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公开(公告)号：CN107063438B
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN201710144004.0
申请日：2017-03-10
Applicant: 中北大学
IPC: G01H11/08
Abstract: 本发明公开了一种基于压电效应的MEMS三维同振型矢量水听器，包括同振柱体振子模块以及同振球形振子模块，同振柱体振子模块包括第一框型基座、横梁、柱形聚乙烯拾振单元、中心连接体、压电薄膜、上电极以及下电极；柱形聚乙烯拾振单元固定于中心连接体上，中心连接体通过横梁连接在第一框型基座的中心处，且横梁的内外两侧均生长有压电薄膜，压电薄膜的上下两侧的对应位置均溅射有金属作为上电极和下电极；同振球形振子模块包括第二框型基座、横梁、环形连接体、球形聚乙烯拾振单元、压电薄膜以及上电极、下电极。本发明MEMS三维同振型矢量水听器具有体积小、共模输出、差模抑制的高灵敏度，宽工作频带的优点。
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公开(公告)号：CN111333022B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202010188599.1
申请日：2020-03-17
Applicant: 中北大学
Abstract: 本申请公开了一种高密度MEMS微纳线圈柔性异质集成方法，包括：准备刚性基底并清洗；在刚性基底上生长剥离层；在剥离层上沉积多层MEMS微纳线圈，相邻层的MEMS微纳线圈之间沉积薄膜隔离层，将多层MEMS微纳线圈互连，并在最顶层沉积薄膜绝缘层；在薄膜绝缘层上沉积薄膜种子层，再电镀金属应力层；调节金属应力层的厚度，将MEMS微纳线圈剥离；将MEMS微纳线圈与柔性基底进行集成；依次将金属应力层、薄膜种子层去除；在薄膜绝缘层上开孔；将多层MEMS微纳线圈进行互连并折叠。本申请通过可控剥离方法将刚性基底上多层互连的MEMS微纳线圈转移至柔性基底上，并通过柔性基底折叠形成多层堆叠结构，大幅提升线圈匝数，解决狭小空间下MEMS电磁能量采集器的低输出电压难题。
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公开(公告)号：CN115116829A
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202211036453.0
申请日：2022-08-29
Applicant: 中北大学
IPC: H01L21/027 , H01L41/27 , H01L41/332 , B81C1/00
Abstract: 本发明属于半导体器件加工制造技术领域，公开了一种铌酸锂单晶薄膜畴壁增强力电耦合响应器件的制备方法，利用原子力显微镜在铌酸锂单晶薄膜上施加电压实现电畴翻转，采用光刻工艺在已经实现电畴翻转的铌酸锂薄膜/硅基键合片表面进行对准标记制备并完成金属电极溅射，使用IBE干法刻蚀和RIE工艺实现铌酸锂和二氧化硅层的图形化，最后采用深硅技术刻蚀剩余硅层并封装，完成器件制备。本发明采用铁电材料电畴调控和MEMS微纳加工工艺相结合，制备铌酸锂单晶薄膜力电耦合器件，有效解决传统力电耦合器件力电耦合效率低和功能集成化低等问题，制得器件无铅无毒，使用寿命长，可重复使用，具有对环境友好、稳定性高、灵敏度高和宽温区等优点。
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公开(公告)号：CN114665005A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210275930.2
申请日：2022-03-21
Applicant: 中北大学
IPC: H01L41/316 , C23C14/35 , C23C16/40 , C23C16/50 , C23C16/56 , H01L41/113 , H01L41/187 , H01L41/27
Abstract: 本申请提供了一种d33模式铁电单晶薄膜压电振动传感器及其制备方法，通过将铌酸锂与带有氧化层的硅基底键合，再依次进行减薄、化学机械抛光和清洗，得到铌酸锂单晶薄膜；在铌酸锂铁电单晶薄膜表面利用溅射刻蚀法制备对准标记，在其表面采用溅射剥离法制备表面电极，并刻蚀铌酸锂单晶薄膜使其图形化，最后在硅基底正面形成质量块和悬臂，并从硅基背面对其进行释放制得产物。本申请的制备方法可将铁电单晶铌酸锂薄膜与带氧化层的硅基很好键合，并完成了宽频带、高电压输出的元器件的制备，工艺可行性和重复率高。本申请制得产物具有很高的机电转换效率、输出电压和低温环境输出性能下降小的特点。
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公开(公告)号：CN114295261A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202210025798.X
申请日：2022-01-11
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于柔性力学传感器以及微机电技术领域，具体为一种表面具有经过修饰后的微锥台阵列结构的柔性薄膜及其制备方法，及基于此柔性薄膜制备的传感器，解决了背景技术中的技术问题，柔性薄膜的正面具有均匀分布的多个微米级正四棱锥台结构，正四棱锥台结构的表面辅以多个随机、紧密排列的纳米级凸起结构。本发明的表面具有经过修饰后的微锥台阵列结构的柔性薄膜表面具有微纳米级别结构，可有效提升薄膜表面比表面积，利用本发明的三种柔性力学传感器的灵敏度高、微弱压力感知能力强和测量范围广；本发明所述的方法操作步骤简单，而且实施条件要求低，满足生产成本等要求，可利用硅片模板批量制备柔性薄膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107623068B
