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公开(公告)号：CN104764715B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201510203282.X
申请日：2015-04-24
Applicant: 南京大学
IPC: G01N21/3586
Abstract: 本发明公开了一种新型多频点、高灵敏太赫兹传感器的制造方法，包括如下步骤：清洗基片；在所述基片上涂覆聚酰亚胺膜；在所述聚酰亚胺膜上涂覆光刻胶LOR并烘干；在所述光刻胶LOR上涂覆光刻胶AZ1500并烘干；对光刻胶进行曝光、显影和烘干；在所述光刻胶AZ1500和露出的聚酰亚胺膜上蒸发一层金属；将蒸发一层金属的基片浸泡在丙酮溶液中剥离去除剩下的光刻胶AZ1500与所述光刻胶AZ1500上的一层金属，然后用显影液去除剩余的光刻胶LOR；去除基片：将基片和聚酰亚胺膜剥离。本发明还公开了一种将上述太赫兹传感器用于肿瘤细胞检测的方法。本发明实现太赫兹波段多频点、高灵敏度传感的检测。
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公开(公告)号：CN104764715A
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201510203282.X
申请日：2015-04-24
Applicant: 南京大学
IPC: G01N21/3586
Abstract: 本发明公开了一种新型多频点、高灵敏太赫兹传感器的制造方法，包括如下步骤：清洗基片；在所述基片上涂覆聚酰亚胺膜；在所述聚酰亚胺膜上涂覆光刻胶LOR并烘干；在所述光刻胶LOR上涂覆光刻胶AZ1500并烘干；对光刻胶进行曝光、显影和烘干；在所述光刻胶AZ1500和露出的聚酰亚胺膜上蒸发一层金属；将蒸发一层金属的基片浸泡在丙酮溶液中剥离去除剩下的光刻胶AZ1500与所述光刻胶AZ1500上的一层金属，然后用显影液去除剩余的光刻胶LOR；去除基片：将基片和聚酰亚胺膜剥离。本发明还公开了一种将上述太赫兹传感器用于肿瘤细胞检测的方法。本发明实现太赫兹波段多频点、高灵敏度传感的检测。
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公开(公告)号：CN119890718A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202411976954.6
申请日：2024-12-30
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种产生非厄密奇异点并实现波束偏转的器件，涉及太赫兹人工电磁材料以及太赫兹波波束偏转技术领域，具体包括实现奇异点的周期性挖孔排布阵列，所述实现奇异点材料为硅的介质板，在所述奇异点附近选取不同参数单元可以实现360度的相位覆盖从而实现有效的波束偏转。本发明结构简单，制备工艺简单，实现了太赫兹非厄密奇异点，丰富了现有太赫兹非厄密奇异点的手段，还通过广义斯涅尔定律的相位梯度排布，可以实现透射太赫兹波的波束偏转，在太赫兹波前整形，以及实现太赫兹高灵敏传感有较好的应用前景。
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公开(公告)号：CN114744407B
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202210349957.1
申请日：2022-04-02
Applicant: 南京大学
IPC: H01Q15/00
Abstract: 本发明公开了一种太赫兹波束检测与调控一体化的智能超表面，包括蓝宝石衬底，生长在所述蓝宝石衬底上表面的金属结构和二氧化钒微桥，生长在所述蓝宝石衬底下表面的金属接地面及所述金属接地面和加热铜板间用于优化热接触的导热硅脂。本发明还公开了一种上述太赫兹波束检测与调控一体化的智能超表面的制备方法以及基于上述太赫兹波束检测与调控一体化的智能超表面所搭建的波束自适应调控的测试系统。本发明的智能超表面同时具有太赫兹检测和调控功能，具备尺寸小、集成度高和功能可编程定制等特点。
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公开(公告)号：CN119674552A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202411767251.2
申请日：2024-12-04
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了基于微机械的动态可调的波束偏转器件、制备方法及应用，涉及电磁波波束偏转技术领域，包括若干呈矩阵排列的波束偏转组件，波束偏转组件由超表面层与硅片层构成，且超表面层设置在硅片层的底部，超表面层包括设置在硅片层底部的聚酰亚胺衬底，聚酰亚胺衬底的一侧设置有背板金，聚酰亚胺衬底的内部设置有十字结构件，聚酰亚胺衬底远离背板金的一侧设置有金谐振层结构边框。本发明器件结构简单，制备工艺简单，波束调控效率高，且器件的工作状态切换速度快、切换方式简单，能够通过简单操作即可实现快速的波束调控开启与关闭，后续可拓展性强，在波束调控领域有较好的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119009630A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202411097254.X
