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公开(公告)号：CN103809371B
公开(公告)日：2020-03-10
申请号：CN201310533747.9
申请日：2013-11-01
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 矩形基板在其具有拓扑图案后用作模具。该基板具有A侧和B侧的相对表面，该A侧表面具有拓扑图案。该A侧表面包括具有至多350nm的平坦度的1～50毫米×1～50毫米的中心矩形区域。使用该形成模具用基板防止在形成模具用基板上形成团的步骤与转印步骤之间发生图案错排或图案错误。能够转印微小尺寸和复杂的图案。
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公开(公告)号：CN104786135B
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201510026173.5
申请日：2015-01-20
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明提供了一种制备合成石英玻璃基材的方法。具体地，通过将起始基材浸渍在非离子型表面活性剂的水溶液中并且采用胶体二氧化硅水分散体精密抛光该基材制备了合成石英玻璃基材。获得了具有极少缺陷和低表面粗糙度的合成石英玻璃基材，同时改进了抛光速率和减少了抛光时间。
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公开(公告)号：CN108153111A
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201810092363.0
申请日：2012-02-10
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F1/60
Abstract: 本发明提供了形成模板的衬底以及检测方法。特别地，本发明提供了具有125-300mm直径的圆形的形成模板的衬底，其具有要在其上形成拓扑图案的表面，其中在直径为125mm的圆内衬底的厚度变化为至多2μm。
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公开(公告)号：CN107689411A
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201710653709.5
申请日：2017-08-03
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: H01L33/483 , C03C27/00 , C03C27/08 , C22C45/003 , H01L33/56 , C09D1/00
Abstract: 本发明为合成石英玻璃盖和光学器件封装体。提供合成石英玻璃盖，其包括合成石英玻璃与在窗构件的主表面的周围形成的粘结剂。此外，提供光学器件封装体，其包括具有开放上端的盒状容纳座，容纳在容纳座中的光学器件，用粘结剂结合至该容纳座上端的合成石英玻璃的窗构件。该粘结剂为由Te、Ag和选自由W、V、P、Ba和Zr中的至少一种元素组成的低熔点金属玻璃。
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公开(公告)号：CN103173128B
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201210599019.3
申请日：2012-11-16
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 在合成石英玻璃基板的抛光中，采用一种抛光浆液，该抛光浆液包括(i)包括五肽的重复单元：-[缬氨酸-脯氨酸-甘氨酸-缬氨酸-甘氨酸]-、并且具有800-150,000分子量的低聚肽，或者该五肽与另-单体的共聚物，和(ii)胶体溶液。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103173128A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201210599019.3
申请日：2012-11-16
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 在合成石英玻璃基板的抛光中，采用一种抛光浆液，该抛光浆液包括(i)包括五肽的重复单元：-[缬氨酸-脯氨酸-甘氨酸-缬氨酸-甘氨酸]-、并且具有800-150,000分子量的低聚肽，或者该五肽与另-单体的共聚物，和(ii)胶体溶液。
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公开(公告)号：CN101821058A
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN200980100696.2
申请日：2009-05-27
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03C19/00 , B24B1/00 , B24B37/00 , B24B37/0056 , C03C15/02 , C09G1/02 , C09G1/04 , C09K3/1454 , C09K3/1463 , C09K13/02 , C09K13/06
Abstract: 本发明公开了合成石英玻璃基板用抛光剂，其特征在于含有胶体二氧化硅等的胶体溶液，和聚羧酸系聚合物、酸性氨基酸、酚类或糖胺聚糖，所述胶体溶液具有20-50质量％的胶体浓度。
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公开(公告)号：CN101430499A
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：CN200810188750.0
申请日：2008-07-31
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: H01L21/67359 , H01L21/67393 , Y10T428/13 , Y10T428/131 , Y10T428/1314
Abstract: 一种用于容纳形成光掩模的合成石英玻璃衬底的存储容器，其包括面向玻璃衬底的前和后表面的内壁，和提供在容器内壁上用于收纳用以吸附来自容器的释气成分的吸附剂的贮存器。比率A/B在1.0－120m2/cm2范围内，设A是吸附剂的BET比表面积(m2/g)乘以吸附剂总重量(g)的乘积(m2)，和B是玻璃衬底前和后表面的总面积(cm2)。
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公开(公告)号：CN107689411B
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN201710653709.5
申请日：2017-08-03
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: H01L33/483 , C03C27/00 , C03C27/08 , C22C45/003 , H01L33/56 , C09D1/00
Abstract: 本发明为合成石英玻璃盖和光学器件封装体。提供合成石英玻璃盖，其包括合成石英玻璃与在窗构件的主表面的周围形成的粘结剂。此外，提供光学器件封装体，其包括具有开放上端的盒状容纳座，容纳在容纳座中的光学器件，用粘结剂结合至该容纳座上端的合成石英玻璃的窗构件。该粘结剂为由Te、Ag和选自由W、V、P、Ba和Zr中的至少一种元素组成的低熔点金属玻璃。
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公开(公告)号：CN114497329A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202111330120.4
申请日：2021-11-11
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及接合和密封材料和用于光学元件封装的盖。接合和密封材料，其包括焊料粉末、涂覆有涂层材料的银纳米颗粒和溶剂作为必要成分，并且额外包括选自以下的至少一种成分：硒金属、氧化物膜抑制剂和氧化物膜去除剂。这种接合和密封材料可在温和的条件下容易形成当密封短波长光发射元件例如UV‑LED时所需类别的具有良好的气密密封性和耐UV性的金属性粘合层，并且可长时间稳定地使用。
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