一种金属膜热镀覆装置及方法

    公开(公告)号:CN114990491B

    公开(公告)日:2024-02-02

    申请号:CN202210453601.2

    申请日:2022-04-27

    Abstract: 本发明公开了一种金属膜热镀覆装置和方法,其中公开的金属膜热镀覆装置,包括设有进气管和出气管的腔体,温控系统和用于控制真空度和气氛成分的气氛控制系统,所述腔体内可拆卸连接有若干个蒸镀室,所述温控系统控制各蒸镀室内的温度;所述蒸镀室包括室座,所述室座上设有用于放置蒸镀源的蒸镀源位,围绕所述蒸镀源位连续设有阻隔槽,所述阻隔槽上可拆卸连接有室盖,所述室盖内壁与室座形成样品室,所述样品室内的室座上设有用于放置待蒸镀样品的放置处;所述阻隔槽内放置有熔点低于蒸镀源工作温度的可熔融颗粒物。本发明还公开了金属膜热镀覆方法,采用前述的金属膜热镀覆装置对待蒸镀样品进行镀膜。

    一种设有表面织构化金刚石涂层的动密封环及其制备方法

    公开(公告)号:CN113770536B

    公开(公告)日:2023-10-03

    申请号:CN202111032946.2

    申请日:2021-09-03

    Abstract: 本发明公开了一种设有表面织构化金刚石涂层的动密封环的制备方法,包括以下步骤:(1)在动密封环基体表面通过热丝化学气相沉积金刚石涂层;(2)采用飞秒激光对金刚石涂层进行抛光处理;(3)对抛光后的动密封环基体表面进行激光表面织构化处理。首先,利用本发明热丝化学气相沉积法制得的金刚石涂层致密均匀,结合力强;其次,飞秒激光抛光处理显著降低了金刚石涂层的表面粗糙度,缓解了生长应力,提高了金刚石涂层的可加工性;最后,激光刻蚀织构化处理得到涂层表面排列规则的凹坑或条纹图案,可以提高动密封环承载能力、降低磨粒磨损、延长工件使用寿命。本发明方法制得的设有表面织构化金刚石涂层的动密封环可应用于复杂多变的服役环境。

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