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公开(公告)号：CN102288775A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201110186345.7
申请日：2011-07-05
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P3/28
Abstract: 一种气流式角速度传感器包括测试腔体，设置在所述测试腔体中心位置的敏感元件，对称设置在测试腔体两端的两个压电泵，与测试腔体和压电泵相连通的气体循环通道和信号处理电路；测试腔体为沿轴向中心、径向中心均对称的腔体，在测试腔体的两端位置设置有进气口；两个压电泵与测试腔体的两端具有一定距离，传感器内的气体可在由测试腔体，气体循环通道和压电泵组成的密闭空间内循环，敏感元件为四周设置有四组热敏电阻丝的板状框架结构，每组电阻丝所在直线与敏感元件的中心位置的垂直距离相同，相对的两组热敏丝相互平行，相邻的两组热敏丝之间相互垂直，敏感元件的中心与所述进气口的中心均位于测试腔体的中心线上。
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公开(公告)号：CN114019186B
公开(公告)日：2025-04-22
申请号：CN202111410354.X
申请日：2021-11-25
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明公开了一种全方位动热源式Z轴微机械加速度计及其加工方法，该Z轴微机械加速度计包括上敏感层、下敏感层、基底层和盖板；上敏感层中心位置设置加热器，下方是中间加热腔；下敏感层包含有两个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；加热器通过三个半圆形支撑梁悬置在上敏感层的中心位置；盖板上刻蚀有凹槽，且与上敏感层的表面密闭连接。本发明采用的敏感元件是在一块硅片上通过光刻、腐蚀等工艺制作，不仅可以提高传感器的性能，而且可实现批量生产。本发明可实现Z轴加速度的测量，具有灵敏度高、测量速度快、结构紧密等特点。
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公开(公告)号：CN113985071B
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202111410353.5
申请日：2021-11-25
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明公开了一种全方位动热源摆式双轴微机械加速度计及其加工方法，该双轴加速度计包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位动热源摆加热器和两对热敏电阻；全方位动热源摆加热器通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现双轴加速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构应力小、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。同时，它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，优秀的抗振动和冲击特性等优点。
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公开(公告)号：CN113985069B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202111410209.1
申请日：2021-11-25
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本申请公开了一种动热源摆式全方位微机械加速度计及其加工方法，该加速度计包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位动热源摆加热器和四对热敏电阻；全方位动热源摆加热器通过六个完全对称的半圆形辐条悬置在敏感层的中心位置；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现加速度全方位的测量，灵敏度高，响应速度快，结构应力小、体积小、重量轻，可实现批量生产。同时它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，使得其与固体摆式微机械加速度计竞争中、低精度和低价格的微型加速度计市场成为可能。
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公开(公告)号：CN118518084A
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202410842083.2
申请日：2024-06-27
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明涉及一种自带基准电阻的柔性快速响应热流陀螺，属于惯性测量领域。该陀螺主要包括柔性底板、柔性敏感层和柔性上盖，柔性敏感层的上表面设置有两个对称的加热器以及一个中心加热器和一对平行的热敏电阻以及一对基准电阻；柔性上盖上刻蚀有凹槽，且与柔性敏感层的上表面密闭连接。本发明采用一种基于高速激光雕刻技术的柔性快速响应热流陀螺的制作方法制作，具有轻量化、成本低、制作工艺简单、对环境友好等优点。基于这些优点它可以广泛应用于电子设备、航天及医学仪器等领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111595318B
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202010584358.9
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种单热源“T”字型微机械双轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“T”字型结构的一个隔离电阻，三个加热器和两对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“T”字型凹槽；三个加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本发明采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。
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公开(公告)号：CN110441550B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN201910841272.7
申请日：2019-09-06
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/09
Abstract: 本发明涉及敏感电子学技术领域，尤其是涉及一种电路内嵌式12电极石英加速度计，可应用于飞行器、车辆、舰船、工业自动化领域等的检测控制系统。该电路内嵌式12电极石英加速度计包括：外壳、支撑座、敏感元件、内嵌式电路板和插座；所述外壳与所述支撑座连接装配成一腔体；所述插座设置于所述支撑座上；所述敏感元件设置于所述支撑座上；所述内嵌式电路板设置于所述敏感元件的内部。本发明采用六电极20MHz的谐振器作信号获取元件，通过将六电极谐振器的激励电路改进为内嵌式，并置于敏感元件的腔体之内，提高了检测的灵敏度。
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公开(公告)号：CN111595316B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202010584318.4
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种“T”字型推挽流微机械三轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“T”字型结构的三对加热器和三对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“T”字型凹槽；三对加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本发明采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。
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公开(公告)号：CN116626336A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310668381.X
申请日：2023-06-07
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/03
Abstract: 本发明公开了一种三热源三轴微机械加速度计，其包括基底层、敏感层、和盖板；敏感层分三部分，分别检测X、Z、Y轴加速度，每个位置中心下方设置腔体，腔体中心设置加热器；敏感层检测X、Y轴加速度部分包含有两个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；检测Z轴加速度部分热敏电阻在中心腔体内；加热器和热敏电阻的通电方式均为直流电；三轴微机械加速度计加热器在检测腔体中心，敏感层在中心检测腔体上方；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的表面密闭连接。本发明采用的敏感元件是在一块硅片上通过光刻、腐蚀等工艺制作，一致性好，便于引入传感器调理电路，进行温度补偿和非线性度补偿，不仅可以提高传感器的性能，而且可实现批量生产。
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公开(公告)号：CN116626335A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310668199.4
申请日：2023-06-07
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/03
Abstract: 本发明公开了一种自带平衡电阻的微机械加速度计，其包括基底层、敏感层、和盖板；敏感层中心位置下方设置腔体，腔体中心设置加热器；敏感层包含有两个热敏电阻和两个平衡电阻，下方是矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为直流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的表面密闭连接。本发明采用的敏感元件是在一块硅片上通过光刻、腐蚀等工艺制作，一致性好，便于引入传感器调理电路，进行温度补偿和非线性度补偿，不仅可以提高传感器的性能，而且可实现批量生产。本发明可实现X轴加速度的测量，具有灵敏度适中，测量速度快、结构紧密、体积小、重量轻、成本低、易于智能化和集成化等特点。
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