构集成，并且从框架延伸到腔体中。杠杆元件通过弹性悬置元件在第一端处弹性地耦合到可倾斜结构，并且通过限定杠杆旋转轴的弹性连接元件在第二端处耦合到支撑结构。杠杆元件被弹性地耦合到致动结构，使得它们的偏置引起可倾斜结构围绕第一和第二旋转轴的期望旋转。
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公开(公告)号：CN216662479U
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202121559437.0
申请日：2021-07-09
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 一种MEMS微镜设备，形成在包括容纳体和对光辐射透明的盖的封装件中。封装件形成容纳具有反射表面的可倾斜平台的腔。元结构形成在盖上和/或反射表面上，并且包括多个衍射光学元件。本公开的实施例提供了具有改进性能的MEMS微镜设备，降低或消除了伪像，降低了制造成本。
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公开(公告)号：CN215924386U
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202121455959.6
申请日：2021-06-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及微机电致动器、光学快门和电子系统。一种微机电致动器，包括主体，该主体具有中心部分和外围部分，中心部分能够耦合到衬底，外围部分当中心部分耦合到衬底时悬挂在衬底上方。外围部分具有围绕中心部分延伸并形成连续布置的膜的可变形结构。微机电致动器包括承载结构和对应的压电致动器。承载结构在该承载结构的顶部处被固定到可变形结构并且横向地界定对应的空腔，每个空腔具有面向主体的中心部分并且在顶部处由膜封闭的横向开口。本实用新型的实施例提供了微机电致动器和光学快门的改进，例如具有小尺寸、在低偏置电压下操作、并且从功耗的观点看是高效的。
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公开(公告)号：CN212864129U
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN202020418918.9
申请日：2020-03-27
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及微机电设备和微型投影仪装置。MEMS设备形成在半导体材料的裸片中，该裸片具有在其中限定的腔并且具有锚固部分。可倾斜结构弹性地悬挂在腔之上，并且具有在水平平面中的主延伸部。第一和第二支撑臂在锚固部分与可倾斜结构的相对侧之间延伸。第一和第二谐振压电致动结构旨在被偏置，从而引起可倾斜结构绕旋转轴线的旋转。第一支撑臂由第一和第二扭转弹簧形成，第一和第二扭转弹簧对于从水平平面离开的运动是刚性的、并且顺从于绕旋转轴线的扭转，并且第一和第二扭转弹簧在约束区域处耦合在一起。第一和第二谐振压电致动结构在第一支撑臂的第一侧和第二侧上，在锚固部分与约束结构之间延伸。
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公开(公告)号：CN211378154U
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202020363275.2
申请日：2020-03-20
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及微机电结构以及微型投影仪设备。一种微机电结构，包括：半导体材料的体部，该体部具有固定框架，该固定框架在内部限定腔；可移动块，该可移动块弹性地悬挂在腔中，并且利用围绕第一旋转轴线的第一谐振运动、以及围绕与第一旋转轴线正交的第二旋转轴线的第二谐振运动而可移动。以悬臂方式在腔中延伸的第一对和第二对支撑元件刚性地耦合到框架，并且可压电变形以引起可移动块围绕第一旋转轴线和第二旋转轴线的旋转。第一对和第二对弹性耦合元件弹性地耦合在可移动块与第一对和第二对支撑元件之间。由于第一对和第二对弹性耦合元件，可移动块的第一和第二旋转运动彼此解耦合并且彼此不干扰。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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