公开(公告)号：CN109574658A

公开(公告)日：2019-04-05

申请号：CN201811493945.6

申请日：2018-12-07

Applicant: 中北大学

Inventor： 丑修建 ,  耿文平 ,  张启程 ,  穆继亮 ,  侯晓娟 ,  何剑 ,  陈茜

IPC: C04B35/48

Abstract: 本申请公开了一种铁电薄膜的制备方法及应用，首先，用乙酰丙酮铪和乙酰丙酮锆为原料，乙酸和乙酸酐为溶剂，制备铪锆氧前驱体溶液，然后将此溶液进行涂覆、干化热解和高温退火后得到铁电薄膜。再将此铁电薄膜应用到电容器的结构中。本申请提供的铁电薄膜，具有良好的晶体结构和良好的铁电性能，与硅兼容性好，在氧化硅片上生长光滑致密，此外，避免了采用有毒的铅或者含铅的材料做原料，不会对环境造成污染。

公开(公告)号：CN107623068A

公开(公告)日：2018-01-23

申请号：CN201710839315.9

申请日：2017-09-18

Applicant: 中北大学

Inventor： 丑修建 ,  何剑 ,  牛旭时 ,  耿文平 ,  穆继亮 ,  侯晓娟 ,  薛晨阳 ,  朱杰 ,  张启程 ,  乔骁骏 ,  原景超

IPC: H01L41/047 ,  H01L41/113 ,  H01L41/22 ,  H02N2/18

Abstract: 本发明公开了一种基于叉指电极结构的薄膜式压电纳米发电机，包括压电薄膜层和叉指电极薄膜层；所述叉指电极薄膜层由单边电极A和单边电极B构成；所述叉指电极薄膜层半嵌入压电薄膜层中。其中，所述压电薄膜层通过将压电材料填充到柔性聚合物材料中制得；所述叉指电极薄膜层中的单边电极A和单边电极B均是通过将导电颗粒填充到柔性聚合物材料中制得。该纳米发电机通过采用d33耦合模式，在保证良好的柔性和可拉伸性的基础上，解决了普通压电式纳米发电机在d31耦合模式下存在的输出电压小的问题。

公开(公告)号：CN107623068B

公开(公告)日：2020-11-27

申请号：CN201710839315.9

申请日：2017-09-18

Applicant: 中北大学

Inventor： 丑修建 ,  何剑 ,  牛旭时 ,  耿文平 ,  穆继亮 ,  侯晓娟 ,  薛晨阳 ,  朱杰 ,  张启程 ,  乔骁骏 ,  原景超

IPC: H01L41/047 ,  H01L41/113 ,  H01L41/22 ,  H02N2/18

Abstract: 本发明公开了一种基于叉指电极结构的薄膜式压电纳米发电机，包括压电薄膜层和叉指电极薄膜层；所述叉指电极薄膜层由单边电极A和单边电极B构成；所述叉指电极薄膜层半嵌入压电薄膜层中。其中，所述压电薄膜层通过将压电材料填充到柔性聚合物材料中制得；所述叉指电极薄膜层中的单边电极A和单边电极B均是通过将导电颗粒填充到柔性聚合物材料中制得。该纳米发电机通过采用d33耦合模式，在保证良好的柔性和可拉伸性的基础上，解决了普通压电式纳米发电机在d31耦合模式下存在的输出电压小的问题。