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公开(公告)号：CN2616899Y
公开(公告)日：2004-05-19
申请号：CN03260010.0
申请日：2003-05-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种微尺寸探针测头，包括微探针、电容测微仪，其特征在于碟形测头支架中心孔内安装有微探针殷钢支架，带有微探针的微悬臂固定在微探针殷钢支架上，双向调整支架装配在碟形测头支架的两端，双向调整支架分别装有激光器和位置检测器，碟形测头支架的上端安装有精密电极平板和压电陶瓷管，其内部有与精密电极平板有测量间隙的电容测微测量电极。激光器的下部设有准直透镜。本实用新型设计合理，垂直方向位置灵敏度小于±2nm，测量精度高，能够完成微纳米特征的位置与尺寸高精度测量；微探针半径非常尖锐，可达20～30nm，特别适用于微结构尺寸(如微沟槽、微台阶结构等)的测量；最大可以测量的倾斜角度为±30°，可以实现三维测量。
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