用于硅片超精密磨床的压电式磨削力测量装置

    公开(公告)号:CN101716747B

    公开(公告)日:2011-07-20

    申请号:CN200910220064.1

    申请日:2009-11-18

    Abstract: 本发明一种用于硅片超精密磨床的压电式磨削力测量装置属于传感测控技术领域,特别涉及硅片超精密磨削过程中磨削力的检测。测量装置由底座、压电石英力传感器、上盖、连接螺钉、转接板、梯形套筒、螺母、双头螺柱、法兰盘固定螺钉以及法兰盘组成。底座为一圆环式结构,底座的上表面上安装4个压电石英力传感器,4个压电石英力传感器呈正方形均匀分布,连接螺钉将底座、上盖以及压电石英力传感器刚性连接在一起,构成测力仪组件。压电石英力传感器由2对yx型单元晶组和1对xy型单元晶组组成。本装置具有结构简单,灵敏度高,线性度、重复性好,测量精度高的良好特性。压电式磨削力测量装置能够对硅片磨削加工过程中的磨削力进行实时检测。

    可调分载比压电式六维力传感器及其测试方法

    公开(公告)号:CN101793574A

    公开(公告)日:2010-08-04

    申请号:CN201010128962.7

    申请日:2010-03-17

    Abstract: 本发明一种可调分载比压电式六维力传感器及其测试方法属于传感器及其测控领域,特别涉及不同量程范围内的轴上六维力测量。六维力传感器包括上盖、密封且引出导线的4个力敏元件、下体、分载环、定位环、4个预紧螺钉组成。采用的测试方法是通过调整4个力敏元件的安装位置和选用系列模块化的分载环、定位环来调节4个力敏元件所受力的总和与被测轴所受力的比值。本发明通过调节分载比,达到同一个传感器测量一定轴径范围内的轴上不同量程六维力的目的;刚度好、灵敏度高、成本低,易于产品化,其测试方法操作简单、使用方便、安全可靠。

    一种整体柔性构件的纯扭矩加载器

    公开(公告)号:CN100410641C

    公开(公告)日:2008-08-13

    申请号:CN200610047250.6

    申请日:2006-07-17

    Abstract: 一种整体柔性构件的纯扭矩加载器属于机械电子工程和传感器与测试技术领域,适用于传感器、测力仪等小扭矩的静态和准静态检测和标定。它由一整块方形体用电火花线切割一次加工成形制成,由外框、上L型杠杆、加载圆盘、下L型杠杆、支撑柔性片、柔性铰和螺栓孔组成;上L型杠杆通过上面两个支撑柔性片与外框相连,其余部分不相接触有微小间隙;上L型杠杆还通过柔性铰与加载圆盘相连;下L型杠杆通过下面两个支撑柔性片与外框相连,其余部分不相接触有微小间隙;下L型杠杆通过柔性铰与加载圆盘相连;上L型杠杆和下L型杠杆之间不相接触有微小间隙;该扭矩加载器采用单一整体柔性结构实现力和力偶的传递,结构简捷,操作简便,便于小型化。

    压电石英刀杆式三向车削测力仪

    公开(公告)号:CN1011496B

    公开(公告)日:1991-02-06

    申请号:CN87106317

    申请日:1987-09-15

    Inventor: 孙宝元 钱敏

    Abstract: 本发明属于金属与非金属切削时测量切削力的仪器。本发明特点在于:测力仪体采用体积小、重量轻、刚度大的刀杆式结构,刀杆前部带有装敏感元件的弹性环;用一个三向压电石英力敏元件代替多个价格昂贵的压电石英力传感器。该压电力敏元件直接装入测力仪体中并用过盈装配预紧,是一种轻便型、高性能压电石英动态车削测力仪,适于在线测量动态、瞬态及静态切削力。

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