公开(公告)号：CN104236593A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201310234484.1

申请日：2013-06-13

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 李昕欣 ,  俞锋

IPC: G01D5/14 ,  B81B7/00 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明提供一种伸展模态传感器及其制造方法，所述伸展模态传感器至少包括：左右对称的两个质量块；互相平行、左右对称并可在平面内伸缩的两个微梁；所述微梁中形成有离子注入区；所述微梁两端分别与两个质量块连接；两个支撑台；所述支撑台阶一端往顶端方向逐渐缩小并与所述微梁中部外侧连接并使得所述质量块与所述微梁悬空；所述质量块上的金属连线将两根微梁中的离子注入区同侧两端连接起来；所述支撑台上的金属连线一端连接所述微梁中的离子注入区中部；所述质量块上的金属连线外侧区域形成有具有统一振幅的敏感膜。本发明的传感器工作在平面内伸展模态，统一的振幅提高了传感器的线性度和可重复性，实现了精确测量。

公开(公告)号：CN104236593B

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201310234484.1

申请日：2013-06-13

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 李昕欣 ,  俞锋

IPC: G01D5/14 ,  B81B7/00 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明提供一种伸展模态传感器及其制造方法，所述伸展模态传感器至少包括：左右对称的两个质量块；互相平行、左右对称并可在平面内伸缩的两个微梁；所述微梁中形成有离子注入区；所述微梁两端分别与两个质量块连接；两个支撑台；所述支撑台阶一端往顶端方向逐渐缩小并与所述微梁中部外侧连接并使得所述质量块与所述微梁悬空；所述质量块上的金属连线将两根微梁中的离子注入区同侧两端连接起来；所述支撑台上的金属连线一端连接所述微梁中的离子注入区中部；所述质量块上的金属连线外侧区域形成有具有统一振幅的敏感膜。本发明的传感器工作在平面内伸展模态，统一的振幅提高了传感器的线性度和可重复性，实现了精确测量。