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公开(公告)号：CN104236593A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201310234484.1
申请日：2013-06-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种伸展模态传感器及其制造方法，所述伸展模态传感器至少包括：左右对称的两个质量块；互相平行、左右对称并可在平面内伸缩的两个微梁；所述微梁中形成有离子注入区；所述微梁两端分别与两个质量块连接；两个支撑台；所述支撑台阶一端往顶端方向逐渐缩小并与所述微梁中部外侧连接并使得所述质量块与所述微梁悬空；所述质量块上的金属连线将两根微梁中的离子注入区同侧两端连接起来；所述支撑台上的金属连线一端连接所述微梁中的离子注入区中部；所述质量块上的金属连线外侧区域形成有具有统一振幅的敏感膜。本发明的传感器工作在平面内伸展模态，统一的振幅提高了传感器的线性度和可重复性，实现了精确测量。
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公开(公告)号：CN103991841A
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201410250429.6
申请日：2014-06-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供一种表面多功能化微流控芯片的圆片级制造方法，包括步骤：1)提供一表面具有微通道和储液池的基底，生长第一自组装单层膜；2)提供一具有镂空结构的硬掩膜，对准后，利用紫外光穿过镂空结构辐照至第一自组装单层膜的局部区域，使所述第一自组装单层膜的局部区域被氧化去除；3)在去除第一自组装单层膜的区域生长第二自组装单层膜。4)重复步骤2)，局部去除所述第一自组装单层膜的另一局部区域，并在这一区域生长第三自组装单层膜；5)继续重复上述去除和生长步骤，实现多重自组装单层膜在圆片级基底表面的集成生长。该方法可应用于多功能微流控芯片的批量制造，且材料制备简单成熟，易于操作，单次操作成本低廉，具有较强的推广及应用价值。
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公开(公告)号：CN103626193A
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201210306247.7
申请日：2012-08-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种具有螺旋孔道的羧基功能化介孔纳米颗粒的制造方法，属于纳米功能材料制造领域。本发明的特征是采用三羟基硅基乙酸钠水溶液（简称为CES，25wt%）为制造具有螺旋孔道的羧基功能化介孔纳米颗粒的关键原材料，以表面活性剂CTAB（十六烷基三甲基溴化铵）为模板剂，碱性环境下与TEOS（正硅酸乙脂）在适当的反应条件下反应，即制得具有螺旋孔道的羧基功能化介孔纳米颗粒。
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公开(公告)号：CN102689869A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN201110072710.1
申请日：2011-03-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种平面内谐振式直拉直压微悬臂梁结构及制备方法。其中，所述微悬臂梁结构包括：悬臂梁区、连接在所述悬臂梁区一侧的质量块区、及连接在所述悬臂梁区另一侧的参考电阻区，其中，所述悬臂梁区包括：相互分离的主悬臂梁、驱动微梁和敏感微梁，其中，驱动微梁作为驱动电阻，与驱动电源连接，敏感微梁作为敏感压阻，与所述参考电阻区所具有的多个电阻区共同形成电桥；所述驱动微梁与敏感微梁的宽度均远小于主悬臂梁的宽度。该结构工作在平面内谐振模态，通过激励微悬臂梁的平面内谐振模态可减少其在液体环境中工作的阻尼力，提高品质因数，进而改善传感器的检测灵敏度。
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公开(公告)号：CN102624384A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN201210134270.2
申请日：2012-04-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H03L7/08
Abstract: 本发明提供一种带有频率自扫描功能的锁相环，应用在传感器及其接口电路中，包括：用以输出一频率两倍于输入信号或参考信号且占空比为50%的方波信号的鉴相器，对方波信号的高、低电平持续时间进行计数的超前滞后计数器，预设有相位锁定模式及频率自扫描模式的中央处理器，用以接收到频率控制字后进行相位累加并依据预设的正弦函数表进行数模转换后输出正弦波信号的数字频率合成器，及将正弦波信号转换为方波信号以作为参考信号输出至鉴相器的整形器，本发明的锁相环用于解决现有传感器接口电路领域的混合锁相环，其锁定范围比较受限，关键参数会因元件的离散而改变，易受温度漂移和器件老化的影响，且不利于接口电路系统各功能的集成的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101475140B