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：CN201710839315.9
申请日：2017-09-18
Applicant: 中北大学
IPC: H01L41/047 , H01L41/113 , H01L41/22 , H02N2/18
Abstract: 本发明公开了一种基于叉指电极结构的薄膜式压电纳米发电机，包括压电薄膜层和叉指电极薄膜层；所述叉指电极薄膜层由单边电极A和单边电极B构成；所述叉指电极薄膜层半嵌入压电薄膜层中。其中，所述压电薄膜层通过将压电材料填充到柔性聚合物材料中制得；所述叉指电极薄膜层中的单边电极A和单边电极B均是通过将导电颗粒填充到柔性聚合物材料中制得。该纳米发电机通过采用d33耦合模式，在保证良好的柔性和可拉伸性的基础上，解决了普通压电式纳米发电机在d31耦合模式下存在的输出电压小的问题。
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公开(公告)号：CN111028805A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911330165.4
申请日：2019-12-20
Applicant: 中北大学
IPC: G09G3/36
Abstract: 本申请公开了一种基于逆变电路的液晶驱动方法，其电路结构包括：液晶器件以及液晶驱动电路，所述液晶驱动电路与所述液晶器件两端电极相连；所述液晶驱动电路包括RC施密特震荡电路和反相器，所述RC施密特震荡电路的输入端、电源端均与输入的直流信号源连接；所述RC施密特震荡电路的两个输出端分别为所述反相器的输入端和输出端；所述反相器的电源端与输入的直流信号源连接。本申请通过RC施密特震荡电路和反相器的特定连接方式组成的液晶驱动电路，通过将输入的直流信号转换为交流方波信号从而实现了对液晶盒或液晶膜的驱动，同时具有驱动方式简单，驱动电路体积小和成本低等优势。
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公开(公告)号：CN107316829A
公开(公告)日：2017-11-03
申请号：CN201710544513.2
申请日：2017-07-06
Applicant: 中北大学
IPC: H01L21/67
CPC classification number: H01L21/67075
Abstract: 本发明公开了一种基于TMAH的气相刻蚀方法，包括：（1）、在单晶硅基片上利用热氧生长一层SiO2掩膜层薄膜；（2）、利用紫外光刻实现在基片图形化工艺；（3）、利用光刻胶做掩膜，采用体积比HF：NH4F=1:4配制BOE溶液刻蚀SiO2，丙酮洗掉光刻胶形成以SiO2为掩膜的刻蚀窗口；（4）、利用密闭且冷凝循环的刻蚀装置在磁力搅拌加热器上实现刻蚀气体的阵列结构刻蚀。该方法可突破TMAH湿法刻蚀同时实现硅结构刻蚀表面粗糙度较小，凸角保护良好，结构阵列刻蚀均匀性良好，速率稳定的技术难题，可用于微传感器、微执行器等微纳器件图形结构的加工工艺。
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公开(公告)号：CN107063438A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201710144004.0
申请日：2017-03-10
Applicant: 中北大学
IPC: G01H11/08
CPC classification number: G01H11/08
Abstract: 本发明公开了一种基于压电效应的MEMS三维同振型矢量水听器，包括同振柱体振子模块以及同振球形振子模块，同振柱体振子模块包括第一框型基座、横梁、柱形聚乙烯拾振单元、中心连接体、压电薄膜、上电极以及下电极；柱形聚乙烯拾振单元固定于中心连接体上，中心连接体通过横梁连接在第一框型基座的中心处，且横梁的内外两侧均生长有压电薄膜，压电薄膜的上下两侧的对应位置均溅射有金属作为上电极和下电极；同振球形振子模块包括第二框型基座、横梁、环形连接体、球形聚乙烯拾振单元、压电薄膜以及上电极、下电极。本发明MEMS三维同振型矢量水听器具有体积小、共模输出、差模抑制的高灵敏度，宽工作频带的优点。
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公开(公告)号：CN118640144B
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202411124032.2
申请日：2024-08-16
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于发电机技术领域，尤其涉及一种基于液态金属的柔性足部能量采集装置，解决了现有足部能源采集装置难以兼具发电稳定、发电功率高、柔性化、缓冲减震及可靠性高的技术问题，其包括气囊式气缸和密封盒体，密封盒体中安装有涡轮风扇、转速放大齿轮组件、第一能量采集齿轮、第二能量采集齿轮、液态金属线和卷簧，密封盒体与气囊式气缸密封连接；第一能量采集齿轮和第二能量采集齿轮上延伸有圆柱形凸台，圆柱形凸台上设有环形凹槽，液态金属线的两端固连至两个环形凹槽中，液态金属线绕制后形成液态金属发电线圈，卷簧安装至第二能量采集齿轮的圆柱形凸台的卡槽中，第一能量采集齿轮和第二能量采集齿轮的中心轴外装有环形磁铁。
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