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公开(公告)号:CN103091932A
公开(公告)日:2013-05-08
申请号:CN201310016000.6
申请日:2013-01-16
Applicant: 吉林大学
IPC: G02F1/35 , H04B10/2537
Abstract: 本发明属于微波光子学技术领域,具体涉及一种基于高非线性光纤受激布里渊散射效应和多泵浦信号的超宽调谐范围的单带通可调谐微波光子滤波器。由激光器、相位调制器、隔离器、N个泵浦源、耦合器、高非线性光纤、环行器、探测器和网络分析仪组成;利用高非线性光纤的受激布里渊散射效应和相位调制器输出信号的相位相反强度相等的特点,通过高非线性光纤的受激布里渊散射效应对相位调制器输出的一阶上边带进行增强或减弱,打破相位调制器输出信号一阶上下边带的强度平衡,从而实现需要频率的信号被滤波输出。通过合理增加泵浦信号的数量,利用高频泵浦信号引起的受激布里渊增益抵消低频泵浦信号引起的受激布里渊损耗,增加滤波器的调谐范围。
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公开(公告)号:CN102194915B
公开(公告)日:2013-03-20
申请号:CN201110070898.6
申请日:2011-03-23
Applicant: 吉林大学
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明涉及一种以带有官能团的石英为衬底、以纳米TiO2薄膜为基体材料、以Au为金属电极的自组装纳米TiO2薄膜紫外光探测器及其制备方法。其是先将石英衬底官能团化,再在带有官能团的石英衬底上生长一层纳米TiO2薄膜,进而通过磁控溅射技术在生长好的纳米TiO2薄膜上溅射一层金属Au,采用光刻技术形成Au插指状电极;带有官能团的石英衬底是由[3-(三甲氧硅基)丙基]二乙烯三胺与表面带有-OH基的石英衬底通过缩合反应得到,官能团的终端为-NH2基;本发明制备的自组装纳米TiO2薄膜紫外光探测器具有制备方法简单,成本低廉,有望大规模生产的特点,对波长230nm-350nm的紫外线具有良好的检测性能。
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公开(公告)号:CN102368508B
公开(公告)日:2013-03-13
申请号:CN201110339162.4
申请日:2011-11-01
Applicant: 吉林大学
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明属于半导体光电探测技术领域,具体涉及一种以NaTaO3薄膜为基体材料,以Au、Pt或Ni为金属电极的NaTaO3薄膜紫外光探测器及其制备方法。其是在金属钽片上生长一层NaTaO3薄膜,进而通过磁控溅射技术在覆盖有掩膜板的NaTaO3薄膜上溅射一层金属,掩膜板上具有插指电极结构,据此在薄膜上形成金属插指状电极;本发明制备的NaTaO3薄膜紫外光探测器具有制备方法简单,成本低廉,有望大规模生产的特点,对波长220nm-330nm的紫外线具有良好的检测性能。
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公开(公告)号:CN101915998B
公开(公告)日:2012-05-02
申请号:CN201010234943.2
申请日:2010-07-23
Applicant: 吉林大学
IPC: G02F1/01
Abstract: 本发明属于光电子器件领域,具体涉及一种基于SOI光波导的反射型热光可变光衰减器及其制备方法。该器件是在SOI衬底的顶层硅一侧制作,为一体脊型结构,沿着输入光的方向顺次是输入单模波导1、第一单模渐变波导2、多模波导3、第二单模渐变波导4、输出单模波导5;在各段波导的上表面制备有一层二氧化硅上包层204,在二氧化硅上包层的上面制备有用于热光调制的平行四边形金属电极205。本发明所述基于SOI光波导的反射型热光可变光衰减器采用光刻、感应耦合等离子体(ICP)刻蚀、生长金属膜和金属膜的腐蚀等工艺制作。该可变光衰减器可以在0~30dB范围内,实现对光信号的连续可变衰减。
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公开(公告)号:CN101881785B
公开(公告)日:2011-11-30
申请号:CN201010205116.0
申请日:2010-06-22
Applicant: 吉林大学
IPC: G01P15/125 , B81B3/00 , B81C1/00
Abstract: 本发明属于微机电系统领域,涉及一种四折叠梁变面积差分电容结构微加速度传感器及其制备方法。由可动质量块、成对的弹簧折叠梁、插指状下电极和微加速度传感器外框组成;在外部载荷的作用方向上,可动质量块的前端和后端通过弹簧折叠梁连接在加速度传感器外框上,可动质量块、弹簧折叠梁、加速度传感器外框为一体结构;在可动质量块的下表面制作有上电极,上电极与插指状下电极间具有一定的空隙,从而组成平板差分电容,上电极通过加速度传感器外框与插指状下电极键合在一起。本发明所述的传感器结构,明显地解决了变间隙结构存在的非线性问题,利于后续检测电路的制作,同时使振动模态更好的分离,提高了器件的抗干扰能力并增加传感器的灵敏度。
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公开(公告)号:CN102163639A