申请日：2024-08-09
Applicant: 南京大学
IPC: H01S1/02 , G01N21/3581 , G01N21/3563 , G01N21/25 , G02F1/35 , G02F1/355
Abstract: 本发明公开了一种基于铌酸锂薄膜的太赫兹产生与探测一体化系统。该系统由飞秒激光器、泵浦光路、铌酸锂薄膜、β‑偏硼酸钡晶体、空间光滤光光路、探测光路以及合并光路组成。飞秒激光器产生的激光脉冲分为两路：一路作为泵浦光，使得铌酸锂薄膜产生太赫兹波；另一路则产生探测光，通过空间光滤光光路后参与太赫兹的探测。这两路光路通过合并光路同时作用在铌酸锂薄膜上，太赫兹与探测光相互作用产生的相位差信息被传输至光电探测器。本发明充分利用铌酸锂晶体的高二阶非线性系数和电光系数，实现了一个高度集成化和紧凑的太赫兹产生与探测的功能，适用于片上系统应用。
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公开(公告)号：CN117559142A
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202311637937.5
申请日：2023-11-30
Applicant: 南京大学
IPC: H01Q15/00
Abstract: 本发明公开了一种基于180nm制程的CMOS反射型超表面单元，包括：从上至下为二氧化硅保护层、嵌入在所述二氧化硅保护层中的四层金属结构、掺杂硅基、背板金，所述各金属层与掺杂硅基之间由通孔连接，所述背板金为位于掺杂硅基底部的薄金层。本发明还公开了一种基于180nm制程的CMOS反射型可调控太赫兹超表面。本发明实现使用CMOS作为有源方式完成超表面对于太赫兹波束幅度的调制。
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公开(公告)号：CN115793301A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211522223.5
申请日：2022-11-30
Applicant: 南京大学
IPC: G02F1/133 , G02F1/1333 , G02F1/1343
Abstract: 本发明公开了一种基于模加运算实现太赫兹波束调控的可编程超表面，包括上层石英衬底、下层石英衬底，生长在所述上下层石英衬底上的金属结构及所述上下层金属结构间封住的液晶材料。本发明还公开了一种制备上述太赫兹液晶超表面的方法以及利用上述太赫兹液晶超表面进行1比特模加运算实现波束调控的方法。本发明的可编程超表面通过对行列单独编码后进行模加运算实现太赫兹波束的半空间调控，具备器件结构简单、调控方法灵活便捷等特点。
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公开(公告)号：CN114690449A
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202210342795.9
申请日：2022-03-31
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种频率可调控的慢光器件，该器件包括钛酸锶基片和生长在钛酸锶基片上具有电磁诱导透明现象的亚波长金属结构阵列，所述金属结构单元包括条形谐振器和双开口环形谐振器。本发明还公开了上述频率可调控的慢光器件制备方法以及对所述频率可调控的慢光器件进行温度调控的方法。本发明能够实现电磁诱导透明特性并产生慢光效应，通过改变温度可以调控慢光器件的透射传输谱和慢光窗口频率，在调控过程中，慢光窗口透射系数和群时延不会发生显著变化。
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公开(公告)号：CN113218909A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110490721.5
申请日：2021-05-06
Applicant: 南京大学
IPC: G01N21/3586 , G01J3/28 , G01J3/12
Abstract: 本发明公开了一种兼顾光谱信息的太赫兹近场实时成像系统，包括飞秒激光源、泵浦路、探测路、近场探测以及图像采集模块。飞秒激光分为泵浦和探测两路，泵浦路产生太赫兹脉冲，探测路扫描太赫兹波形，待测样品紧贴探测晶体摆放实现近场探测，图像采集模块实现太赫兹时域光谱测量与太赫兹成像的光路复用。本发明光路设计高度模块化，操作简便，可以测试得到诸多样品的太赫兹图像，成像分辨率可达到50μm以下，实时帧率可达10FPS。
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