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN200910045556.1
申请日：2009-01-20
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及纳米尺度下界面陷阱作用产生的巨压阻效应以及纳米巨压阻的制作方法，属于微电子机械系统领域。本发明所述巨压阻的具体特征是压阻的厚度在纳米量级，压阻效应来源于硅和二氧化硅处界面的电子陷阱效应。传统体硅的压阻效应来源于应力下载流子迁移率的改变，而本发明所述的纳米尺度下的巨压阻是在应力作用下硅和二氧化硅处界面的电子陷阱作用改变载流子的浓度产生的。随着压阻厚度的减小，界面效应占的比例越大，界面陷阱产生的压阻效应也越明显。本发明制作的压阻具有压阻系数大，横向压阻和纵向压阻电阻值变化相同，和半导体工艺兼容的优点，可以运用于传感器和微电子机械系统中。
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公开(公告)号：CN101487747B
公开(公告)日：2011-06-08
申请号：CN200910046040.9
申请日：2009-02-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于表面微机械加工的绝对压力传感器芯片及制作方法，其特征是采用由低应力的氮化硅薄膜作为压力传感器芯片的核心结构层，多晶硅薄膜形成力敏电阻条。将低应力的氮化硅薄膜膜区设计为长矩形，根据膜区的应力分布，充分利用多晶硅电阻条的纵向压阻效应，以及尽量利用膜上张应力的区域，将一对电阻条的一部分放到了薄膜的外面，另外两个电阻条布置在膜的中心位置。并将每个电阻条的打折的弯角部分开接触孔淀积金属将其导通。采用与IC工艺兼容表面微机械加工工艺，可以制作量程从1KPa～1MPa高灵敏度，稳定性佳，高精度的绝对压力传感器芯片。
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公开(公告)号：CN1994860B
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN200610147846.3
申请日：2006-12-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种工作在扭转模态下的谐振式微机械悬臂梁传感器及其电磁激励结构、制作方法及应用。其特征在于通过采用与悬臂梁扭转谐振模态的振形相匹配的优化布置电磁激励线圈，产生与悬臂梁扭转方向相同的洛仑兹力力矩激励起悬臂梁的扭转模态，即依据扭转模态振形曲线的极值位移点和不发生位移的振动节点位置布置驱动线圈，使交变驱动电流在各处均产生与悬臂梁扭转方向相同的洛仑兹力力矩，使驱动方式与扭转模态的振形完全匹配。本发明特点是结构简单、制作方便、容易实现。所述的传感器用于对肝癌早期预警的AFP抗原痕量检测一阶和二阶的扭转模态检测分辨率分别为3×10-14克和9×10-15克。
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公开(公告)号：CN101881676A
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN201010205614.5
申请日：2010-06-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种嵌入式单晶硅腔体的六边形硅膜片压阻式压力传感器及方法。其特征是所述微机械压力传感器由(111)单晶硅片单片单面体硅微机械加工而成，采用单晶硅薄膜作为压力传感器的感压膜片，膜片设计成规则六边形且相邻两边夹角均为120°，压力腔体位于膜片正下方且直接嵌入硅片内部，腔体加工分别采用长条和栅格两种结构方式通过横向刻蚀掏空以及缝合而成。根据膜片区域应力分布，利用压阻的纵向效应和横向效应分别设计两种不同类型的压阻排布方式。采用单一硅片单面的体硅微机械加工技术，实现了该传感器的结构加工，并发明了压阻元件集成的方法，可以制作量程从1kPa-50MPa灵敏度高、量程大、尺寸小等特点的压力传感器，具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN101814817A
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN201010143838.8
申请日：2010-04-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H02K35/02
Abstract: 本发明涉及一种非谐振非接触式的振动能量采集器，其特征在于所述的能量采集器由感应外界振动的质量块和产生电能的弹簧发电系统组成。质量块感应外界振动，通过质量块与弹簧发电系统之间的排斥力将能量传递给弹簧，驱动弹簧振动，通过电磁效应产生电能。在此能量采集器的工作过程中，弹簧发电系统不需要与外界振动发生谐振，因而可以在低的频率范围内工作，发电功率受外界振动频率影响小；质量块不与弹簧发电系统发生接触，因而器件的可靠性好；采用斥力驱动弹簧，斥力可以很大，因而发电功率大。本发明可以应用于无线传感器，无线通讯等，为无线设备供电，替代原有的电池供电方式，具有广泛的应用前景。
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