公开(公告)日:2011-08-24
申请号:CN201110070874.0
申请日:2011-03-23
Applicant: 吉林大学
IPC: H01L31/09 , H01L31/028 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明具体涉及一种以超薄石英为衬底,以纳米TiO2-ZrO2复合氧化物薄膜为基体,以Au、Pt或Ni为金属插指电极,以Al或Ag为光反射层的低表面态密度的高性能半导体紫外光电探测器及其制备方法。首先采用溶胶凝胶技术制备不同配比的TiO2-ZrO2复合氧化物薄膜,并在超薄石英衬底上生长成致密的纳米薄膜;再经过高强度紫外清洗机对薄膜进行处理;然后通过磁控溅射和标准的光刻、剥离技术在薄膜表面制成一定形状的叉指电极;最后在超薄石英片背面蒸镀一层反射层用以提高光的吸收效率。通过调整TiO2-ZrO2复合氧化物薄膜的不同配比,可以使本发明探测器的响应峰值在200nm到350nm紫外波段范围内可调。
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公开(公告)号:CN119907319A
公开(公告)日:2025-04-29
申请号:CN202510109226.3
申请日:2025-01-23
Applicant: 吉林大学
IPC: H10F30/222 , H10F77/12 , H10F77/20 , H10F77/169 , H10F71/00 , B82Y40/00
Abstract: 一种基于MgZnO/InGaO异质结光敏感层的高性能光电导型日盲紫外探测器及其制备方法,属于紫外光电探测技术领域。器件从下到上由SiO2/FTO衬底、在FTO表面生长的MgZnO纳米薄膜、在MgZnO纳米薄膜表面生长的InGaO纳米薄膜、在InGaO纳米薄膜表面和FTO表面制备的Ag电极组成,MgZnO纳米薄膜和InGaO纳米薄膜构成异质结光敏感层。本发明制备的光电导型日盲紫外探测器,当处于光照条件下时,复合薄膜协同参与光子吸收,同时光电导型器件具有高增益特性,使得器件具有突出的光电流,并在日盲区(260nm)处达到光响应度峰值,为高性能日盲紫外探测器的制备提供了一种新思路。
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公开(公告)号:CN115472745B
公开(公告)日:2025-04-25
申请号:CN202211039175.4
申请日:2022-08-29
Applicant: 吉林大学
Abstract: 一种基于FTO/TiO2:PEO/MAPbCl3异质结的紫外探测器及其制备方法,属于紫外光电探测技术领域。该探测器从下到上依次由FTO衬底、TiO2一维纳米棒阵列薄膜、PEO界面修饰层、多晶钙钛矿MAPbCl3薄膜和Ag电极组成,TiO2一维纳米棒阵列薄膜、PEO界面修饰层和多晶钙钛矿MAPbCl3薄膜构成TiO2:PEO/MAPbCl3异质结光敏感层,待测的紫外光从FTO衬底一侧入射。本发明通过构建复合异质结,增强内建电场,有效调节光敏层中电子传输的表面功函,降低活性层和电极之间的接触势垒,从而增强电子萃取能力,有效提高器件内部载流子的迁移效率,具有对紫外光有较高响应的优良效果。
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公开(公告)号:CN114858869B
公开(公告)日:2025-01-10
申请号:CN202210469510.8
申请日:2022-04-28
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 一种基于{0001}晶面纳米片组装的富硫空位ZnIn2S4纳米花敏感材料的三乙胺气体传感器及其制备方法,属于气体传感器技术领域。由从下至上的Al2O3衬底、Pd金属叉指电极和涂覆在Pd金属叉指电极上的基于{0001}晶面纳米片组装的富硫空位ZnIn2S4纳米敏感材料层组成。本发明通过改变合成条件来合成了ZnIn2S4纳米花敏感材料,通过S缺陷工程控制生长出的ZnIn2S4纳米花是由暴露高能{0001}面的纳米片自组装而成的,表面具有大量的可作为传感反应活性位点的S空位,因此对三乙胺气体具有良好的检测性能。同时本发明采用的工艺简单、制得的器件体积小、适于大批量生产,因而具有重要的应用价值。
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公开(公告)号:CN113984848B
公开(公告)日:2024-01-26
申请号:CN202111251860.9
申请日:2021-10-25
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 一种基于Fe/Ga双金属有机骨架衍生的Ga掺杂beta‑Fe2O3纳米八面体敏感材料的乙醇气体传感器及其制备方法,属于气体传感器技术领域。由从下至上的Al2O3衬底、Pd金属叉指电极和涂覆在Pd金属叉指电极上的基于Fe/Ga双金属有机骨架衍生的Ga掺杂beta‑Fe2O3纳米敏感材料层组成。本发明将GA(III)掺杂到MIL‑53(Fe)有机骨架结构中,MOF初始粒径受到了影响,抑制了Fe2O3从beta相向alpha相的热转化,可以有效地利用beta‑Fe2O3本身的优异的化学敏感特性来提高气敏响应,对乙醇气体具有良好的检测性能同时具有工艺简单、器件体积小、适于大批量生产的优良效果。
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